Устройство для охлаждения гибких подложек

 

(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОХЛАЖДЕНИЯ ГИБКИХ

ПОДЛОЖЕК

Изобретение относится к металлургии, в частности к устройствам для охлаждения гибких подложек, используемых для нанесения металлических покрытий методом испарения и конден-, сации металла в вакууме,.

Известно устройство для охлаждения подложек, металлизируемых в, вакууме, состоящее из подложкодержате" ля с прижимной рамкой и свободно установленной поверх подложки термо" стабилизирующей плиты, между которыми расположена теплопроводящая жидкость в виде слоя жидкости металла с низким давлением паров компонентов (1).

Недостаток устройства заключает" ся в том; что оно предназначено для неподвижных подложек и не может быть использовано в непрерывном процес20 се для металлизации гибких подложек в рулонах.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности является устройство для охлаждения гибких подложек при металлизации в вакууме,> состоящее из вращающегося полого барабана, внутрь которого введена ось с каналами подвода и отвода охладителя в виде трубок с отогнутыми концами, имеющими выход внутрь барабана $2).

Однако известное устройство имеет низкую эФФективную термостабили-., зацию гибкой подложки ввиду недостаточного контакта между ней и поверхностью охлаждающего барабана, в результате чего толщина металлического покрытия ограничивается 2-3 мкм из-за перегрева и оплавления гибкой подложки.

Цель изобретения — повышение эффективности охлаждения гибких подложек.

Иоетавленная цель достигается тем, что устройстводля охлаждения гиб, ких подложек, преимущественно при осаждении паров металла в вакууме, 891800 содержащем барабан с трубопроводом для подвода охладителя в его полость и отвода охладителя из полости и механизм .вращения барабана, барабан выполнен с выступами по краям его цилиндрической поверхности и снабжен механизмом прижима к выступам барабана гибкой подложки, образующей совместно с цилиндрической поверхностью барабана полость для теплопроводящей жидкости, а над барабаном установлен резервуар для подачи теплопроводящей жидкости в полость, образованную гибкой подложкой и цилиндрической поверхностью барабана с выступами.

Кроме того, механизм прижима выполнен в виде установленных по краям барабана двух бесконечных лент, снабженных сепаратором, двумя транспортными роликами, прижимными роликами на пружинной подвеске с механизмом регулировки усилия натяжения ленты и системами охлаждения и механической очистки бесконечных лент от металлического конденсата.

На фиг, 1 схематично изображено предлагаемое устройство, на фиг. 2— разрез А-А на фиг. I, на фиг. 3— механизм прижима гибкой подложки.

Устройство содержит тигель 1, механизм 2 прижима гибкой подложки, размотачный гаспель 3, направляющий ролик 4, барабан 5, в полость которого введена ось б с каналами подвода и отвода охладителя 7, выполненных 35 в виде труббк с отогнутыми концами

8 и 9, резервуар 10 с теплопроводящей жидкостью 11, обеспечивающий компенсацию потерь жидкости в процессе работы, направляющий ролик 12, при- 40 емный гаспель 13 и гибкая подложка 14 °

Механизм 2 содержит две бесконечные ленты 15, установленные по краям барабана 5, сепаратор 16, два транс- портных ролика 17, два прижимных роли- 45 ка 18 на пружинной подвеске 19, системы 20 охлаждения и механической очистки ленты 21.

Устройство работает следующим образом.

Гибкая подложка !4 транспортируется с размоточного гаспеля 3 на приемный гаспель 13 через направляющие ролики 4, 12 и барабан 5, который может нагреваться до любой необходимой температуры, Проходя над тиглем

I гибкая подложка образует вместе с выступами барабана полость, заполняемую теплопроводящеи жидкостью 11 (подается из резервуара 10) которая

У осуществляет эффективную теплопередачу от подложки к барабану и обеспечивает охлаждение подложки, защищая ее от оплавления. Необходимую герметичность полости обеспечивает прижимной механизм 2 гибкой подложки.

Механизм 2 работает следующим образом.

Бесконечная лента 15 приводится. во вращение от барабана 5. Сепаратор 16 предотвращает трение внутренней поверхности ленты, которая в своем движении проходит через транспортные 17 и-прижимные ролики

18. Предусмотренное конструкцией охлаждение и механическая очистка ленты с помощью соответствующих систем

20 и 21 обеспечивают работу прижимного механизма в течение длительного времени.

С помощью предлагаемого устройства возможно получить металлические покрытия толщиной 10 мкм с высокой адгезией к гибкой подложке.

Фольгированный диэлектрик, полученный с помощью устройства„ может использоваться для изготовления микроминиатюрных печатных плат.

Использование фольгированного полиимида позволит отказаться от дорогостоящих и трудоемких промежуточных операций нанесения адгезионного слоя и приклейки фольги к диэлектрическому основанию.

Ожидаемый экономический эффект от использования фольгированного полиимида, полученного с помощью устройства, составит 96,4 тыс. руб, на 1 T фольгированного диэлектрика.

Формула изобретения

1. Устройство для охлаждения гибких подложек, преимущественно при осаждении паров металла в вакууме, содержащее барабан с трубопроводом для подвода охладителя в его полость и отвода охладителя из полости и механизм вращения барабана, о т— л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения эффективности охлаждения подложек, барабан выполнен с выступами по краям его цилиндричес- кой поверхности и снабжен механизмом прижима к выступам барабана гиб5 89I кой подложки, образующей совместно с цилиндрической поверхностью барабана полость для теплопроводящей,жидкости, а над барабаном установлен резервуар для подачи теплопроводящей жидкости в полость, образованную гибкой подложкой и цилин" дрической поверхностью барабана, с выступами;

2. Устройство по п. 1, о т л ич а ю щ е е с я тем, что механизм прижима выполнен в видф .установленных по краям барабана- двух бесконечных лент,. снабженных сепаратором, Источники информации, ф принятые во внимание при экспертизе

1. ПТЭ У 4, 1976, с. 252..

2. Авторское свидетельство СССР

У 380750, кл. С 23 С.13/g8, 1974-. (прототип).

800 Ь двумя транспортнькй роликами, прижимными роликами на пружинной подвеске с механизмом регулировки усилия натяжения ленты и системами ох-: лаждения и механической очистки бесконечных лент от металлического кон" денсата.

891800

Составитель М.Перекатова

Редактор Н.Рогулич Техред,, 3. Фанта

Корректор. С, Щомак

Заказ 1Н57 40 Тираж 1051

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений .и открытий

113035, Москва, K-35, Раушская наб., д..4/5

Подписное

Филиал ППП Патент, r. Ужгород, ул. Проектная, 4