Монохроматический объектив для проекционной фотолитографии
Союз Советскик
Социалмстическмк
Республик
ОП ИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
liii892399 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 09. l 1.77 (2! ) 254 15 j 4/) 8 ) p с присоединением заявки № (23) Приоритет—
Опубликовано 2З.12.81 Бюллетень № 47
Дата опубликования описания 23.12,81 (51) М. Кл.
G 02 В 19/00
3Ъоудорствеииый комитет по делом изобретений и открытий (53) УДК >771. .351,7 (088.8) (72) Авторы изобретения
С.Т. Бобров, Б. Н. Котлецов и Ю. Г, Турке (71) Заявитель (54) МОНОХРОМАТИЧЕСКИЙ ОБЪЕКТИВ ДЛЯ ПРОЕКЦИОННОЙ
ФОТОЛИТОГРАФИИ
2 =1,Зу - ) >
2> — диаметр поля изображения;
0 — разрешение; — фокусное расстояние линзы; — длина волны.
5 где!
Изобретение относится к оптическому приборостроению и может найти применение в проекционной фотолитографии.
Известен ряд линзовых и зеркальнолинзовых объективов, предназначенных для целей проекционной фотолитографии (lj
Однако эти объективы содержат большое количество компонентов — 10-16 линз, что создает сложности расчета, изготовления и эксплуатации объектов и приводит к высокой стоимости их.
Наиболее близким к предлагаемому является монохроматический обьектив, состоящий из одной апланатической голографической линзы, обладающей минимальными цля голографических линз аберрациями Д Голографическая линза выполнена в виде зонной пластины с радиусами г колец описываемыми выражением
) г ) и
rae Я вЂ” фокусное расстояние пластинки
Л вЂ” длина волны света;
- порядковый но;,)ер кольца.
Предельные поля, обеспечиваемые такой линзой, при волновых аберрациях, не превышающих 0,25 X составляют величину
Однако малые поля изображения, получаемые с такой линзой, ограничивают возможности использования ее для проекционной фотолитографии, )$
Uenb изобретения — увеличение поля изображения объектива с сохранением его высокого качества.
Поставленная цель достигается тем, то, в монохроматический объектив, collopжащий голографическую линзу в виде зонной пластинки, введены вторая акалогичная голографическая линза и апертурная
892
399
ВНИИПИ Заказ 11252/70 Тираж 542 Подписное
Филиал ППП Патент, r. Ужгород, ул. Проейтная, 4 диафрагма, причем радиусы колец голографических линз подчиняются уравнению где У вЂ” фокусное расстояние линзы, Л - длина волны света
- порядковый номер кольца; линзы расположены на фокусном расстоянии друг от друга, а апертурная диафрат ма радположена между голографическими линзами на одинаковых расстояниях от них.
На чертеже изображена оптическая схема объектива.
Объектив, сфокусированный на объект 1, содержит голографические линзы 2 и 3 и апертурную диафрагму 4, Отображение плоскости объекта происходит в плоскость изображения объекта 5.
Объект 1 расположен в фокальной плос- кости первой голографической лКнзы 2, расстояние между голографическими лин.зами 2 и 3 равно фокусному расстоянию линзы, разрешение всей системы определено апертурной диафрагмой 4, расположенной между линзами 2 и 3 на одинако вом расстоянии от них, Обе голографические линзы 2 к 3 выполнены =!a виде зон- йых пластинок с радиусамк колец.
l1 3 Knnek где 6 - фокусное расстояние линзьг, - длина волны света, n — порядковый номер кольца.
Плоскость изображения объекта 5 расположена в фокальной плоскости второй голографической линзы 3.
Ф ормула изобретения
Монохроматический объектив для проекционной фотолитографии, содержащий голографическую линзу в виде зонной илаотинки, отличающийся тем, что с целью увеличения поля с сохранением высокого качества изображения, в него введены вторая аналогичная голографическая линза к апертурная диафрагма, причем радкусыпп колец голографических линз подчиняются уравнению где И - фокусное расстояние линзы;
Л вЂ” длина волны света, g - порядковый номер кольца; линзы расположены на фокусном расстоянии друг от друга, а апертурная диафрагма расположена между r îëîãðàôè÷åñкими линзами на одинаковых расстояниях от них.
Источники информации, ЗО принятые во внимание при экспертизе
1. "Оптико-механическая промышленность", 1967, l4 11, с, 60, 2. "Квантовая электроника", 1972, Q 3, (9), с, 10 (прототип).
