Способ измерения толщины электропроводных покрытий в процессе нанесения

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТИЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

<1 1 896381 (Sl ) Дополнительное а авт. санд-ау— (22) Заявлено 07.07. 77 (2! ) 2510654! 18-28 с присоедииениеоа заявки М (23) Приоритет

Опубликовано 07.01.82. Вюллетень Ю 1

Дата опубликования описания 07 ° 0 t 82. (5! )М. Кл.

G 01 В 7/06

)асударатмнный коинтот

СССР ао делам наобретеннй н отнрытнй (53) УД К 620. 179. .14(088.8) 4

»

11.А.Ермолаев, Э.А.Кудряшов и И.И.Лернер

1

° A

Пензенский филиал Всесоюзного научно-и следонатедьского (72) Авторы изобретения (71) Заявители технологического института приборостроенйя И-Ненннграцский» политехнический институт имени И.И.Калинина (54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ ЭЛЕКТРОПРОВОДНЫХ

ПОКРЫТИЙ В ПРОЦЕССЕ НАНЕСЕНИЯ

Изобретение относится к средствам размерометрии физическими методами и может быть использовано для измерения толщины электропроводящих покрытий в процессе вакуумного напыления.

Известен способ измерения толщины покрытий, заключающийся в том, что на кварцевый резонатор (изделие) наносят покрытие и определяют частоту возбуждения резонатора, включенного в цепь автогенератора (1 ).

Однако точность измерения этим способом недостаточная, так как на значение указанной частоты влияют окружакацие условия, например температура окружающей среды.

Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности является способ измерения толщины электропроводных покрытий в процессе нанесения, заключающийся в том, что определяют изменение резонансной частоты покрываемого изделия и по нему судят о результатах измерения (2).

Однако точность измерения этим способ ом недос таточная, так как тепловое экранирование осуществляется только со стороны испарителя.

Цель изобретения — повышение точности измерения.

Поставленная цель достигается тем, что на неактивный участок иэделия наносят измеряемое покрытие и нагревают его пропусканием стабилизированного электрического тока.

На чертеже изображен эскиз устройства, посредством которого на изделие наносят измериемое покрытие.

В качестве изделия 1 используют электроакустический резонатор, включейный в схему автогенератора (не показан) посредством электродов 2.

Измеряемое покрытие 3 наносят на неактивный, с точки зрения колебательного режима, участок резонатора и одновременно нагревают его пропуска896381

Формула изобретения юоажраюору

4 истоычину

4ЖЮЬЯ иЛ МА маго акр,чжи

Составитель А.Духанин

Редактор А.Шишкина Техред А, Бабинец Корректор A.)(çÿòêo

Заказ 11676/25 Тираж 613 Подписное

ВНИИИИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ПП11 "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 нием электрического тока от источника стабилизированного напряжения (не показан) .

Частота автогенератора определяется параметрами резонатора, в том числе и его температурой, которая зависит от толщины измеряемого покрытия 3, нагреваемого стабилизированным током.

Так, например, при напылении покрытия иэ нихрома на кварцевый резонатор при плотности тока в покрытии порядка 3,3 А/мм и мощности рассеивания 0,154 Вм/см, получаются удовлетворительные для практики контроля толщины покрытия результаты. 3ависимость между частотой автогенератора и измеряемой толщиной покрытия получается линейной, что способствует повышению точности измерения.

Способ измерения толщины электропроводных покрытий в процессе нанесения, заключающийся в том, что определяют изменение резонансной частоты покрываемого изделия и по нему судят о результатах измерения, отличающийся тем, что, 10 с целью повышения точности измерения, на неактивный участок изделия наносят измеряемое покрытие и нагревают

его пропусканием стабилизированного электрического тока.

15 Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

М 348856, кл. G 01 В 7/06, !970.

2. Авторское свидетельство СССР

Ф 372755, кл. G 01 Б 7/06, 1970 (прототип).