Способ контроля шероховатости поверхности

 

Союз Советскни

Соцналнстнческни

Республик

«» 8964О1 (6l ) Дополнительное к авт. свнд-ву (22) Заявлено 30.07.79 (2l ) 2806884/25-28 с прнсоеднненнем заявки Ле (23) Приоритет

Опубликовано 07.01.82. Бюллетень Фе 1

Дата опубликования описания 09.01.82 (Sl)M. Кд.

6 01 В 11/30

Государственный комитет ло делам нзобрегеиий и открмтий (53) УДК 531.7 17.. 8 (088. 8) (72) Авторь1 изобретения

Ю. H. Денисов, А. Б. Кузнецов, С. Н. Ого ников и Л. М. фискалов » (7l) Заявитель (54.) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ШЕРОХОВЛТОСТИ

ПОВЕРХНОСТИ

Изобретение относится к контрольноизмерительной технике, в частности к оптическому контролю покрытия, получаемого B вакууме, и может быть использовано при разработке приборов контроля шероховатости поверхностей этих покрытий.

Известен способ определения чистоты поверхности (шероховатости) заключа ошийся в том что направляют поток элекto тронных лучей Hа экран и фотопластинку, касательпо к поверхности детали, и по полученному теневому изображению действительного профиля микроцервностей поверхности судят о чистоте поверхности (шероховатости) (1 j.

Недостатком известного способа является, то, что неровности определяются интегрально по всему профилю поверхности. Кроме того, в процессе ионпо-плазменного напыления этот способ неприменим из-за рассеивания электронных лучей при их взаимодействии с плазмой.

Наиболее близким к изобретению по технической сушности является способ контроля шероховатости поверхности, заключающийся в том, что направляют излучение определенной длины волны на контролируемую поверхность и регистрируют излучение, отраженное от поверхности(2) Недостаток этого способа - невозможность осуществления контроля шероховатости напьшяемости поверхности из-за помех, вносимых излучением плазмы, а также процессом взаимодействия монохроматического излучения с плазмой.

Бель изобретения — контроль поверхности в процессе ионно-плазменного напыления.

Укаэанная цель достигается тем, что направляют сфокусированное монохроматическое излучение на контролируемую поверхность, выбирают излучение, длина волны которого отлична от длины волНы спектра плазмы на 2-3 полуширины линии спектра.

89640 1

Составитель Н. Захаренко

Редактор И. Юрковецкий Техред M. Tåïåð Корректор Д. Шеньо

Заказ 11677/26 Тираж 613 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Способ заключается в следующем.

Направляют монохроматическое определенной длины волны излучение на контролируемую поверхность, при этом для поддержания непрерывного контроля шероховатости одновременно с процессом ионно-плазменного напыления выбирают монохроматическое излучение, длина волны которого отлична от длины волны спектра плазмы на 2-3 полуширины линии 0 спектра плазмы, т.е. чтобы плазма была оптически прозрачной средой.

Отраженное от контролируемой поверх ности излучение регистрируется.

Для удовлетворительной регистрации отраженного излучения необходимо, чтобы интенсивность монохроматического излучения задавалась в 5-10 раз больше, чем интенсивность излучения плазмы в той же части спектра, что и спектральная линия монохроматического излучения.

При рассеянии излучения на контролируемой поверхности меняется мощность регистрируемого сигнала, определяющая степень шероховатости поверхности.

Таким образом, при реализации предлагаемого способа контроль шероховатости и напыления осуществляется одновре меццо.

Фор мула изобретения

Способ контроля шероховатости поверхности, заключающийся в том, .что направляют излучение определенной дли« ны волны на контролируемую поверхность и регистрируют излучение, отраженное от поверхности, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью контроля поверхности в процессе ионно-плазменного напыления, направляют сфокусированное моно . хроматическое излучение на контролируемую поверхность, выбирают излучение, длина волны которого отлична от длины волны спектра плазмы на 2-3 полуширины линии спектра.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

% 111923, кл. Cj 01 В 11/30, 07.01. 57.

2. Авторское свидетельство СССР

М 386238, кл. G 01 В 11/30, 26.09.73 (прототип).