Микрозондовая головка

 

< >930767

Союз Соввтскин

Социапистичвскик

Рес убп

ОП ИСАНИЕ

И306РЕТЕ Н ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (6I ) Дополнительное к авт. саид-ву (22) Заявлено 01.11. 79 (21) 2833396/18-21 с присоединением заявки,явт,23) Приоритет (5! )М. Кл .

Н 05 К 1/18

Ввударатаееыб «емнтет ссср до делам нзабратаннй н ютнрытн11 (5З) УДК621.315..684(088.8) Опубликовано 23.05.82- Бюллетень М 19

Дата опубликования описания 23.05.82 (72) Авторы изобретения

П.Ф.Александров, Я.M.Áåêêåð, А.Т.Новиков и Т.К.Цогоев (71) Заявитель (54) ИИКРОЗОНДОВАЯ ГОЛОВКА Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для подсоединения (электрического подключения) контрольно-измерительных систем к контактным площадкам кристаллов интегральных микросхем и больших интегральных схем (БИС).

Известны многозондовые головки для измерения электрических парамет" ров полупроводниковых приборов и микросхем, содержащие диэлектрический

19 корпус со стеклянными капиллярами, в которых расположены группы проволочных Г-образных контактов в соответствии с,контактными площадками $1 ).

3S

Недостатком известных устройств является сложность технологии изготовления, обусловленная выполнением капилляров в стеклянном корпусе, а также сложность изготовления контактов Г-образной формы.

Известна микрозондовая головка, содержащая корпус, три изоляционные платы с отверстиями, в которых размещены упругие проволочные контакты, причем в средней изоляционной плате отверстия выполнены овальной формы (2 ).

Недостатками этого устройства являются низкая технологичность конструкции из-за того, что детали изготавливаются механическим способом, а также недостаточная надежность контактирования из-за сложности обеспечения изоляции контактов при малом шаге между ними (например 0,2 мм).

Цель изобретения - повышение технологичности конструкции и надежности контактирования при уменьшении шага между контактами.

Цель достигается тем, что в микрозондовой головке, содержащей корпус, изоляционные платы с отверстиями, в которых размещены упругие проволочные контакты, изоляционные платы выполнены из светочувствительного стекла.

930767

Формула изобретения

На фиг. 1 изображена микрозондовая головка, разрез; на фиг. 2 то же, вид сверху.

Микрозондовая головка содержит корпус 1, в котором закреплены изоля- ционные платы 2 и 3, выполненные из . светочувствительного стекла типа ситалл "ЛЗ-76", с отверстиями, в которых размещены упругие проволочные контакты 4, закрепленные с одной о стороны эпоксидным компаундом 5 и соединенные с измерительным блоком, Отверстия в платах 2 выполнены круглой, а в плате 3 - овальной формы.

Изготовление изоляционных плат

2 и 3 иэ светочувствительного стекла позволяет использовать методы прецизионной фотолитографии при выполнении в платах отверстий для размещения контактов, обеспечивающие высокую точность их размеров и невысокую стоимость их изготовления, так как большое количество изготавливается в одном технологическом цикле, Работает устройств следующим об- р5 разом.

При контактировании с контактными площадками кристалла 6 контакты 4 упруго изгибаются в радиальном направлении при перемещении контактов в осевом направлении, при этом овальные отверстия в плате 3 обеспечивают направленный изгиб контактов и их изоляцию от другого.

При окончании контактирования контакты 4 принимают первоначальную форму под действием упругих сил.

Использование современных методов интегральной технологии при изготовлении плат 2 и 3 обеспечивает высокую точность размещения контактов при уменьшении шага между ними и надежное контактирование (меньшее 0,2 мм), что позволяет уменьшить размеры контактных площадок на кристаллах полупроводниковых схем и гибридных

БИС.

Микрозондовая головка, содержащая корпус, изоляционные платы с отверстиями, в которых размещены упругие проволочные контакты, о т л и ч а ю щ а я с я тем, что, с целью повышения технологичности конструкции и надежности контактирования при уменьшении шага между контактами, изоляционные платы выполнены из светочувствительного стекла.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

М 639396, кл. Н 05 K 1/04, 1977.

2. Авторское свидетельство СССР

h" 597100, кл. H 05 К 1/04, 1976.