Зондодержатель

 

>932411

Союз Советсиив

Социапистичвсиик

Республик

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (5I)M. Кл.

G 0I R 1/06 (61) Дополнительное к авт. свнд-ву (22) Заявлено 04.06. 80 (21) 2938747/18-2! с присоединением заявки М

11теудаустиввЫ! квинтет ФСТР ве (заяви взв@втвви!! и вткрнти!! (23) П риоритет (!зЗ) УД К621.: 382. .002 (088 -8) Опубликовано 30.05.82. Бюллетень М 20

Дата опубликован»» оп»сани» 30.05.82 (72) Авторы изобретен»»

А.Ф.Филимонов и В.Д.Пузыня (71) Заявитель (54 ) 301ЩОДЕРВАТЕЛЬ

Изобретение относится к электроннойг технике,.в частности к конструкции элементов контрольного оборудования и.может найти применение при разработке зондовых установок, используемых в производстве интегральных микросхем .на этапе их контроля.

Известен зондодержатель, содержащий основание, подпружиненный ползун, кронштейн и зонд (иглу), изо10 ляционные детали и механизм регулировки, обеспечивающий точную установку зонда на контактные площадки крис-: талла интегральной схемы по координаты гм осям. Кронштейн выполнен . 15 пластинчатым и имеет значительную длину (60 мм) . Он крепится к ползуну через изоляционную стойку с цилиндрическими выступами, которые служат заклепками при креплении кроя20

ытейна к стойке. К ползуну с торца прикреплена из оляционная колодка, служацая для ограничения вертикального движения кронштейна, а встроенная в колодку регулируемая пружина обеспечивает начальную силу сдвига зонда Г! 3.

Однако данный зондодержатель работает неустойчиво. При вибрациях и изменении температуры зонды уходят с настроенных контактных площадок, требуют подстройка. Это происходит из-за слабой жесткости на скручивание кронштейна, образования при эксгытуатации люфта в заклепках, а иногда и их среза, отсутствия ограничения боковых смещений конца кронштейна, а значит и зонда.

Известен зондодержатель, содержащий основание, подпружиненнгй ползун, пружинный кронштейн, кронштейный с зондом, механизм регулировки, включающий регулировочгв1й винт, два эксцентрика, два упора и пружину. Основание изготовлено в виде бруска, который имеет штифт для фиксации зондодержателя в ппаяпайбе зондовой установки. винт для крепле.

932411

3 ния его к планшайбе, два эксцентри— ка, а в глубокое отверстие, выполненное в торце основания вдоль его продольной оси, размещаются входящие

B выточки эксцентриков упоры и пружина, обеспечиваюцие невыпадание эксцентриков из основания. Ползун представляет собой планку с торцовым пазом, резьбовой втулкой для подпру>киненного винта, служащего для регу- 10 лировки пружинного кронштейна по вертикали, винт для крепления ползуна через пружину к основанию, штифт, oIраничивающий разворот пружины, два паза, прорезанные вдоль и поперек 15 оси ползуна для ввода эксцентричных концов эксцентриков, резьбовое отверстие и отверстие под.штифт.

Пружиннный кронштейн имеет на выступе угловую выборку и резьбовое от- 0 верстие для крепления кронштейна .с зондом, штифт, входящий в торцовый паз ползуна и ограничивающий боковое смещение ползуна и пружинного кронштейна относительно друг друга, винт и штифт для крепления его к ползуну.

Настройка зондодержателя, установленного на планшайбу зондовой установки, осуществляется следующим

30 образом, По оси Z вращением винта, установленного в резьбовой втулке ползуна и упирающегося в незакрепленный конец подпружиненного кронштейна, по оси X вращением. одного эксцентрика, а по оси У вращением второго эксцентрика при помощи отвертки 323.

Недостатками известного зондодержателя являются сложность конструк- ции и недостаточная надежность ее работы. Основные детали имеют сложную

40 конфигурацию, большие габариты, регулировка осуществляется по каждой оси отдельно. Значительное количество сопряжений деталей, а значит и мертвых ходов, затрудняет настройку устройства, снижает его надежность; т. е. устойчивость положения зонда по отноыению к контактной плоцадке контролируемого изделия.

Цель изобретения — упрощение конструкции и повышение надежности работыы.

Указанная цель достигается тем, что в зондодержателе, содержащем основание, механизм регулировки с вин- 55 том и упорами, подпружиненный ползун с пазами под упоры, на котором закреплен кронштейн с зондом, основание

4 выполнено ъ виде упругой скобы, на концах которой жестко закреплены упоры механизма р егулир овки, выполнен— ные коническими, причем конусность упоров больше конусности пазов, а оси упоров смещены одна относительно другой вдоль скобы, при этом механизм регулировки снабжен рычагом, конец которого размещен в коническом отверстии, выполненном на одном конце подпружиненного ползуна, другой конец которого выполнен в виде цанги.

На фиг. 1 изображен зондодержа— тель в продольном сечении; на фиг. 2то же, вид сверху, на фиг. 3 — то же, поперечное сечение А-А на фиг. l.

Зондодержатель состоит из кронштейна 1 с зондом 2, основания 3, ползуна 4, размещенного внутри основания

3. Основание 3 выполнено в виде упругой скобы. На одной полке последнего установлены винт 5, с помощью которого зондодер>катель крепится к зондовой установке 6, винт 7 и рычаг 8 механизма регулировки. На концах основания

3 жестко закреплены конические упоры

9 и 10. В ползуне 4 выполнены конические пазы 11 и 12 предназначенные цля упоров 9 и 10, соответственно, глухой паз 13> предназначенный для винта 7 и коническое отверстие 14, предназначенное для рычага 8 механизма регулировки. Оси конических упоров 9 и 10 смещены одна относительно другой вдоль оси скобы основания 3. При этом конусность упоров 9 и 10 меньше конусности пазов

11 и 12. Полэун 4 подпружинен с помощью пружины 15, один конец которой неподви>кно зажат при помощи упора 10 и заклепки 16. Для безвинтового закрепления кронштейна.1 с зондом 2 в ползуне 4 соответствующий конец ползуна выполнен в виде цанги .17.

Зондодержатель работает следующим образом.

При размещении ползуна 4 между полками основания 3 в его пазы 11 и 12 входят упоры 9 и 10,винт 7— в глухой паз 13, рычаг 8 — в коническое отверстие 14. Пружина 15 подпружинивает ползун 4 к винту 7 и создает необходимое трение, дополнительное к тому, которое создается за счет постоянного подпружинивания ползуна 4 к винту 7 из-за смецения осей упоров 9 и 10 одна относительно другой по продольной оси ос5 ., 932 нования 3. Раз ноконусность пазов ползуна 4 и соответствующих им упоров

9 и 10 обеспечивает безлифтовое наиболее устойчивое сочленение ползуна 4 и упоров 9 и 10 при наличии трех степеней свободы по осям Х-У-2 в необходимых пределах. Точное выставление зонда по отношению к контактной площадке микросхемы осуществляется по осям Х и У путем наклона рычага 8 в необходимую сторону, по оси Z — вращения винта 7.

Установка кронштейна с зондом непосредственно на жесткий ползун, зттим его в поперечном сечении в 1

4-х точках за счет разноконусности упор ов и паз ов создает стабильность нахождения эоцца в фиксированном положении. Уменьшение количества деталей, упрощение их конфигурации, умень-щ шение габаритов упрощает в целом конструкцию и, как следствие, удешевляет ее изготовление. Замена винтового крепления кронштейна с зоццрм на цанговый помимо удобства смеясь зонда, ужесточает кронштейн, который в месте отверстия под винт в известной конструкции часто ломается.

Формула изобретения

3ондодержат ель содержащий основаУ

39 ние, механизм регулировки с винтом .

411 6 и упорами, подпружиненный ползун с пазами под упоры, на котором закреплен кронштейн с зондом, о т л и— ч а ю шийся тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения надежности работы, основание выполнено в виде упругой скобы, на концах которой жестко эакреппены упоры механизма регулировки, выполненные коническими, причем конусность упоров больше конусности пазов, а оси упоров смещены одна относитеньно другой вдоль скобы, при этом механизм регулировки снабжен рычагом, конец которого размещен в коническом отверстии, выполненном на одном коице подпружиненного попзуиа, другой конец которого выполнен в виде цанги.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Зондодержатель БбИЗ. 773.0 l2 установки Зонд-А4И, 2.638.004, изготавливаемой заводом "Эллар", r. Рига..

2 ..Зондодержатель БЬИ2. 689. 000 установки Зонд-А5, 14 КИ-14-008, 2.688.007> изготавливаемой заводом

"Эллар", г. Рига (прототип ) .

932411

Составитель Л.Прокопенко

Редактор В.Пилипенко Техред Е. Харитончик

Корректор С.Шекмар

Подпи с но е

Филиал ППП Патент, r. Ужгород, ул. Проектная, 4

Заказ 3776 65 Тираж 719

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, )К-35, Раушская наб,, д. 4/5