Контактное устройство

 

Союз Советских

Социалистических республик

ОП ИСАНИЕ

ИЗО6РЕТЕН ИЯ

Х АееТОРСХОМУ СВИДЕТЕЛЬСТ8У

<1 1>932657 (61) Дополнительное к авт. с вид-ву— (22)Заявлено 20.03 ° 79 (21) 2739ч86/18-.21 с присоелннениеет заявки М— (23) Приоритет (53)lVL. Кл.

Н 05 К 1/15

Гасударственный квинтет

СССР на делам изобретений и открытий (53) УДК 621 ° 315 ° . 684 (088. 8) Опубликовано 30. 05.82. Бюллетень М 20

Дата опубликования описания 30.05.82 (72) Авторы изобретения

А.Б.Дрешер и Ю.В.Люпин (71) Заявитель (54) КОНТАКТНОЕ УСТРОЙСТВО

Изобретение относится к радиотех. нике и может быть использовано для контроля измерения и подгонки электрических параметров пленочных элементов гибридных интегральных схем.

Известно контактное устройство, содержащее направляющую в виде кольца с зондодержателями, в которых закреплены подвижные упругие Г-образные зонды(1 ).

Использование контактного устроито ства для контроля пленочных ридных интегральных схем обладает невозможностью подключения к отдельным элементам вследствие перекрытия зондат5 ми рабочей зоны, недостаточной точностью контроля из-за необходимости дополнительного вертикального перемещения координатного стола, а также неудобством эксплуатации из-за затруд20 ненного визуального контроля.

Известно контактное устройство, содержащее направляющую, в отверсти ях которой размещены зондодержатели с зондами, каждый из которых снабжен эле кт ромагнитным приводом(2 ).

Однако это контактное устройство не обеспечивает достаточную точность контроля и удобство эксплуатации изза перекрытия рабочей зоны зондами.

Цель изобретения - повышение точности контроля и удобства эксплуата" ции.

Указанная цель достигается тем, что в контактном устройстве, преимущественно для контроля пленочных гибридных интегральных микросхем, содержащем направляющую, зондодержатели с зондами, каждый из которых снабжен электромагнитным приводом, направляющая выполнена в виде кольца с клиновидными пазами, снабженного буртиком, в каждом из которых размещен подпружиненный зондодержатель с зондом.

На фиг. 1 изображено контактное устройство, вид сбоку, (разрез А-А

93265

3 на фиг.2 ; на фиг.2 - то же„вид сверху.

Контактное устройство содержит направляющую 1 в виде кольца с клиновидными пазами 2 и буртиком 3.

В каждом пазу 2 размещен диэлектрический зондодержатель 4 с поворотной головкой 5 и прижимным винтом 6 парой упругих Г-образных зондов 7, с приводом в виде электромагнита 8 1ф и рычага 9. Зондодержатели подпружиненны пружиной 10 возврата.

Устройство работает следующим образом.

Контактное устройство закрепля- и ется на установке для контроля и подгонки параметров пленочных элементов между рабочим органом и под вижным координатным столом, на котором устанавливается гибридная интегральная микросхема 11. Все зондодержатели 4 под действием пружин 10 отведены 1,находятся в верхнем положении .

Последовательно позиционируя каждый проверяемый элемент под рабочий орган производят настройку зондов.

Для этого, подключив напряжение питания к соответствующему электромагниту, опускают зондодержатель 4. зе

Затеи, отжимая винты 6 и поворачивая головки 5, устанавливают зонды каждой пары на контактные площадки проверяемого элемента. Зонды фиксируют, закрепляя головки 5 и зажимая винты 6.

На координатный стол устанавливают микросхему 11, по заданной программе осуществляют позиционирование проверяемого элемента и включают электромагнит соответствующего зондодержателя. После замера и подгонки до требуемого значения параметра элемента электромагнит 8 отключают и выполняют позиционирование следующего по программе элемента.

Формула изобретения

Контактное устройство, преимущественно для контроля пленочных гибридных интегральных микросхем, содержащее направляющую, зондодержатели с зондами, каждый из которых снабжен электромагнитным приводом, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности контроля и удобства эксплуатации,направляющая выполнена в виде кольца с клиновидными пазами, снабженного буртиком, в каждом из которых размещен подпружиненный зондодержатель с зондом.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

И 530485, кл. Н 05 K 1/04, 1976.

2. Патент Японии 11 50-4059, кл. 59 С 4 (Н 05 К 3/00), 1970, (прототип) .

932657

Составитель Л. Прокопенко

Редактор А. Мотыль Техред И. Гайду Корректор М.Демчик

Заказ 3804/77 Тираж 856 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4