Преобразователь для активного контроля толщины электропроводящих покрытий в процессе нанесения

 

Союз Советскнк

Соцналнстнмвсинк

Республик

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ м934208 (Sl ) Дополнительное к авт. саид-ву(22) Заявлено 14. 07. 80 (23 ) 296088у18-28 (51)M. К,п. с присоединением заявки М

6 01 В 7/06

9куаерсианвй квинтет ссВР ае делен нзебрвтвннй н открытий (23) Приоритет

Опубликовано 07.06.82. Бюллетень лв21 (53) УДК620.179. .14(088.8)Дата опубликования описания 07.06.82 (72), Авторы изобретения

Е.М.Белый, И.И.белый и С.Т.Есаулков

) Ульяновский политехнический институт (71) Заявитель

CS4) ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДЛЯ АКТИВНОГО КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ

ЭЛЕКТРОПРОВОДЯЩИХ ПОКРЫТИЙ В ПРОЦЕССЕ НАНЕСЕНИЯ

Изобретение относится к средствам электромагнитной размерометрии и может быть использовано для контроля толщины ферромагнитных покрытий в процессе их нанесения.

Известен преобразователь для акS тивного контроля толщины электропроводящих покрытий в процессе нанесения, содержащий токопроводящуа основу и расположенный на ней слой диэлектрика tlat.

Однако точность контроля ферромагнитных покрытий этим преобразователем недостаточная, так как токопроводящая основа выполнена в виде плоского электрода, предназначенного для установки кварцевого резонатора.

Погрешность установки последнего влияет на точность контроля покрытия. 20

Цель изобретения - повышение точности контроля ферромагнитных покрытий.

Эта цель достигается тем, что ток копроводящая основа со слоем диэлектрика выполнена в виде гофрированной мембраны, в центре которой и гю периметру выполнены контакты, пред" назначенные для снятия импульсных сигналов от гофрообразного наносимого ферромагнитного покрытия.

На чертеже представлена схема преобразователя.

Преобразователь содержит токопроводящую основу 1, расгюложенный на ней слой 2 диэлектрика, эта основа с диэлектриком выполнена в виде гофрированной мембраны, в центре которой и по периметру выполнены кон» такты 3 и 4, например, контакт 3дискообразный, а контакт 4 - кольцеобразный, к последним подключен индикатор 5 импульсных сигналов, а к основе 1 подключен генератор 6 переменного тока.

Преобразователь работает следую щим образом.

934208

Формула изобретения.

Составитель А.Духанин

Техред И,Гергель Корректор Г.Огар

Редактор В.Иванова. Заказ 390б/32 Тираж 614 Подписное

ВНИИ ПИ Государственно го комитет а С С С Р по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

Филиал ППП "Патент", г.ужгород, ул.Проектная,4

Основа 1 со слоем 2 диэлектрика устанавливается в зоне нанесения пок- рытия в качестве "свидетеля". Через основу 1 пропускают переменный ток, а на слое 2 диэлектрика происходит осаждемие наносимого ферромагнитного покрытия 7, которое получается гофрообразным по форме слоя 2. В наносимом покрытии 7 вследствие индуктивного влияния тока в основе 1 возбуждаются сигналы, представляющие пачки импульсов, параметры которых изменяются по мере роста. толщины покрытия 7. Количество импульсов за период переменного тока в основе 1 35 соответствует определенному значению, толщины покрытия 7. Поэтому по пока-., заниям индикатора 5 (в данном случае советчика импульсов) судят об измеряемой толщине покрытия. 20

Точность контроля толщины ферромагнитного покрытия повышается на

30"403 вследствие исключения погрешности установки кварцевого резонатора.

Преобразователь для активного контроля толщины электропроводящих ,покрытий в процессе нанесения, содержащий токопроводящую основу и расположенный на ней слой Гдиэлектрика, отличающийся тем, .что, с целью повышения точности контроля ферромагнитных покрытий, токопроводящая основа со слоем диэлектрика выполнена в виде гофрированной мемб" раны, в центре которой и по периметру выполнены контакты, предназначенные для снятия импульсных сигналов от гофрообразного наносимого ферромагнитного покрытия.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

N . 727978, кл. G 01 В 7/06, 1/78 (прототип).