Устройство для контроля толщины диэлектриков

 

()))911138

С сна з Советских

Сациви истичесних

Реснубиии

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕИЛЬСТВУ (6I ) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 28.11.79 (21) 2843899/2g-28 с присоединением заявки ях

{51)Nl, Кл.

G Î! В 7/08 (72) Авторы изобретения

Г.С. Демидов, В.Д. Ериванов и В.А. Имел (71) заявители (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ДИЭЛЕКТРИКОВ

Изобретение относится к контроль но-измерительной технике и может быть использовано для контроля толщины изделий из диэлектриков.

Известно устройство для измерения толщины диэлектрического материала, содержащее плоский измерительный конденсатор, включенный в качестве плеча в трансформаторный мост. В соседнее плечо моста включен подстроечный конденсатор, предназначенный для балансировки схемы $1).

Недостатком устройства является невысокая чувствительность, обусловленная тем, что рабочим является толь ко одно плечо моста.

Наиболее близким по технической сущности к изобретению является устройство для контроля толщины диэлектриков, содержащее трансформаторный мост с включенным в него трехэлектродным конденсатором, в котором равные по размерам измерительные электроды размещены по одну сторону, от общего электрода под углом к середине его плоскости (2).

Недостатком устройства является его ограниченные функциональные возможности, обусловленные тем, что устройство позволяет контролировать лишь малые по размерам дефекты контролируемого объекта, размещаемого в процессе измерений в межэлектродном пространстве.

Целью изобретения является расширение.функциональных возможностей, т.е. обеспечение не только обнаружения отклонения в .толщине, но и измерение толщины материалов:

Поставленная цель достигается тем, что измерительные электроды расположены под одинаковыми углами к краям плоскости общего электрода, а один из них предназначен для размещения на его поверхности контродируемого изделия в процессе измерения.

91113ß

Формула изобретения

Составитель Л. Гуськов

Редактор H. Гунько Техред T.Ìàòo÷êà Корректор M . Коста

Зак-.з 1095/21 Тираж 614 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035 Москва, И-35, Раушская наб., д 4/5 филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная,4

Ка чертеже приведена принципиальная схема устройства.

Устройство содержит трансформаторный мост 1 с обмотками 2 и 3 и включенным в него трехэлектродным конденсатором с общим электродом 4 и измерительными электродами 5 и 6.

Контролируемое диэлектрическое изделие 7 располагается на поверхности одного из измерительных электродов 5, В измерительную диагональ моста вклюЧен индикатор 8. Схема питается от источника 9 переменного напряжения.

Устройство работает следующим образом.

При изменении толщины контролируемого изделия 7 из диэлектриков, например при увеличении толщины,возникают разные по знаку приращения емкостей между измерительными электродами 5 и 6 и общим электродом 4.

Вследствие эффекта "затягивания" силовых линий в область с большей диэлектрической проницаемостью, емкость, образованная электродами 4 и 5, увеличивается, а емкость, образованная электродами 4 и 6, уменьшается. Так как указанные емкости включены в соседние плечи. моста, то их приращения суммируются.

Предлагаемое устройство позволяет не только обнаруживать отклонения в толщине контролируемых диэлектриков, но и эффективно измерять толщину материалов,что расширяет функциональные возможности устройства.

lO Устройство для контроля толщины диэлектриков, содержащее трансформаторный мост с включенным в него трехэлектродным конденсатором, в котором равные по размерам измери1S тельные электроды размещены-по одну сторону от общего электрода под углом к нему, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью расширения его функциональных возможностей, изме2О рительные электроды расположены под одинаковыми углами к краям плоскости общего электрода, а один из них предназначен для размещения на его поверхности контролируемого изделия

2$ в процессе измерения.

Ксточники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

1" 346569, кл. (01 В 7/08, 1970. зв 2. Авторское свидетельство СССР

М 530238, кл. С 01 И 27/24, 1975 (прототип).

Устройство для контроля толщины диэлектриков Устройство для контроля толщины диэлектриков 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к измерительной технике и может найти широкое применение в системах неразрушающего контроля и измерений толщины пленочных покрытий

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к области измерения геометрических размеров плоских изделий, и может быть использовано при измерении толщины плоских изделий из диэлектриков, полупроводников и металлов, в том числе полупроводниковых пластин, пластических пленок, листов и пластин

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для контроля толщины металлических покрытий в процессе их образования, например, на металлических деталях, в частности, при нанесении покрытий из паровой фазы пиролитическим способом

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для определения деформирующей способности технологических остаточных напряжений в поверхностном слое изделий из металлов и сплавов с различными электромагнитными свойствами

Изобретение относится к неразрушающим методам контроля качества и геометрических размеров изделий и может быть использовано для измерения толщины проводящих покрытий
Изобретение относится к электронной технике и электротехнике и может быть использовано, в частности, в качестве датчиков магнитного поля или тензодатчиков

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для измерения толщины различных покрытий на цилиндрических металлических основах

Изобретение относится к измерительной технике, а более конкретно к методам и техническим средствам для контроля толщины твердых и полутвердых защитных покрытий, изоляционных слоев, жировых отложений, смазочных и лакокрасочных пленок на электропроводящей, в частности, металлической основе
Наверх