Полировальный состав для обработки германиевых пластин

 

(71) Заявитель (54) ПОЛИРОВАЛЬНЫЙ СОСТАВ ДЛЯ ОБРА60ТКИ ГЕРИАНИЕВЫХ

ПЛАСТИН

Изобретение относится к полупроводниковой технике, в частности к технологии полировки полупроводниковых пластин.

Ф т

Известен полировальный состав для обработки германиевых пластин, содержащий водный раствор горчицы, углекислый аммоний, перекись водорода и абразивный наполнитель-аэросил (1).

Однако из-за наличия в составе аэросила, который очень гигроскопичен, происходит ухудшение качества пластин и процесс полирования нестабилен.

Цель изобретения - повышение icaчества полируемых пластин.

Эта цель достигается тем,что состав, содержащий водный раствор горчицы, углекислый аммоний, перекись водорода и полируемый компонент, в качестве абразивного наполнителя содержит алюмосипикат при следующем соотношении компонентов, вес.4:

Раствор горчицы 5-25

Углекислый аммоний 4-20

Перекись водорода 2-10

Алюмосиликат 4-20

Вода Остальное

5 Исключение аэросила из сферы производственной деятельности и замена его нетоксичным алюмосиликатом значительно улучшает условия труда рабочих. В отличие от аэросила алюмосиликвт еНее летуч ак как удельный вес его в 3 раза больше. Он менее гигроскопичен, что обуславливает стабильность процесса полирования и воспроизводииость его результатов.

Следовательно, использование.в предлагаемом составе для химико-механической полировки в качестве полирующего компонента алюмосиликата обеспечивает нетоксичность предлагаемого состава и необходимое качество поверхности. Указанные соотношения компонентов обеспечивают хорошее качество полирования, так как алюмоКомпоненты попнрующего состава, вес.4

Выход,З

Качества обработанных пластин

Обрабаты ваемый материал

Состав

Наличие дефектов

Вид по верхности.

Пере- Вода кись водо рода

Чистот поверх" ности класс

Горчи- Угле" ца кислый аммо-. ний

ПредлагаеHblA

12 . 15 12 6 Я 14 Зеркапь-Без ри- 72 ный сок и царапин

AS Ill

20 25 20 10 25 14 То же То же 81

Известный Ge

754.

3 93 силикат дает в щелочной среде достаточный съем подкисленного перекисью водорода материала, а горчица обеспечивает необходимую по чистоте по. верхность.

Для полирования германиевых плас" тин до чистоты поверхности 14 класса, приготавливают состав для химикомеханической полировки, состоящий из алюмосиликата (апюмосиликатный наполнитель) — 40 ч. (4 вес.Ж); горчицы - 50 ч (5 вес.Ф); углекислого аммония - 40 ч (4 вес.3); перекиси водорода - 20 ч, (2 вес.4); воды 850 ч.

При приготовлении предлагаемого . состава в теплой дистиллированной воде (t 40-50 С) растворяют горчичный порошок до полного его растворения. Горчичный раствор остаивают не менее 2 ч и фильтруют через батист.

Затем приготавливают раствор углекислого аммония, предварительно измельченного в ступке. Расчетное ко.личество углекислого аммония также растворяют в дистиллированной воде и фильтруют через слой ваты.

Для приготовления состава в дистиллированную воду вливают растворы горчицы и углекислого аммония и добавляют взвешенное количество алюмосиликата через капроновое сито. В полученный состав добавляют перекись

Из таблицы видно, что предлагаемый состав для полировки обеспечивает необходимое качество полированной поверхности пластин из радиальных полупроводниковых материалов и значительно увеличивает процент выхода годных пластин по сравнению с известным составом, 7495

1 водорода. Приготовление состава осуществляют в вытяжном шкафу. Химикомеханическую полировку, например, германиевых пластин осуществляют на стенках NK 14.09.

Режимы полировки: скорость вращения полировальника 70-80 об/мин; скорость подачи состава 80-100 кап/мин; удельное давление 60-70 ч/см ; ори10 ентировочный съем материала 0,30,1 мкм/мин.

Пластины после химико-механической полировки обмывают раствором поверхностно-активного вещества и сушат на центрифуге. После химико-механической полировки пластины подвергают селективному травлению.

Германиевые пластины, обработанные предлагаемым составом, имеют чистоту поверхности 14 класса, зеркальную, бездефектную поверхность (без наличия рисок, царапин, алмазного фона, углубления) .

Использование предлагаемого состава позволяет повысить процент выхода годных пластин на операции селективного травления с 554 до 751. Предлагаемым составом в различном соотношении компонентов можно обрабатывать пластины из различных материалов.

Составы, используемые для обработки различных материалов, приведены в таблице.

Технико-экономическая эффективность предлагаемого состава для полировки заключается в обеспечении неI токсичности процесса полировки и получения процента выхода годных пластин значительно выше, чем при ранее применяемых составах и составляет. 6

Раствор горчицы

Углекислый аммоний

Перекись водорода

Алюмосиликат

Вода

937495

5-25

4-20

2-10

4-20

Остальное

Составитель И. Гинзбург

Редактор Г. Волкова Техред Ж.Кастелевич Корректор Рошко

Заказ 4375/33 Тираж 661 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий. 113035, Иосква, Ж-3, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Формула изобретения

Полировальный состав для обработки германиевых пластин, содержащий водный раствор горчицы, углекислый аммоний, перекись водорода и абразивный наполнитель, о т л и ч а ю— шийся тем, что, с целью повышения качества полируемых пластин, он в качестве абразивного наполнителя содержит алюмосиликат при следующем соотношении компонентов, вес.>:

Источники информации принятые во внимание при экспертизе! о 1. Технологическая карта NK0 028

809ТК, 1978.