Регулятор расхода

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советскик

Социалистических

Республик

«i>947835 (61) Дополнительное к авт. свид-ву—

)51)M.Кп з

G 05 D 7/03 (22) Заявлено 140580 (21) 2925549/18-24 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет

Опубликовано 3007.82. Бюллетень ¹ 28

Дата опубликования описани я 30.07.82

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий (%3) УДК621. 646. . З(088.8) Ю.Я.Комисаренко и A.A. Новиков (72) Авторы изобретения

6 М;ЗЮЗЮ М;

Винницкий политехнический институт (71) Заявитель (54) РЕГУЛЯТОР РАСХОДА

Изобретение относится к автомати ческому регулированию газовых потоков и может быть использовано в конструкциях регуляторов газовых потоков в вакуумных система с в качестве регулируемого натекателя газа для получения и поддержания требуемого давления в вакуумной системе.

Известен регулятор газового потока, 10 в котором в качестве регулирующего тзргана используется капилляр с введенным в него тонким стержнем. Он представляет собой вакуумный затвор, в корпусе которого расположен эластичный капилляр с пережимным устройством, подводящим и отводящим штуцерами, один из которых установлен подвижно в осевом направлении, что восстанавливает проходное сечение капиллятора при открытии затвора (1 ).

Недостатками этого регулятора являются узкий диапазон регулирования малых газовых потоков при больших перепадах давления, нестабильнОсть работы и сильная зависимость потока 25 газа от степени пережатия на начальном участке управления потоком, что связано, в основном, с эалипанием эластичного .капилляра и его резким открыванием при уменьшении пережатия. 30

Эти недостатки не позволяют исполь— зовать затвор в качестве управляемого натекателя вакуумных систем.

Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является регулятор расхода, содержащий корпус с установленной. внутри него шайбой и входным и выходным каналами. В отверстии шайбы установлена упругая нить, один конец которой закреплен в корпусе, а другой связан с приводом (2).

Недостатком этого регулятора является наличие трения меищу нитью и шайбой, влияющего на стабильность его характеристики.

Цель изобретения †.устранение укаэанного недостатка, т.е. повышение точности регулятора.

Поставленная цель достигается тем, что в регуляторе расхода, содержащем корпус, в котором между входными выходным каналами расположена шайба, в ее центральном отверстии установлена упругая нить, один конец которой закреплен в корпусе, а другой связан с источником механических перемещений, источник механических перемещений выполнен в виде вибратора, установленного с воэможностью перемещения отно947835 сительно шайбы вдоль оси ее центрального отверстия.

Кроме того, длина упругой нити между шайбой и вибратором определена и э соотношения (; = И -,.

4 где (- длина упругой нити между шайбой и вибратором, п - целое число из ряда 1, 2, 3... и т.д., 10 (- длина волны, возбуждаемой вибратором в упругой нити.

На чертеже изображен регулятор рас- . хода в разрезе, один из вариантов.

Регулятор расхода содержит упругую15 нить 1, шайбу 2, закрепленную через резиновую прокладку в корпусе 3 посредством гайки 4. На корпусе 3 имеется выходной штуцер 5 для подключения к вакуумной системе ° Упругая нить 1 Zp одним концом закреплена в корпусе 3, а другим к подвижному элементу вибратора 6, который установлен на механизме продольного перемещения, образованном винтовым стержнем 7 и гайкой 8. Шайба 2 расположена между вход. ным 9 и выходным 10 каналами.

Работа регулятора расхода основана на свойстве упругого тела изменять размеры поперечного сечения при изменении его длины и осуществляется следующим образом.

Вращением гайки 8 производят необ" ходимое натяжение упругой нити 1, что определяет необходимый газовый поток в вакуумную систему. При включении вибратора 6, которым может служить, например, электромагнитный вибратор, сечение упругой нити 1 в шайбе 2 периодически изменяется, что также приводит к изменению газового 40 потока, поступающего в вакуумную систему. Йэменение амплитуды и (или) частоты колебаний путем изменения напряжения источника питания вибратора и его частоты вызывает изменение коли;ф5 чества протекающего через шайбу 2 газа.

Для повышения чувствительности регулятора длину упругой нити 1 между шайбой 2 и подвижным элементом вибратора делают кратной одной четвертой длины волны, возбуждаемой в упругой нити.

Это обеспечивает образование пучности в области шайбы 2, что и повышает чувствительность регулятора расхода, Для расширения рабочего диапазона регулирования газового потока шайба может быть выполнена иэ эластичного материала, например, резины. Это позволяет более тонко регулировать начальный газовый поток и выбирать необходимый диапазон его изменения.

Выполнение источника механических перемещений в виде вибратора позволяет повысить чувствительность и быстродействие регулятора расхода при одновременном упрощении конструкции.

Формула изобретения

1. Регулятор расхода, содержащий корпус, в котором между входным и выходным каналами расположена шайба, в ее центральном отверстии установлена упругая нить, один конец которой закреплен в корпусе, а другой связан с источником механических перемещений, отличающийся тем, что, с целью повышения, точности регулятора, в нем источник механических перемещений выполнен в виде вибратора, установленного с воэможностью перемещения относительно шайбы вдоль оси ее центрального отверстия.

2. Регулятор по п. 1, о т л ич а ю шийся тем, что длина упругой нити между шайбой и вибратором определена из соотношения е-и, где P - длина упругой нити между шайбой и вибратором, п - целое число из ряда 1, 2, 3.. и т.д — длина волны, возбуждаемой вибратором в упругой нити.

Источники инФормации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

Р 469841, кл. F 16 К 7/Об, 1975.

2. Авторское свидетельство СССР

Р 706827, кл. G 05 0 7/01, 1978 (прототип).

9 4783 5

СостаВитель Г.Сидоров

Техред М. Рейвес Корректор Ю. Макаренко

Редактор Е.Папп

Филиал ППП "Патент", r.ужгород, ул.Проектная, 4

Заказ 5650/71 Тираж 914 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5