Автомат для классификации полупроводниковых приборов

 

М. Ф. Фрумкин, A. И. Новолаев, В. g. Серебрянников

НМТ то ы (54) АВТОМАТ ДЛЯ КЛАССИФИКАЦИИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ

ПРИБОРОВ

Изобретение относится к полупроводниковому машиностроению и может быть использовано в электронной промышленности при контроле параметров полупроводниковых приборов.

Известны устройства щ я классификации полупроводниковых приборов, содержащих внбробункер, загрузочный лоток, ротор с шаговым врашением, контактную грунду и измерительные блоки 11 1

Недостатком известных устройств является жесткая фиксация загрузочных лотков, по которым приборы из вибробункера направляются в гнезда ротора. При наличии же15 стко зафиксированного лотка требуется повышенная точность шага ротора и жесткий допуск на габаритные размеры приборов, обеспечение которых требует большой тру« доемкости, а разброс габаритных размеров щиводит к перекосу прибора при его джжении в лотке и заклиниванию, что у цгдшает надежность работы автомата, снижа

2 ет его производительность из-за вынуж» дзинь|с остановок автомата.

Наиболее близким к предлагаемому является автомат для классификации полупреводниковых приборсв, содержащий вибробункер, загрузочный лоток, транспортир ющий ротор с гнездами для полупроводни ковьаг приборов, контактный механизм, ме хвнизм сортировки, логичессий и измеритель» ный блоки Г21. г

Однако этот автомат также недостаточ» но надежен в работе и обла дает невысокой производительностью.

Цель изобретения - повышение надежности и производительности.

Поставленная цель достигается тем, что в автомате для классификации полупро» водниковых прибор<в, содаржадем виб ро бункер, загрузочный лоток, транспортирующий ротор с гнездами для полупроводнике вых приборов, контактный механизм, меха низм сортировки, логический и измерител ный блоки, транспортирующий ротор снаб3 9514 жен профильным кольцом, каждый паз которого размещен соответственно гнезпу транспортируюшего ротора, а загрузочный лоток установлен на поворотной оси и снабжен подпружиненным рычагом с роликом, размешенным с возможностью взаимодействия с каждым пазом профильного кольца транспортируюшего ротора.

На чертеже изображена схема автомата для классификации полупроводниковых прибор ов.

Автомат для классификации полупровод« никовых приборов содержит вибробункер 1, загрузочный лоток 2, установленный на поворотной оси 3, укрепленного на конце лотка подпружиненного рычага 4 с роликом 5, контактирующим с профильным кольцом 6, аксиально закрепленным на транспортирующем роторе 7, ограничительной скобы 8 с регулируемыми упорами 9 и

10, контактного механизма 11, рычага

12, торцового кулака 13, привода 14, электродвигателя 15. Разгрузочное устройство включает в себя электромагнит

16, тягу 17 и откидывающую плошадку

18. Магазин 19 имеет четырнадцать емкостей для рассортированных приборов.

Автомат работает сждуюшим образом, Из вибробункера 1 сориентированные приборы поступают в загрузочный лоток

2. Лоток 2 закреплен на оси 3 и через ролик 5 подпружиненного рычага 4 находится в контакте с профильным кольцом

6. При совмешении лотка - с гнездом в роторе 7, подпружиненный ролик 5 скатывается в наз кольца 6 и увлекает лоток

2 в направлении, противоположном движению ротора 7. Лоток под действием инерционных сил проскакивает устойчивое положение.,и ролик накатывается на про- 4О тивоположный подьем паза профильного кольца.

Под действием пружины ролик возврашается в обратном направлении и увлекает за собой лоток и так до момента устойчивого положения ролика 5 в пазу профильного кольца 6, т.е. профильное кольцо своими пазами обеспечивает колебание, совмещение и фиксацию лотка отис сительно соответствующего гнезда ротора на позиции загрузки прибора. Колебание

85 4 лотка устраняет заклинивание приборов в канале лотка и обеспечивает надежную загрузку приборов в гнезда ротора, Загруженные s ротор 7 приборы на позиции замера заправляются в контактный механизм 11 и кулаком 13 через рычаг

12 зажимаются в ней. Затем осушествляется контроль надежности контактирования, замер электрических параметров. Результаты измерения логический блок запоминает и, когда прибор будет находиться в зоне соответствующей емкости магазина 19, электрический сигнал логического блока будет подан на электромагнит 16, который через тягу 17 развернет откидываемую плошадку 18 и прибор выпадет из гнезда ротора 7.

Предлагаемый автомат более надежен в работе и более производителен.

Ф о рму ла из обретени я

Автомат для классификации полупроводниковых приборов, содержащий вибробункер, загрузочный лоток, транспортирую- ший ротор с гнездами для полупроводниковых приборов, контактный механизм, механизм сортировки, логический и измерительный блоки, о т л и ч а ю ш и и с я тем, что, с целью повышения надежности и производительности, транспортирующий ротор снабжен профильным кольцом, каждый паз которого размешен соответственно гнезду транспортируюшего ротора, а — загрузочный лоток установлен на поворотной оси и снабжен подпружиненным рыча». гом с роликом, размешенным с возможностью взаимодействия с каждым пазом профильного кольца транспортирующего ротора.

Ист очники информации, принятые во внимание при экспертизе

1, Авторское свидетельство СССР

М. 557436, кл.Н 01Ь 21/66,04.03.75.

2. Авторское свидетельство СССР

М. 534810, кл, Н 01 I 21l66, 03.0 5. 73.

951485

С, авитель О. Кудрявцева

ТекРе д А.Бабинец Ко орректор М. немчик

Редактор Л Авраменко

Заказ 5961/64

Патент г, г. Ужгороа, ул. Проектная 4

ВНИИПИ Гос

Тираж 761 р Подписное осударственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, 35, Раушская- наб., a. 4/5

Фи ли ал ППП "

Автомат для классификации полупроводниковых приборов Автомат для классификации полупроводниковых приборов Автомат для классификации полупроводниковых приборов 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к технике контроля параметров полупроводников и предназначено для локального контроля параметров глубоких центров (уровней)

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к области измерения геометрических размеров плоских изделий, и может быть использовано при измерении толщины плоских изделий из диэлектриков, полупроводников и металлов, в том числе полупроводниковых пластин, пластических пленок, листов и пластин

Изобретение относится к полупроводниковой технике и направлено на повышение точности измерения параметров эпитаксиальных слоев на изотипных проводящих подложках и применение стандартных образцов, изготовленных по технологии, обеспечивающей существенно более высокий процент выхода годных и более высокую механическую прочность

Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано для выявления и анализа структурных дефектов (ростовых и технологических микродефектов, частиц второй фазы, дислокаций, дефектов упаковки и др.) в кристаллах кремния на различных этапах изготовления дискретных приборов и интегральных схем

Изобретение относится к области силовой полупроводниковой техники и может быть использовано при изготовлении тиристоров и диодов
Изобретение относится к неразрушающим способам контроля степени однородности строения слоев пористого кремния

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к области измерения электрофизических параметров материалов, и может быть использовано для контроля качества полупроводниковых материалов, в частности полупроводниковых пластин
Наверх