Устройство для профильного шлифования кромок пластин

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советснии

Социалистических

Республик

«»952539 (61) Дополнительное к авт. сеид-ву (22) Заявлено 09.01.81 (21) 3233546/25-08

I (11М Кп 3 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет

В 24 В 9/00

Государственный комитет

СССР но делам изобретений и открытий

Опубликовано 230882. Бюллетень ¹31

Дата опубликования описания 23.08.82 (53) УДК621.923. . 1 (088. 8) (72) Авторы изобретения

A.È.Ïåðãóêîâ и В.Ф.Ушаков (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПРОФИЛЬНОГО ШЛИФОВАНИЯ

КРОМОК ПЛАСТИН

1Î

20

s0

Изобретение относится к механичес. кой обработке преимущественно полупроводниковых пластин и предназначено для шлифовки периферийных частей изделий, в частности для снятия фасок с кромок полупроводниковых пластин при массовом производстве полупроводниковых приборов.

Известно устройство для снятия фасок с полупроводниковых пластин, содержащее кронштейн с установленным на нем шлифовальным кругом с заданным профилем для шлифования и вращающийся столик для размещения обрабатываемой пластины (1) .

Однако известное устройство обладает недостаточно высоким качеством шлифования из-за несимметричности контура кромок, вызванной жесткой установкой кронштейна с шлнфоваль-. ным кругом относительно столика для размещения обрабатываемой пластины.

Цель изобретения — повышение качества шлифования путем обеспечения симметричности профиля кромок.

Для достижения поставленной цели устройство снабжено дополнительным кронштейном, установленным с воэможностью поворота в горизонтальной плоскости и связанным с основным, кронштейном при помощи введенных в устройство двух планок, причем кронштейны и планки соединены в шарнирный параллелограмм.

На фиг. 1 дана схема устройства, вид спереди на фиг. 2 — то же, вид сверху.

Устройство содержит вращающийся в горизонтальной плоскости столик

1 с вакуум-присосами, предназначенный для размещения и фиксации обра.батываемой полупроводниковой пластины 2 (привод вращения столика 1 не показан), На кронштейне 3 размещен шлифовальный круг 4 с заданным профилем для шлифования..Шлифовальный круг 4 имеет индивидуальный привод вращения от микрозлектродвигателя 5 посредством резинового пассика 6. С помощью двух соединительных планок

7 кронштейн 3 связан с кронштейном

8, установленным с воэможностью поворота в горизонтальной плоскости относительно вертикальной оси 9. Соединительные планки 7, в свою очередь, установлены на осях 10, вращающихся в подшипниках 11, размещенных в кронштейнах 3 и 8. При этом планки 7 установлены с возможностью поворота относительно осей 10, раэме952539 приводы вращения столика 1 и шлифовального круга 4, посредством поворота кронштейна 3 в горизонтальной

:плоскости шлифовальный круг 4 подводится к обрабатываемой пластине 2 (средства подведения не показаны).

При одновременном медленном вращении обрабатываемой пластины 2 (до 10 об./мин) и быстром вращении шлифовального круга 4 (до

10000 об./мин) происходит профильное шлифование пластины — процесс снятия фаски с ее кромок. В процессе обработки шпифовальный круг 4 прижимается к обрабатываемой пластине 2 посредством усилия демпфирующего уст50

55 шенных в кронштейне 8. Кронштейны

3 и 8 и соединительные планки 7 образуют подвижное соединение типа параллелограмма, предназначенное для обеспечения перемещения кронштейна

3 и, следовательно, шлифовального круга 4 в горизонтальной и вертикальной плоскостях. Одна из соединительных планок 7 содержит противовес 12, предназначенный для уравновешивания параллелограмма эа счет компенсации веса кронштейна 3 и шлифовального круга 4 с микрозлектродвигателем 5.

Кронштейн 8 снабжен демпфирующим устройством 13, предназначенным для обеспечения постоянного усилия резания, действующего на обрабатываемую 5 пластину 2. Демпфирующее устройство

13 может быть выполнено в виде пневмоцилиндра, шарнирно связанного с кронштейном 8 (система подачи сжатого воздуха в рабочую полость пневмо- 20 цилиндра не показана) .

Для установления величины вертикального перемещения шлифовального круга 4 относительно обрабатываемой пластины 2 (при предварительной настройке устройства перед его рабо.той) служат регулировочный винт 14 и ограничитель, состоящий из упоров

15 и поводка 16, выполненного как одно целое с одной из планок 7. у»

Устройство работает следующим образом.

Обрабатываемая пластина 2 устанавливается на столик 1 и фиксируется на нем вакуум-присосом. Посредством д противовеса 12, регулировочного винта

14 и поводка 16 ограничителя осуществляется предварительная настройка устройства для профильного шлифования пластин, заключающаяся в уравновешивании параллелограмма и установлении такой величины вертикального перемещения шлифовального круга 4 относительно обрабатываемой пластины 2, чтобы она не превышала значения, при котором пластина с мак-45 симально возможной толщиной выходит за пределы профильной канавки шлифовального круга 4 ° По окончании предварительной настройки включаются ройства 13, обеспечивающего постоянное усилие резания.

Если обрабатываемая пластина 2 имеет толщину, отличную от той, при которой была произведена предварительная настройка устройства для профильного шлифования, то под дейст-, вием сил резания, действующих на шлифовальный круг 4, происходит самоустановление его профиля симметрично относительно обрабатываемой пластины 2.

Процесс самоуотанавливания происходит следующим образом.

Под действием приращения вертикальной составляющей силы резания происходит поворот соединительных планок 7 относительно осей 10, размещенных на кронштейне 8, в .результате чего параллелограмм перемещается и поднимает или опускает (в зависимости от знака приращения) кронштейн

3 со шлифовальным кругом 4 так, что последний устанавливается симметрично своим профилем относительно обрабатываемой пластины, обеспечивая слежение за ее толщиной. Так получается симметричный профиль пластины, при котором внутренние напряжения равномерно распределяются по контуру фаски, что.значительно снижает брак (до 2Ъ), вызванный механическими повреждениями пластин на последующих операциях технологического цикла.

Таким образом, предложенное устройство за счет обеспечения симметричного снятия фаски позволяет повысить качество обработки пластин, повысить их стойкость к механическим повреждениям на последующих операциях технологического цикла обработки и тем самым повысить выход годных полупроводниковых приборов примерно на 2%. Кроме .того, за счет исключения временных потерь на проведение периодической настройки устройства повышается производительность его работы.

Формула изобретения Устройство для профильного шлифования кромок пластин, содержащее кронштейн с установленным на нем шлифовальным кругом с заданным проФилем для шлифования и вращающийся столик для размещения обрабатываемой пластины, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения качества шлифования путем обеспечения симметричности профиля кромок, оно снабжено дополнительным кронштейном, установленным с возможностью новорота в горизонтальной плоскости и связанным с основным кронштейном при помощи введенных в устройство двух планок, причем кронштейны и планки соединены в шарнирный параллелограмм.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент CLIA Р 4031667, кл, 51-105, 1977.

952539

Окатыи

Фаздух Фиа1

Составитель N.Âoäÿíèöêàÿ

Редактор О.юрковецкая техред м.Гергель корректор М.Демчик

Заказ 6147/22 Тираж 886 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4