Устройство для гидромеханической очистки плоских изделий

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик л>956064 (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 09.01.78 (21) 2567405/22-12 (51) М. Кп. с присоединением заявки М— (23) Приоритет—

В 08 В 1/04

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий

Опубликовано 07.09.82, Бюллетень МВ 33

Дата опубликования описания 0709.82 (Н УДК 621.7.024 (088. 8) (72) Авторы .изобретения

Н.Ф.Шаройко и Е.С.Градобоева (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ГИДРОМЕХАНИЧЕСКОЙ

ОЧИСТКИ ПЛОСКИХ ИЗДЕЛИЙ

Изобретение относится к конструкциям очищающих устройств и предназначено для гидромеханической очистки плоских изделий,,преимущественно хрупких, например подложек микросхем. Оно может найти применение в электротехнической, электронной, радиотехнической и химической промышленности при необходимости очис— тки тонких и хрупких плос1сих изделий.

Известно устройство для очистки сетчатого инвентаря, содержащее независимые плоские щетки, установленные вертикально, попарно, волосом друг навстречу другу и смонтированные с возможностью вращения вокруг своей оси 31).

В этом устройстве не может быть обеспечена высококачественная очистка изделий микроэлектроники, так как она ведется неравномерно из-за различия скоростей перемещения всех точек поверхности щеток.

Низкое качество очистки в известном устройстве объясняется также разновысокостью волоса щетки, вызванной неравномерным истиранием его при неравномерной очистке. Это не позволяет обеспечить одинаковый контакт волоса щетки с очищаемой по- 30 верхностью и проникать ему в микронеровности подложки. В результате режимы работы всех точек поверхности будут неодинаковы; выполнением отверстий для подачи моющего раствора в ворсе щеток, что приводит при вращении последних, с одной стороны, к перемешиванию мощцего раствора на очищаемой поверхности, а с другой стороны — к неравномерности его подачи. В первом случае загрязнения будут размываться по поверхности, а во втором — режимы очистки в разных точках поверхности будут неодинаковы; наличием нескольких вводов в зону очистки, вносящих дополнительные загрязнения в эту зону.

Целью изобретения является повышение качества очистки.

Цель достигается тем, что в устройстве для гидромеханической очистки плоских изделий, преимущественно хрупких, содержащем установленный в корпусе приводной узел очистки со смонтированными в нем обращенными одна к другой вертикальными рабочими поверхностями торцовыми щетками, связанное с ними средство для подачи моющего раствора и размещенные между щетками направляющие дЛя очи956064 щаемого изделия, узел очистки выполнен в виде касеты с параллельными направляющими для размещения щеток, смонтированной с возможностью кругового плоскопараллельного движения, причем направляющие для очищаемых S изделий установлены неподвижно относительно кассеты, а средство для подачи моющего раствора размещено над волосом щеток. Кроме того, для одновременной обработки нескольких изделий оно имеет дополнительные направляющие для очищаемого изделия, установленные неподвижно относительно кассеты.

На чертеже изображено предлагаемое устройство.

Устройство содержит установленный в корпусе 1 приводной узел очистки, в котором смонтированы торцовые щетки 2, обращенные одна к другой вертикальными рабочими поверхностями, направляющие 3 для очищаемого изделия 4, размещенные между щетками 2, и средство для подачи моющего раствора, связанное со щетками 2. Направляющие 3 закреплены на плите 5 под узлом очистки, а очищаемое изделие 4 в держателе б. Каждая щетка 2 выполнена, например, иэ оргстекла с отверстиями, в которых закреплены проволокой пучки 7 из волоса колонка, и вставлена в корпус 8.

Щетки 2 установлены по обе стороны держателя б таким образом, что деформация их волоса составляет не менее 2 мм. Узел очистки имеет привод- 35 ную кассету 9 со смонтированными параллельно одна относительно другой направляющими 10 для щеток 2 и дополнительные направляющие 11 для нескольких очищаемых изделий 4. На- 4п правляющие 3 и 11 установлены неподвижно относительно кассеты 9. Средство для подачи моющего раствора размещено над волосом щеток и представляет собой отверстия 12, выполненные 45 в верхней части корпусов 8 и соединенные через полости 13 со штуцерами 14 подачи моющего раствора. Кассета 9 задней стенки крепится к приводу кругового плоско-параллельного движения. Последний может быть выполнен, например, в виде кривошипношатунного механизма и состоит из рычага 15, который через подшипники 16 качения установлен на выходных параллельных коленчатых валах 17 редуктораЯ

Для предотвращения заклинивания кассеты 9 во время работы одна опора рычага 15 выполнена плавающей — в рычаге 15 имеется паз под подшипник качения 16, сидящий на выходном валу 60 редуктора. Выходные валы 17 редуктора введены в корпус 1 через отверстия, имеющиеся на задней стенке. для пре- . дотвращения затекания моющего раствора На валу Редуктора между p aroM 45

15 и кассетой 9 служит защитный экран 18. Под направляющими 3 и 11 с держателями б в плите 5 выполнен вырез для слива отработанного раствора в воронку 19. Корпус 1 закрыт сверху крышкой 20.

Устройство работает следующим образом.

Очищаемые изделия 4 устанавливаются на держатели б, которые вставляются в направляющие 3 и дополнительные направляющие 11. При загрузке держателей 6 крышка 20 корпуса 1 открыта. Одновременно могут загружаться два держателя b.

После окончания загрузки держателей б крышка 20 корпуса 1 закрывается, включается электродвигатель привода кассеты 9 (на чертеже не показан) и подается моющий раствор.

Последний поступает по штуцерам 14 в полости 13 корпусов 8 щеток 2 и через отверстия 12 истекает вниз, омывая изделие 4 с обеих сторон. При включении электродвигателя привода кассеты 9 оба коленчатых вала 17 редуктора, вращаясь синхронно, перемещают кассету 9 со щетками 2 в плоскости, перпендикулярной оси вращения.

При этом кассета 9 совершает круго— вое плоско-параллельное движение.

Отработанный моющий раствор удаляется из корпуса 1 через воронку 19.

По окончании очистки выключается электродвигатель привода кассеты 9 и прекращается подача моющего раствора.

После этого открывается крышка 20 корпуса 1 и держатели б с очищенными иэделиями 4 выгружаются.

В процессе эксплуатации устройства по мере износа волоса щеток 2 последние переставляются из одних на— правляющих 10. в другие с целью приближения к изделиям 4.

Конструкция устройства позволяет производить тонкую высококачественную очистку иэделий, преимущественно хрупких, что снижает затраты на последующих операциях очистки, а также позволяет максимально испольэовать волос щеток, уменьшая затраты на проведение процесса.

Формула изобретения л

1. Устройство для гидромеханической очистки плоских изделий, преимущественно хрупких, содержащее установленный в корпусе приводной узел очистки со смонтированными в нем обращеннымИ одна к другой вертикальными рабочими поверхностями торцовыми щетками, связанное с ними средство для подачи моющего раствора и размещенные между щетками направляюшие для очищаемого изделия, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью

956064

Составитель T.Казинова

Редактор Н.Багирова Техред Е.Харитончик Корректор М.демчик

Эаказ 6891/10 Тираж 625 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР. по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

Филиал ППП "Патент", r.Óÿãoðoä, ул. Проектная,4 повышения качества очистки, узел очистки выполнен в виде кассеты с параллельными направляющими для размещения щеток, смонтированной с возможностью кругового плоско-параллельного движения, причем направляющие 5 для очищаемых изделий установлены неподвижно относительно кассеты, а средство для подачи моющего раствора размещено над волосом щеток.

2. Устройство по п.1, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с иелью повышения производительности, оно имеет дополнительные направляющие для очищаемых изделий, установленные неподвижно относительно кассеты.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

Р 464342, кл. В 08 В 1/04, 1972.