Способ изготовления измерительного преобразователя с плоской мембраной

 

Союз Советских

Социалистических

Республик

ОП ИСАНИЕ

ИЗЬБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ()958885 (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 06.02.81 (21) 3243911/18-10 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (51) М. Кл.з

G01 L7/08

Гееударстеелнмй кемктет

СССР (53) УДК 531.787 (088.8) ве делам кзебретемкй и етхрмтий

Опубликовано 15.09.82. Бюллетень № 34

Дата опубликования описания 15.09.82 (72) Авторы изобретен,ия

В. Н. Петров, Н. И. Пенкин, А. И. Фурсов и P. М. (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИЗМЕРИТЕЛЬНОГО

ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ С ПЛОСКОЙ МЕМБРАНОЙ

Изобретение относится к измерительной технике и может бы я использовано при изготовлении мембраннь1х преобразователей давления.

Известен способ изготовления измерительного преобразователя путем жесткого 5 закрепления мембраны на корпусе сваркой (1).

Недостатками такого способа являются непостоянство натяжения мембраны во время ее изготовления и возможность провисания мембраны со временем.

Известен способ изготовления измерительного преобразователя с плоской мембраной путем фиксации мембраны в корпусе и ее натяжения (2).

Однако этот способ характеризуется нестабильностью характеристик мембраны во времени из-за нежесткого закрепления мембраны в корпусе. . Цель изобретения — повышение стабильности характеристик. го

Поставленная цель достигается тем, что согласно способу изготовления измерительно го преобразователя с плоской мембраной путем фиксации мембраны в корпусе и ее натяжения, после натяжения корпус с мембраной нагревают до заданной температуры, большей 60 С, и жестко соединяют мембрану с корпусом в нагретом состоянии, охлаждают корпус до 50 — 60 С, после чего производят охлаждение мембраны.

На фиг. 1, 2 и 3 изображены принципиальные схемы устройства, реализующего предлагаемый способ изготовления преобразователя.

Предварительная фиксация мембраны 1 осуществляется между фиксирующими фланцами 2 и 3, имеющими плоскости прижима (фиг. 1). При этом в один из фланцев предварительно помещается часть корпуса преобразователя 4 с пазом. Торцевая поверхность корпуса преобразователя 4, лежащая на мембране совпадает с поверхностью прижима фланца 2. Затем внутрь фиксирующего фланца 3 вставляется часть корпуса преобразователя 5 с зубом и он прижимается натягивающим фланцем 6 до тех пор, пока зуб части корпуса преобразователя 5 не войдет в паз части корпуса преобразователя 4 (фиг. 2). Высота зуба и глубина паза определяется экспериментально и зависит

958885 а Во всех изготовленных преобразователях и степень натяга мембраны при одних и тех е же толщинах мембраны, материала и высоте зуба остаются постоянными и проверяются я с помощью измерения емкости при изменеа s нии перепада давления по обе стороны мембраны.

Использование предлагаемого способа изготовления вакуумного мембранного преобразователя обеспечивает возможность получения любой степени натяжения мембраны, ее жесткости, взаимозаменяемость и преобразователей при использовании электроизмерительного блока, надежное соединение мембраны с корпусом преобразователя, а также воспроизводимость вакуумных хам 1 рактеристик от образца к образцу.

Формула изобретения

3 от толщины мембраны, диаметра корпус и материала. После этого внутрь часте корпуса 4 и 5 вставляются удерживающи фланцы 7 и 8, они поджимаются, а флан цы 2, 3 и 6 снимаются (фиг. 3). Кра мембраны 1 обрезаются по диаметру корпус прибора, после этого включается подогре ватель 9, дается выдержка во времени, мем брана разогревается до заданной темпера туры и за счет линейного расширения про висает, после чего проводят операцию жест кого соединения корпуса имембраны аргоно дуговой, электроннолучевой или лазерно сваркой. Время разогрева мембраны 1—

2 мин. После герметизации проводят охлаж дение корпуса прибора до 50 — 60 С, с по мощью, например, потока воздуха, а зате выключают подогрев мембраны. После охлаждения мембрана занимает положение и имеет степень натяжения, которые она имела при сжатии натягивающим фланцем 6.

Подогрев мембраны перед сваркой позволяет сохранить выбранную и уже полученную с помощью предыдущей операции степень натяга, а охлаждение корпуса после окончания герметизации позволяет зафикси.ровать геометрические размеры и сохранить полученную жесткость мембраны.

Предлагаемый способ позволяет проводить сварку мембраны с корпусом, изготовленных из разных материалов, с отличающимися температурными коэффициентами линейного расширения.

Проводят изготовление мембранных вакуумных преобразователей с корпусами из нержавеющей стали и мембранами из нержавеющей стали и никеля толщиной 20 и 60 мкм.

Способ изготовления измерительного преобразователя с плоской мембраной путем фиксации мембраны в корпусе и ее натяжения, отличающийся тем, что, с целью повышения стабильности характеристик, после натяжения корпус с мембраной нагре25 вают до заданной температуры, большей

60 С и жестко соединяют мембрану с корпусом в нагретом состоянии, охлаждают корпус до 50 — 60 С, после чего производят охлаждение мембраны.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Андреева Л. Е. Упругие элементы приборов. М., Машгиз, 1962, с. 259.

2. Андреева Л. Е. Упругие элементы приборов. М., Машгиз, 1962, с. 227 (прототип).

958885

Составитель 3. Крысанова

Редактор Н. Киштулинец Техред А. Бойкас Корректор М. Шароши

Заказ 6763/56 Тираж 887 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4