Йзобретение относится к техноло.гии изготовления периодических структур и может найти применение, например, при создании элементов интегральной оптики.

Известен способ .изготовления периодических структур, заключающийся в освещении светочувствительного образца через эталонную структуру, расположенную непосредственно перед образцом, и проведении его фотохимической обработки (1 J.

Недостатком такого способа является невысокая точность изготовления, обусЛовленная дифракционными явлениями на границах элементов эталонной структуры.

Наиболее близким к предлагаемому по Х ехнической сущности является способ,изготовления периодических структур, заключающийся в освещении эта-. лонной структуры пучком когерентного света, формировании на.светочувствительном образце периодической картины и проведении его фотохимической обработки (2 ).

Недостаткбм этого способа является невысокая точность изготовления,обусловленная Локальными дефектами эталбннай структуры и аберрациями про.екционной оптики, а также сложность изготовления периодических структур больших размеров.

Целью изобретения является повышение точности изготовления периодических структур, путем устранения влияния дефектов эталонной структуры и,волновых фронтов.

Поставленная цель достигается тем, что согласно способу изготовления периодических структур,. заключающемуся в освещении эталонной структуры пучком когерентного света,фОрмировании на светочувствительном образце периодической картины. и проведении его Фотохимической обработки, из дифрагированных на эталонной структуре пучков выделяют пару, имеющую одинаковый порядок дифракции за исключением нулевого, но разные знаки, направляют выделенные пучки на образец параллельно направлению их дифракции, совмещают указанные пучки на поверхности образца и осуществляют одновременное перемещение эталонной структуры и образца в направлении, перпендикулярном оси освещающего пучка когерентного

М света.

968778

3 4 н а чертеже показана конструктив- туры 3 и неоднородности интенсивносная схема устройства, реализующего ти по сечению пучков на точность изготовления периодических структур. данный способ.

Устройство содержит лазер 1, кол- В заключение осуществляется фотолиматор 2, эталонную структуру 3, химическая обработка светочувствисветочувствительный образец 4,под- .тельного образца 4, проводимая по вижное основание 5, систему зеркал известным методикам.

6-9 и эк ан 1 Таким образом, предлагаемый споСпособ изготовления периодичес- соб позволяет повысить точн ость из руктур может быть осуществлен готовления периодических структур. ,например, следующим образом. f0 Кроме того, при использовании этого . Участок эталонной структуры 3, . способа можно с помощью одной этаосвещают прошедшим через коллима- лонной структуры с достаточно боль. тор 2. пучком когерентного света от шим периодом изготавливать круговые лазера 1. Из: дифрагированных на эта . и линейные периодические

- -а" еские структуры лоиной структуре 3 пучков выделяют )5 практически неограниченных размеров пару, имеющую одинаковый порядок с периодом, близким к длине волны дифракции за исключением нулевого применяемого лазера. (на чертеже показано выделение второго порядка ), но разные знаки.

При этом нулевой порядок и поряд-. Формула изобретения ки, кроме выделенных, перекрывают экраном 10. Выделенные пучки с по- Способ изготовления периодических мощью зеркал 6-9 направляют на све структур, заключающийся в освещении точувствительный образец 4 и совме- . эталонной структуры пучком когерентщают эти пучки на его поверхности, > ного света, формировании íà светопричем направление падения пучков, чувствительном образце периодичесна образец 4 устанавливают парал- кой картины и проведении его фотолельным направлению их дифракции химической обработки, о т л и ч авЂ” на структуре 3. В результате прове- ю шийся тем, что, с целью дения укаэанных операций на поверх- повышения точности изготовления пуности образца 4 образуется система - тем устранения влияния дефектов этаинтЕрференционных полос, т.е. без лонной структуры и волновых фронтов, применения линзовой оптики форми- из дифрагированных на эталонной руется периодическая картина, соот- 1структуре пучков выделяют па .ветств я ующа эталонной структуре 3. .щую одинаковый порядок дифракции

1 я пару, имеюПри этом период сформированной на пО"3$ за иСключением нулевого, но разные верхности образца 4 картины мень- знаки, направляют выделенные пучки ше периода эталонной структуры 3 на, образец параллельно направлению в 2 раз, где n.-.порядок дифрак- их дифракции, совмещают указанные ции выделенных пучков. пучки на поверхности образца и осу4ф" ществляют одновременное перемещение

При одновременном перемещении - эталонной структуры и образца в наструктуры 3 и образца 4, установлен- .правлении, перпендикулярном оси освеных на общем подвижном основании 5, щающего пучка когерентного света.

s направлении, перпендикулярном Источники информации, оси пучка лазера 1, периодичес- 45 принятые во внимание при экспертизе кая картина остается неподвижной от- 1. Технология тонких пленок.Спраносительно поверхности образца 4. . вочник. Под ред. Ф.Майссела и Р.ШлэнВ то же время указанное переме- га. N., "Советское радио", 1977,т.1, щение позволяет исключить влияние с. 570. локальных дефектов эталонной струк- 2. Там же, с. 630-631 (прототип ).

968778

Составитель В.Кравченко

Редактор И.Николайчук Техред. С.Мигунова

Корректор, C . .Шек мар .

Эаказ 8163/75 Тираж 518

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Подписное

Филиал ППП "Патент", r. Умгород, ул. Проектная, 4

Способ изготовления периодических структур

Патентно- 11 техническая ' библиотека // 253407

Способ формирования оптического изображения в некогерентном свете и устройство для его осуществления (варианты) // 2179336

Изобретение относится к методам и средствам преобразования оптического излучения для формирования изображения объектов в некогерентном свете

Способ определения расстояния до источника излучения // 2179707

Изобретение относится к области оптических измерений и может быть использовано для измерения расстояния до излучающего объекта, в частности для определения расстояния до точечного источника света

Способ определения группы рассеивающих частиц в оптически прозрачных средах // 2236032

Изобретение относится к области оптических измерений с применением дифракционной оптики и может найти применение при поиске, определении пространственного положения и ориентации группы рассеивающих частиц в различных оптических элементах, а также при получении достоверных измерений пространственно-частотных спектров этих рассеивающих частиц с целью их точной идентификации, повышения точности в определении их размеров и расстояний между ними

Световой индикатор // 2237931

Изобретение относится к световым индикаторам, подсвечиваемым источником света

Световая панель // 2237932

Изобретение относится к световой панели, содержащей источник света и панельный элемент

Устройство для преобразования электромагнитного излучения в когерентную форму // 2312384

Способ формирования стереоизображений // 2337386

Дифракционное профилирование распределения интенсивности частично пространственно когерентного светового пучка // 2343516

Изобретение относится к способу управления распределением интенсивности поля волны или волн частично когерентного или некогерентного оптического излучения на конечном расстоянии от его источника или в дальней зоне и устройству, реализующему заявленный способ

Дифракционный оптический элемент для формирования нерасходящегося светового пятна при плоской поляризации падающего излучения // 2458372

Изобретение относится к области лазерной оптики, а именно к острой фокусировке когерентного излучения, и может быть использовано для высокоразрешающей оптической записи и сканирующей оптической микроскопии

Спектральный уплотнитель-делитель каналов с дифракционной решеткой // 2018162