Устройство для контроля толщины диэлектриков

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ .К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ.

Союз Советских

Социалистических

Республик (ii) 974102 (61) Дополнительное к авт. свид-ву(22) Заявлено 20,01.81 (21) 3237458/25-28 (51) М. Кл.з с присоединением заявки ¹

01 а 7/08

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий (23) Приоритет— (53) УДК 621. 317..39:534.14 (088.8) Опубликовано 151182.. Бюллетень ¹ 42

Дата опубликования описания 151132

В.И. Горшенев, Г.С. Демидов и В.Д. Ериванов (72) Авторы изобретения

Барнаульское опытно-конструкторскбе бюро автоматики (71) Заявитель (54.) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ

ДИЭЛЕКТРИКОВ

Изобретение относится к контроль но-измерительной технике и может быть использовано, например, для контроля толщины диэлектрических волокон и нитей.

Известно устройство для измерения. дефектов волокон и проводов, содержащее трансформаторнуй «лост, в смежные плечи которого включены две вторичные обмотки трансформатора и емкостной преобразователь. Преобразова тель содержит два призматических измерительных электрода и плоский общий электрод, между которыми размещастся контролируемый объект 1).

Однако у известного устройства узкая область пространственного охвата объекта, не позволяющая проводить контроль толщины материалов.

Наиболее близким техническим решением к изобретению является устройство для контроля толщины диэлектриков, выполненное в виде трансформаторного моста, в смежные плечи которого включены вторичные обмотки трансформатора .и емкостный преобразователь, содержащий два плоских измерительных электрода, на первом из которых в процессе контроля размещается диэлектрик, и плоский общий электрод, причем измерительные электроды расположены под одинаковыми углами к краям плоскости общего элек. трода (2).

Недостатком устройства является наличие больших паразитных емкостей между общим и измерительными электродами, обусловленных краевыми емкостями и снижающих точность контроля толщины.

Цель изобретения — повьхаение точности контроля.

Эта цель достигается тем, что в устройстве g1JIH контроля электриков, выполненном в виде трансформаторного моста, в смежные плечи которого включены две вторичные обмотки трансформатора и емкостный преобразователь, содержащий два измерительных электрода, на первом из которых в процессе контроля размещается диэлектрик, и общий электрод, общий и первый измерительный электроды преобразователя выполнены в виде параллельно расположенных цилиндрических стержней, второй измерительный электрод выполнен в виде разрезного по образующей цилиндра с плоскими отгибами по линии разреза, размещенного концентрично с общим электродом

974102 и обращенного разрезом к первому измерительному электроду, преобразователь снабжен тремя экранами, выполненными в виде разрезных по образующей цилиндров, размещенными концентрично два из них — снаружи измерительных электродов, а третий — между общим и вторым измерительным электродами, и электрически подключенными к средней точке трансформатора.

На фиг. 1 изображена электричес- 10 кая схема устройства для контроля толщины диэлектриков, на фиг. 2 устройство, общий вид, на фиг, 3 разрез A-A на фиг. 2.

Устройство для контроля толщины f5 диэлектриков выполнено в виде трансФорматорного моста, в смежные плечи которого включены две вторичные обмотки 1 и 2 и емкостный преобразователь, содержащий два измерительных электрода 3 и 4 и общий электрод 5. . Первый измерительный электрод 3, на котором в процессе контроля размещается диэлектрик 6, и общий электрод

5 выполнены в виде параллельно расположенных цилиндрических стержней.

Второй измерительный электрод 4 выпол. нен в виде разрезного по образующей цилиндра, размещенного концентрично общему электроду 5 и снабженного по линии разреза плоскими отгибами 7.

Снаружи первого и второго измерительных электродов 3 и 4 размещены экраны 8 и 9. Между вторым измерительным электродом 4 и общим электродом 5 размещен экран 10. Все экраны 8 — 10 электрически подключены к средней точке трансформатора (общей точке вторичных обмоток 1 и 2) и заземлены. Электроды и экраны крепятся на основании 11..В измерительную диа- 40 гональ трансформаторного моста включен индикатор 12. Питание устройства производится от генератора 13.

Устройство для контроля толщины диэлектриков работает следующим об- 45 разом.

Контролируемый диэлектрик б находится н контакте с измерительным электродом 3. При этом электрическая емкость между измерительным электродом 3 и общим электродом 5 увеличивается за счет уменьшения эффектив ного расстояния между ними, а электрическая емкость между измерительнь1м электродом 4 и общим электродом

5 уменьшается вследствие увеличения числа замыкающих силовых линий с измерительного электрода 4 на измерительный электрод 3. Так как электрические емкости между электродами 3 и 5, и 4 и 5 включены в противоположные плечи мостовой схемы, то приращения электрических емкостей суммируются. По показаниям индикатора

12, отградуиронанного в единицах толщины, определяется толщина контролируемого объекта. Установка экранов

8 — 10 позволяет сущестненно снизить влияние паразитных емкостей между измерительными электродами 3, 4 и общим электродом 5, что понышает точность устройства.

Формула изобретения

Устройство для контроля толщины диэлектриков, выполненное в виде трансформаторного моста, в смежные плечи которого включены дне вторичные обмотки трансформатора и емкостный преобразователь, содержащий дна измерительных электроде, на первом из которых в процессе контроля размещается диэлектрик, и общий электрод, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности, общий и первый измерительный электроды преобразователя выполнены н виде параллельно расположенных цилиндрических стержней, второй измерительный электрод выполнен в виде разрезного по образующей цилиндра с плоскими отгибами по линии разреза, размещенного концентрично с общим электродом и обращенного разрезом к первому измерительному электроду, преобразователь снабжен тремя экранами, выполненными в виде разрезных по образующей цилиндров, размещенными концентрично, два из них . — снаружи измерительных электродов, а третий — между общим и вторым измерительным электродами, и электрически подключенными к средней точке трансформатора.

Источники информации, принятые во ннимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

9 530238, кл. G 01 и 27/24, 1975.

2. Авторское свидетельство СССР по,заявке Р 2843899, кл.G 01 В 7/08, 1979 (прототип).

974102

Состафитель Л. Гуськов

Редактор Т. Парфенова ТЕхред М.Тепер Корректор У. Пономаренко

Подписное

Заказ 8674/53 Тираж 614

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Устройство для контроля толщины диэлектриков Устройство для контроля толщины диэлектриков Устройство для контроля толщины диэлектриков 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к измерительной технике и может найти широкое применение в системах неразрушающего контроля и измерений толщины пленочных покрытий

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к области измерения геометрических размеров плоских изделий, и может быть использовано при измерении толщины плоских изделий из диэлектриков, полупроводников и металлов, в том числе полупроводниковых пластин, пластических пленок, листов и пластин

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для контроля толщины металлических покрытий в процессе их образования, например, на металлических деталях, в частности, при нанесении покрытий из паровой фазы пиролитическим способом

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для определения деформирующей способности технологических остаточных напряжений в поверхностном слое изделий из металлов и сплавов с различными электромагнитными свойствами

Изобретение относится к неразрушающим методам контроля качества и геометрических размеров изделий и может быть использовано для измерения толщины проводящих покрытий
Изобретение относится к электронной технике и электротехнике и может быть использовано, в частности, в качестве датчиков магнитного поля или тензодатчиков

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для измерения толщины различных покрытий на цилиндрических металлических основах

Изобретение относится к измерительной технике, а более конкретно к методам и техническим средствам для контроля толщины твердых и полутвердых защитных покрытий, изоляционных слоев, жировых отложений, смазочных и лакокрасочных пленок на электропроводящей, в частности, металлической основе
Наверх