Устройство для определения адгезии пленок к подложке

 

П. М. Ананичев, М. М; Петрик, B. М. Смирнов, Л. F. Ãðîññ и Ю. Д. Сидоров

1 (72) Авторы изобретения

Казанский научно- -исследовательский .и проек

1 институт хим (71) Заявитель ико-фотографической промышленноеч и..., "" t -,:. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ АДГЕЗИИ

ПЛЕНОК К ПОДЛОЖКЕ

Изобретение относится к испытательной технике, а,,именно к устройствам для определения адгезии пленок к подложкам скрайбйрованием.

Известно устройство для определения адгезии пленок к цодло кке скрайбирова-. нием, содержащее держатель, закрепленный в держателе резец с режущей кромкой и силоизмерительный механизм (11 .

Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности и достигаемому результату является устройство для определения адгезии пленок к подложке скрайбированием, содержащее подвижный стол для закрепления подложки, держатель, закрепленные в держателе два резца с !

5 параллельными режущими кромками и измерительный прибор, при этом режущие кромки резцов выполнены разными по ширине, а резцы установлены в один ряд с зазором между ними (2j

Общим недостатком этих устройств является низкая точность определения адгезии при скрайбироиании, поскольку они не позволяют исключить иэ величины нагрузки при скрайбированни силы трения режущих кромок о поверхности псщложки и покрытия и определить момеат касания резцами поверхности подловкки.

Цель изобретения - повыиение точности определения щ гении, Бель достигается тем, что в устройст ве для опредежния адгезии пленок к подложке скрайбированием, содержаиЬЬ п щвижный .стол для закрепления пщуищ ки, держатель, закрепленные в деркате ле два резца с параллельными режупями кромками и измеритеаьный прибор, режущие кромки резцов выполнены равными ло йирине, а резцы установлены в держателе один за другим с заходом одной режущей кромки за другуи

При этом устройство сна%кено связанным с измерительным прибором датчиком глубины погружения резцов, закрепленным на держателе за резцами.

На фиг. 1 изображена схема предлагае-, мого устройства; на фиг. 2 - подложка, Ф

3 Ì1874 .4 нт.касания резцами которого поступает через преобразована фиг. 3 — блок- тель 19 на регистратор 16. При этом прибора. сигнал с преобразователя 19 поступает жит основание 1, ус- на блок 18 управления обмоткой 17 с возможностью пере- электромагнитного нагружателя 4, и репленный на основа- дальнейшее перемещение держателя 6 с связанный с послед- резцами 7 и 8 прекращается, а механиитный нагружатель ческие нагрузки на режущие кромки 9 рибор 5, держатель и 10 преобразуются тензометрическими ержателе 6 один за 10 датчиками 13 и 14 усилия скрайбироваи 8 с равнь|ми по ния и электрические импульсы, которые мками 9 и 10 и через блок 15 обработки и индикации одом одной режущей поступают также на регистратор 16. Так режущую кромку 10, как режущие кромки 9 и 10 резцов 7

1 погружения резцов tS и 8 выполнены равными по ширине, то на держателе 6 за усилия ЄЄ, p трения резцов 7 и 8

"Р Ра ный с измеритель- to поверхность подложки 20 также равны, поэтому они практически полностью ибор 5 (фиг. 3) со» компенсируются в блоке 15 обработки

12 постоянного тока, 2о и индикации. Так как.резцы 7 и 8 устатчиков 13 и 14 уси новлены с заходом одной режущей кромки езцов 7 и 8, блока 9 эа другую режущую кромку 10, то на ции, регистратора резец 8 воздействуют сила Г „трения ктромагнитного нагру- от двух боковых поверхностей режущей

18 управления и дат- 2S кКрроомМкКи Н 99, à íà резец 7 воздействует ружения с преобра- сила ГЯ, трения тоЖко от одной поверхности режущей кромки 10. Поэтому сиает следующим об- лы F g„, Fg трения режущих кромок

9 и 10 о пленку 21 наполовину компенпляют подложку 20 зф сируются. пленкой 21. Настра- На выходе блока 15 обработки и инбины погружения дикации получают сигнал, состоящий из чника 12 постоян- разности адгезионной составляющей усикасания резцами лий Fg Fa адгезии и составгиюшей

20. Подводят ре- усилий бокового трения Fg Г я . Be0 резцов 7 и 8 до личина составляющей усилий бокового остью пленки 21. трения РЯ, Гя на несколько порядков столу 2 относительно меньше составляющей усилий ц „, Г тепенно перемещая,,адгезии, поэтому этой величиной при ойтеля 4, погружают ределении адгезии пленок 21 к подложке

gr 21, которые свои- 20 при скрайбировании пренебрегают и и 9 и 10 скрайби- на выходе регистратора 16 получают ве М режущие кром- личину адгезии пленки 21 к подложке 20, и 8 воспринимают равную разности усилий Fg, F скрайи Гс скрайбирова- 1 бирования режущих кромок 9 и 10 рези 21, которые скла- цов 7 и 8.

IS

F< „, F > преодоле- Устройство позволяет повысить точР .,Гт трения о ность определения адгезии пленок к под20 и усилий Fg ложке при скрайбировании, поскольку

1 1 режущих кромок исключает скрайбирование резцами под. При скрайбирова- ложки и влияние величины трения режу50 и 9 и 10 пленки - щих кромок резцов о поверхность подложя слои опреде- . ки и бокового трения о пленку.. с покрытием в моме подложки, вид сверху схема, измерительного

Устройство содер тановленный на нем мещения стол 2, зак нии 1 кронштейн 3, ним через электромагн

4 и измерительный п

6, закрепленные в д другим два резца 7 ширине режущими кро установленные с зах кромки 9 за другую и датчик 11 глубинь

7 и 8, закрепленный резцами 7 и 8 и связан ным прибором 5.

Измерительный пр стоит из источника тензометрических да лия скрайбирования р

15 обработки и индика

16, обмотки 17 эле жателя 4 с блоком чика 11 глубины пог зователем 19.

Устройство работ разом.

На столе 2 эакре с нанесенной на нее ивают датчик 11 глу резцов 7 и 8, от исто ного тока на момент поверхности подложки жущие кромки 9 и 1 касания их с поверхн

Сообщают движение резцов 7 и 8 и, пос держатель 6 от нагружа резцы 7 и 8 в плен ми режущими кромкам руют пленку 21. При ки 9 и 10 резцов 7 на себя усилия с1 ния со стороны пленк дываются иэ усилий вая адгезии, усилий поверхность подложки

Гф бокового трения

9 к 10 о пленку 21 нии режущими кромкам

2 1 с последней удаляютс ленной тошцины до тех пор, пока датчик

11 глубины погружения резцов 7 и 8 не достигнет поверхности подложки 20.

Момент достижения резцами 7 и 8 поверхности подложки 20 фиксируется датчиком 11 глубины погружения, сигнал с

Формула изобретения

1. Устройство для определения адгеэии пленок к подложке скрайбированием, со5 981874 6 держашее подвижный стол для закрепле- с измерительным прибором датчиком глуния подложки, держатель, закрепленные бины погружения резцов, закрепленным в держателе два резаа с параллельными на держателе за резпами. режу ш6ли кромками и измерительный прибор, о т л и ч а ю ш е е с я тем, что, 9 .. источники,информапии, с пелью иовышения точности определения принятые во внимание при экспертизе адгезии, РежУшие кРомки Резпов выполне- 1. Патент фЮ № 195Я098;

m Равными по шиРине а Резпы Установ- кл. С 01 М 19/04, 1978. лены в держателе один за другим с захо дом одной режушей кромки за другую. 10 2. Авторское свидетельство СССР

2. Устройство по п. 1, о т л и ч а ю- ¹ 605155, кл. 5 01 И 19/04, 1974 щ е е с я тем, что оно снабжено связанным (прототип).

981874

Составитель В. Свиридов

Редактор Н. Киштулинеп Техред З.Палий Корректор У. Пономаренко

Заказ 9700/62 Тираж 887 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открьггий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент, r. Ужгород, ул Проектная, 4