Способ изготовления селенового электрофотографического носителя изображений

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ . К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

«н991358

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 130481 (21) 3272037/28-12

Р )М К з с присоединением заявки Ио

G 03 G 13/02

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий (23) Приоритет

Опубликовано 230183. Бюллетень ¹ 3 (33) УДК 772. 93 (088 8) Дата опубликования описания 23.0183

Э.A. Монтримас, Н.М. Гальвидис, Ю.-А.Д. Дайнис, Г.-P.Г. Жиленас, К.-А.Ю. Свидаравичюс, ; с

A.-P ° А. Тракимавичюс и Д.A. Юрявичюс

:4 ;

Вильнюсский ордена Трудового Красного Знамени -.- б,"" !,"у и ордена Дружбы Народов госуниверситет им. В.Капсукаса и Каунасский экспериментальный. завод средств автоматизации (72) Авторы изобретения (71) Заявители (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СЕЛЕНОВОГО

ЭЛЕКТРОФОТОГРАФИЧЕСКОГО НОСИТЕЛЯ

ИЗОБРАЖЕНИЙ

Изобретение относится к электрофотографии, конкретно к изготовлению электрофотографических слоев на основе селена, предназначенных для применения в копировально-множительных аппаратах.

Известен способ. изготовления селенового электрофотографического носителя изображений на вакуумных шлюзовых линиях, заключающийся в том, что предварительно подогретые подложки до заданной температуры продвигаются через вакуумные шлюзы в рабочую .вакуумную камеру, в которой установлен испаритель-лодочка с селеном.

Подложки в кассетах передвигаются с постоянной скоростью над испарителем и покрываются слоем селена. Преимуществом этого способа является высокая йроизводительность изготовления

СЭП, Основным недостатком этого способа является отсутствие строго контролируемого термического режима и слишком короткое время формирования слоя, в результате чего образуется структурно-неоднородный и структурно мало стабильный селеновый слой. Высокие локальные скорости, достигшие 150200 мкм/мин напыления слоя, приводят к образованию большой плотности микронапряжений. Действие таких внешних факторов, как влажный воздух, различные пылинки и загрязнения, несколько повышенная температура приводит к

-сравнительно быстрой кристаллизации свободной поверхности селенового слоя.

По этой причине около 50% выпускаемых СЭП уже во время их хранения на складах и транспортировки выходят из строя и становятся непригодными для эксплуатации.

Целью изобретения является улучшение качества электрофотографических носителей и увеличение производитель-, ности их изготовления.

Эта цель достигается тем, что согласно способу изготовления селенового . электрофотЬграфического носителя иэображений, заключающемуся в напыле-, нии в вакууме селена на подогретую до заданной температуры подложки, напы» ление производят в два приема, при этом в первый прием напыляют 80-95% слоя со скоростью 100-500 мкм/мин, а во второй - остальную часть с.""оя с меньшей скоростью, а именно со скоростью 3-20 мкм/мин, Сущность способа заключается в том, что за один технологический

991358 цикл в вакуумной камере на подложке напыляется фоточувствительный селеновый слой сложной структуры, однако весьма структурно стабильный к действию внешних факторов. Это достигается тем, что нижний селеновый подслой, 5 напыленный с высокой локальной скоростью, достигающей .100-500 мкм/вин, который является мало структурно ста бильным, покрывается тонким верхним слоем селена, напыленным с относи- 1О тельно низкой локальной скоростью наслоения (2-20 мкм/мин), который является достаточно структурно стабильным.

Таким образом, предлагаемый спо- соб позволяет изготовлять структурно стабильные к воздействию внешних факторов селеновые электрофотографические слои с высокой производительностью, где мало стабильный — основной селеновый слой, толщина которого составляет 80-95% всей толщины фоточувствительного слоя, заключен между подложкой или барьерным подслоем и верхним тонким структурно стабильным слоем селена.

Пример 1. Изготовление се- 25 ленового электрофотографического носителя изображений.

Известным методом очищенные дюралюминиевые подложки-основы совместно с кассетами предварительно подо- 30 греваются до 350 К и через вакуумные шлюзы подаются в центральную камеру вакуумной линии непрерывного действия и с постоянной скоростью передвигаются над первым, а затем вторым,испарителем с селеном. Эти испарители в вакуумной камере отделены перегородкой в виде вертикально расположенной пластины со щелью для продвижения кассет с подложками. 40

В результате этого цикла на подложке-основе с барьерным фотополупроводниковым подслоем или без него сначала напыляется слой селена толщиной 60 мкм с локальной скоростью наслоения 340 мкм/мин, а затем верхний слой селена толщиной 4 мкм со скоростью наслоения 8 мкм/мин. Высокая локальная.скорость напыления из первого испарителя и относительно низкая локальная скорость из второго испарителя при заданных температурах расплава в испарителях достигается специальной конструкцией испарителей косвенного испарения.

Пример 2. Изготовление селе- Ы нового злектрофотографического носителя изображений.

Известным методом очищенный дюралюминиевый цилиндр вставляется в специальную вакуумную камеру с приводом для Q) его вращения и нагревается до 70 С.

В нижней части камеры параллельно оси цилиндра на расстоянии 150 мм

ВНИИПИ Заказ 128/64

Филиал ППП "Патент", г,у от его поверхности устанавливается лодочный испаритель, наполненный селеном. Испаритель обеспечен диафрагмой, автоматическим регулированием которой управляется ширина. щелей, а тем самым и скорость испарения селена. После разряжения воздуха в вакуумной камере до 10 < Topp, селен в испарителе нагревается до 345 С, а цилиндр приводится к вращению со скоростью 10 оборотов/мин, Открывается испаритель и в течение 5 мин производится напыление селена с локальной скоростью 130 мкм/мин (средняя скорость 9,5 мкм/мин}.После достижения толщины слоя 47 мкм, прикрытием диафрагмы локальная скорость испарения снижается до 10 мкм/мин и в течение 4 мин напыляется верхний слой толщиной 3 мкм. Таким образом, с высокой производительностью (5-7 раз быстрее ) цилиндр покрывается структурно стабильным селеновым слоем., Предлагаемый способ изготовления селенового электрофотографического носителя изображений позволяет снизить производственный брак, повысить их структурностабильные свойства, т.е. практически исключить поверхностную кристаллизацию..селенового слоя пластин во время их транспортировки хранения на складах и эксплуатации.

Кроме того, высокая локальная скорость напыления основного по толщине селенового слоя позволяет увеличить производительность вакуумного оборудования как для изготовле)ния селеновых электрофотографических цилиндров, так и для электрофотографических пластин. Все это позволяет не только улучшить качество выпускаемых электрофотографических слоев,но и дает значительный экономический эффект.

Формула изобретения

1. Способ изготовления селеново го электрофотографического носителя изображений, заключающийся в напылении в вакууме селена на подогретую до заданной температуры подложку, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества электрофотографических носителей и увеличения производительности их изготовления, напыление производят в два приема, при этом в первый прием напыляют

80-95% слоя со скоростью 100500 мкм/мин, а во второй — остальную часть слоя с меньшей. скоростью.

2. Способ по п. 1, о т л и ч а юшийся тем, что остальную часть слоя напыляют со скоростью 320 мкм/мин.

Источники информации, .принятые во внимание при экспертизе

1. Электрофотография и магнитография. Вильнюс, 1965, с. 108-119.

Ти аж 471 Подписное жгород, ул Проектная,4