Способ получения электрофотографического носителя изображения

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

<н999009

Союз Советских

Социалистических

Республик.1 е 4ф (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 18.03.81 (21) 3263803/28-12 (51) М. Кл.з с присоединением заявки МЗ (23) Приоритет

G 03 G 13/02 М

-Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий (53) УЙК 772 ° 9-3 (088.8) Опубликовано230283. Бюллетень Hо 7

Дата опубликования описания 23.0283

Э.А.Монтримас, Ю.Ю.Бальчюнас, Ю.П.Варанецкас .., В.А.Кальмансон и И-Д.Б.Сидаравичюс

4 ,\

Р

Вильнюсский ордена Трудового Красного Знамени-:;и ррдена, Дружбы народов государственный университет .:,им. . В.КапсукЪса;:

Научно-исследовательский институт электрогфафии. и Специальное конструкторское бюро Всесоюзйого института научной и технической информации (72) Авторы изобретения (71)Заявители (54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЭЛЕКТРОФОТОГРАФИЧЕСКОГО

НОСИТЕЛЯ ИЗОБРАЖЕНИЯ

Изобретение относится к электро= картографии, конкретно к электрофотографическим слоям и технологическим процессам их изготовления.

Известен способ. получения электрофотографического носителя изображения, включающий последовательное напыление .,в вакууме аморфного селена на поверхность подогретого до задана ной температуры вращающегося с постоянной скоростью электропроводного цилиндра и верхнего инжектирующего слоя из аморфного селена с добавками других элементов (1).

Недостатком известного способа являются низкие эксплуатационныв характеристики электрофотографического носителя.

Целью изобретения является улучшение эксплуатационных характеристик электрофотографического носителя.

Поставленная цель достигается тем, что согласно способу получения электрофотографического носителя изображения, включающему последовательное налыление в вакууме аморфного селена на поверхность подогретого до заданной температуры вращающегося с посто яйной. скоростью электропроводного цилиндра и верхнего инжектирующего

1слоя из аморфного селена с добавками вдругих элементов, в момент достижения селеновым слоем толщины 20-60 мкм

5 интенсивность испарения селена снижают с 10-40 мкм/мин до нуля, а испарение селена с добавками других. элементов повышают от нуля до 1040 мкм/мин, напыляют толщину верхнего инжектирующего слоя 1-5 мкм, при этом процесс производят в течение

10-15 полных оборотов цилиндра.

Кроме того, для получения верхнего инжектирующего слоя напыляют трех. селенистый мышьяк, трехселенистый мышьяк с примесями таллия или сурьмы.

А изменение интенсивности испаре ния селена и селена с добавками осуществляют, закрывая и открывая диафрагмы в испарителях.

Пример получения электрофотогра" фического носителя изображения, Известным методом очищенный дюралюминиевый цилиндр вставляется в специ25 альную вакуумную камеру с приводом цля его вращения и предварительно нагревают до 70оС. По направлению вращения цилиндра в нижней части вакуумной камеры параллельно оси

ЗО цилиндра на расстоянии 150 мм от

99900:.

Формула изобретения

Составитель Я,Волкова

Техред Е.)(аритснчик Корректор В.Бутяга

Редактор B.Иванова

Заказ 1153/70 Тираж 471 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москна, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, r.ужгород, ул,Проектная, 4 его поверхности устанавливают лодочный испаритель, наполненный селеном, а рядом с íHM параллельнo vcтанаBëèвают другой испаритель, напол енный трехселенистым мышьяком. Испàpители обеспечены диафрагмами, автоматическим. передвижением которых у равляется ширина щелей в испарителях, а тем самым и скоростью испарения веществ. После разряжения воздуха в вакуумной камере до 10 4 Торр, селен в первом испарителе нагревают д(->

330"С. цилиндр приводится к вращению со об./мин в течение

35 мин, напыление селена производят со средней скоростью наслоения

1,3 мкм/MHH (локальная скорость составляет 18 мкм/мин). За время напыления селенового слоя трехселенистый мышьяк во втором лодочном испарителе, диафрагма которого полностью эа- 20 крыта, нагревают до 390в:, После напыления селенового слоя диафрагма ис-. парителя с селеном части:но закрынается и локальная скорость испарения селена снижается до 5 мкм/мин. После 25 этого с заданной скоростью начинает открываться диафрагма испарителя с трехселенистым мышьяком, а диафрагма испарителя с селеном с такой же скоростью постепенно закрывается.. В те- 30 чение промежутка времени (около 70 с), эа который происходит полное "-.àêðûтие испарителя с селеном и полное открытие диафрагмы испарителя с трехселенистым мышьяком, цилиндр соверша- ч,5 ет около 11 полных оборотон, при этом тогпцина слоя составляет 0,5 мкм.

Затем напыляют верхний слой трехселе нистого мяшьяка толщиной 1,7 мкм.

Таким образом, получается многослой.Щ ный электрофотографический носитель в одном технологическом цикле.

Предложенный многослойный электро= фотографический носитель отличается рядом преимуществ против ЭФС селена

Этот многослойный носитель, по срав 1 нению с ЭФС селена, обладает более широкой областью фоточунствительности, которая охватывает спектр от 250 до 850 нм, а их интегральная фоточувстнительность в 7-9 раэ (н случае 50 верхнего слоя иэ трехселенистого мышьяка) и в 10-12 раз (в случае верхнего слоя из трехселвнистого мышьяка с 1,2% ат, таллия) превышает тактовую для ЭФС селена. Кроме того, предложенный электрофотографический носитель отличается высокой кристаллизационной cтсйкостью, а их износостой" кость в несколько раэ выше, чем слоев аморфного селена. Эти преимущества предложенного носителя позволяют увеличить скорость копирования, снизить интенсивность освещения во время экспонирования, а также повысить- их тиражеустойчивость.

1.Способ пor. учения электрофотогpaффического носителя иэображения, включающий последовательное напыление в вакууме аморфного селена на поверхность подогретого до заданной температуры вращающегося с постоянной скоростью электропроводного цилиндра и верхнего инжектирующего слоя из аморфного селена с добавками других элементов, отличающийся тем, что, с целью улучшения эксплуатационных характеристик электрофотографического носителя, в момен †. достижения селеновым слоем тотпцины

20-60 мкм интенсивность испарения селена снижают c 10-40 мкм/мин до нуля, а испарение селена с добавками других элементов повышают oò нуля до 10-40 мкм/мин, напыляют толщину верхнего инжектирующего слоя 1-5 мкм, при этом процесс проводят в течение

10-15 полных оборотов цилиндра.

2. Способ по п. 1, о т л и ч а юшийся тем, что для получения верхнего инжектирующего слоя напыляют :рехселенистый мышьяк, трехселе" нистый мышьяк с примесями таллия или сурьмы.

3. Способ по п. 1, о т л и ч а юшийся тем, что изменение интен" сивиости испарения селена и селена с добавками осуществляют, закрывая и о .гкрытая диафрагмы в испарителях.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1,Таурайтис Л.,Бальчюнас Ю. Обмен опытом радиоэлектронной промышленности, 1983, !; 8,, с. 40.