Патенты автора Яфясов Адиль Абдул Меликович (RU)
Изобретение относится к технологии нанесения равномерных тонких пленок путем проведения химических реакций на поверхности подложек, в том числе с развитым рельефом, например подложек с отверстиями и каналами с большим аспектным отношением. Устройство для синтеза тонких пленок внутри каналов микроканальной пластины (МКП) включает реакционную камеру 1 прямоугольной формы с отверстиями 2, 3 в ее верхней горизонтальной части для подачи паров химических прекурсоров к микроканальной пластине 4, выполненной из неорганического или полимерного материала с множеством сквозных каналов микронного диаметра, и размещенной в основании держателя 5, дно которого имеет круглое отверстие, диаметр которого меньше диаметра размещенной на дне держателя микроканальной пластины 4, реакционная камера 1 в вертикальной части имеет отверстие для канала откачки 8, соединенного через клапан переключения 9 с насосом для обеспечения вакуума 10 в реакционной камере 1, при этом на внутреннем основании реакционной камеры 1 установлена подложка-индикатор 6 из полированного кремния в виде круглой пластины, диаметр которой сопоставим с внешним диаметром держателя 5, установленного на подложке-индикаторе 6 с зазором 2-5 мм между поверхностью подложки-индикатора 6 и размещенной на держателе 5 микроканальной пластины 4, а между подложкой-индикатором 6 на внутреннем основании реакционной камеры 1 со стороны имеющегося в ней отверстия для канала откачки 8 на расстоянии не менее 5 мм расположена подложка-контроллер 7, выполненная из полированного кремния. Техническим результатом является повышение равномерности и контроль наносимых тонких слоев внутри каналов микроканальной пластины за счет системного непрерывного контролируемого процесса с помощью предлагаемого устройства, в котором предусмотрены две идентичные подложки с разными функциями, одна из которых является подложкой-индикатором для идентификации процесса напыления, а вторая - подложкой-контроллером, обеспечивающей контроль за качеством напыления. 3 ил., 1 табл.
Использование: для градуировки рентгеновских спектрометров. Сущность изобретения заключается в том, что осуществляют отбор из стандартных образцов состава конструкционных материалов образец с нижними значениями скоростей счета по всем определяемым элементам и второй образец с верхними значениями скоростей счета, из которых изготавливают комплекты контрольных образцов, измеряют на них скорости счета, после чего проводят построение градуировочной зависимости для определения содержаний контролируемых элементов в конструкционном материале с использованием выбранных двух контрольных образцов и полученную градуировочную зависимость принимают в качестве эталонной для последующих партий спектрометров, которые комплектуют по двум контрольным образцам из изготовленных комплектов, при этом для контрольного образца с нижними значениями скоростей счета измеряют скорость счета фона, а для контрольного образца с верхними значениями скоростей счета, который изготавливают из образца, содержащего один элемент без примесей, измеряют скорости счета аналитической линии этого элемента. Технический результат: обеспечение возможности высокоточной градуировки рентгеновских спектрометров. 6 табл.
СПОСОБ РЕНТГЕНОФЛУОРЕСЦЕНТНОГО ОПРЕДЕЛЕНИЯ СОДЕРЖАНИЯ ПРИМЕСЕЙ КОНСТРУКЦИОННЫХ МАТЕРИАЛОВ // 2584064
Использование: для рентгенофлуоресцентного определения примесей. Сущность изобретения заключается в том, что рентгенофлуоресцентное определение содержаний примесей конструкционных материалов включает измерение интенсивностей аналитических линий контролируемых примесей в группе образцов этого материала, дополнительно измеряют интенсивности аналитических линий примесей в стандартных образцах референтного материала, содержащего те же примеси, по результатам этих измерений строят градуировочные графики зависимости интенсивности аналитических линий элементов от содержания, при этом дополнительно проводят измерение обзорного спектра исследуемого конструкционного материала и определяют основной элемент исследуемого конструкционного материала наполнителя, дополнительно измеряют интенсивности аналитических линий элементов контролируемых примесей в образцах, состоящих из этого элемента, абсорбционные факторы и наклоны градуировочных графиков рассчитывают для образцов, состоящих из среднего значения содержания элемента в референтных градуировочных образцах и наполнителя исследуемого конструкционного материала, после чего получают истинные содержания примесей в исследуемом конструкционном материале умножением условных содержаний на отношение наклонов градуировочных графиков в референтном и исследуемом материалах по соответствующим математическим формулам. Технический результат: обеспечение возможности высокоточного рентгенофлуоресцентного определения примесей в разнообразных материалах. 1 ил., 1 табл.
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЭНЕРГОДИСПЕРСИОННОГО РЕНТГЕНОФЛУОРЕСЦЕНТНОГО АНАЛИЗА НА ОСНОВЕ ВТОРИЧНЫХ ИЗЛУЧАТЕЛЕЙ // 2584066
Использование: для энергодисперсионного рентгенофлуоресцентного анализа. Сущность изобретения заключается в том, что устройство для энергодисперсионного рентгенофлуоресцентного анализа на основе вторичных излучателей включает рентгеновскую трубку, вторичные излучатели, устройство подачи контролируемого материала, кювету или транспортер с образцом, устройство для регистрации рентгеновского излучения и индикатор, самописец и/или исполнительный механизм, при этом в состав устройства дополнительно введены коллиматор излучения рентгеновской трубки, четное число n чередующихся вторичных излучателей, электромотор, коллиматор излучения вторичных излучателей, коллиматор флуоресцентного излучения образца, в качестве устройства для регистрации рентгеновского излучения использован сцинтилляционный детектор, балластное сопротивление, разделительный конденсатор и узкополосный усилитель, настроенный на частоту смены излучателей. Технический результат: обеспечение высокого энергетического разрешения при замене полупроводниковых детекторов (ППД) с допустимой скоростью счета, не превышающей 5×104-1×105 имп/с. 2 ил.
Использование: для исследования элементного состава материалов. Сущность изобретения заключается в том, что универсальная рентгеновская трубка для энергодисперсионных рентгеновских спектрометров включает корпус, катод, фокусирующий электрод, анод с рабочей поверхностью, перпендикулярной направлению катод-анод, выходное бериллиевое окно, расположенное на боковой поверхности корпуса, и коллиматор, обеспечивающие выход излучения под углом от 5 до 8 градусов к поверхности анода, при этом анод выполнен двухслойным, поверхностный слой которого имеет толщину 3±1 мкм и выполнен из скандия, а его внутренний слой выполнен из родия и имеет толщину не менее 10 мкм. Технический результат: повышение контрастности и чувствительности при определении элементов, аналитические линии K-спектров которых расположены в диапазоне энергий от 2.3 до 3.5 кэВ (S-K). 2 ил.
