Патенты автора Былинкин Сергей Федорович (RU)
Роторно-маятниковый инерционный элемент // 2790957
Роторно-маятниковый инерционный элемент относится к вибрационной технике и технологиям и может быть использован во всех отраслях промышленности для возбуждения механических колебаний в любом направлении. В изобретении приводится энергосберегающее устройство, в котором реализуются режимы многократного комбинационного параметрического резонанса для центробежного возбуждения механических колебаний с колебательным движением инерционного элемента. Техническим результатом изобретения является повышение стабильности резонансного режима колебаний в системе с неуравновешенными вращающимися и колеблющимися телами при любом угловом отклонении оси вращения маховика от горизонтальной плоскости при одновременном снижении порогового условия возбуждения. Этот технический результат достигается тем, что индивидуальные беговые дорожки маховика выполнены в виде, по меньшей мере, трех незамкнутых равномерно расположенных по окружности тороидальных полостей, а бегунки имеют сферический профиль с возможностью обкатки. 2 ил.
Изобретение относится к измерительной технике и может применяться в интегральных акселерометрах. Для измерения углового ускорения используется инерционная масса, на которую устанавливаются катушки датчика момента обратной связи и втулка с двумя регулировочными винтами, что позволяет увеличить ударопрочность, расширить частотный диапазон измерения углового ускорения. 1 ил.
Электронный преобразователь акселерометра // 2682090
Изобретение относится к микромеханическим акселерометрам, конкретно к электронным преобразователям, применяемым в акселерометрах с емкостным датчиком угла и магнитоэлектрическим датчиком момента. Сущность заявленного изобретения заключается в том, что электронный преобразователь акселерометра содержит усилитель сигнала рассогласования, источник опорных напряжений, генератор сигналов опроса, согласно изобретению дополнительно введены двухполупериодный фазочувствительный выпрямитель, дифференциальный усилитель и усилитель мощности. Технический результат заявленного изобретения заключается в повышении точности электронного преобразователя акселерометра и увеличении диапазона измерения. 1 ил.
Изобретение относится к приборостроению, конкретно к способам изготовления кремниевых чувствительных элементов микромеханических гироскопов и акселерометров. Технический результат заявленного изобретения заключается в повышении точности микромеханических гироскопов и акселерометров. Технический результат достигается за счет создания способа изготовления глубопрофилированных структур в кремниевой пластине, в котором после формирования методом литографии маски для травления с одной стороны подложки «сухое» травление через маску осуществляют на глубину 90-95% толщины пластины, затем удаляют маску, формируют сплошной слой оксида кремния на вытравливаемой стороне пластины, после чего осуществляют анизотропное травление с обратной стороны пластины на глубину 15-20% толщины и удаляют слой оксида кремния. 5 ил.
Способ соединения кремниевых пластин // 2680263
Изобретение относится к измерительным устройствам и может быть использовано в микроэлектромеханических системах при производстве интегральных датчиков. Технический результат заявленного изобретения заключается в повышении точности и надежности интегральных датчиков. Технический результат достигается за счет способа соединения кремниевых пластин, характеризующегося тем, что на первой и второй соединяемых пластинах намечают точки соединения, в точках соединения в первой соединяемой пластине вытравливают сквозные отверстия, во второй соединяемой пластине формируют выступы, размеры которых равны размерам сквозных отверстий на первой соединяемой пластине, затем первую и вторую соединяемые пластины соединяют с совмещением сквозных отверстий и выступов, после чего сжимают с давлением 2 кПа и производят соединение путем применения лазерной сварки кремния в среде азота в местах соединения граней сквозных отверстий и выступов. 1 ил.
Изобретение относится к измерительной технике и может применяться в вибрационных кориолисовых гироскопических датчиках угловой скорости. Способ заключается в одновременном возбуждении автоколебаний первой и второй (ортогональной) мод, причем фаза возбуждающих сил при линейных колебаниях или моментов при угловых колебаниях соответствует фазе сигнала, пропорционального сумме скоростей колебаний в первой моде и во второй (ортогональной) моде, а выходной сигнал формируется так, чтобы он был пропорционален разности амплитуд возбуждающих сил или моментов, отличающийся тем, что стабилизируют амплитуду составляющей скорости колебаний, которую выделяют путем фазочувствительного выпрямления с использованием фазы сигнала, пропорционального сумме скоростей колебаний в первой и во второй (ортогональной) моде. Технический результат – повышение точности кориолисова гироскопического датчика угловой скорости. 5 ил.
Способ соединения кремниевых пластин // 2635822
Изобретение относится к измерительным устройствам и может быть использовано в микроэлектромеханических системах при производстве интегральных датчиков первичных параметров. Задачей, на решение которой направлено заявленное изобретение, является обеспечение стабильности размеров и зазоров в процессе соединения кремниевых пластин. Способ соединения кремниевых пластин заключается в том, что на соединяемых пластинах намечают точки соединения, в которых выполняют контактные площадки, контактные площадки в точках соединения намечают реперными знаками, при этом согласно изобретению в точках соединения в пластинах вытравливают пирамидальные сквозные отверстия с внутренними стенками под углом 54,4°, вокруг пирамидальных отверстий в соединяемых пластинах выполняют разгрузочные канавки на глубину порядка 10-20 мкм, соединяемые пластины совмещают по реперным знакам и сжимают с силой до 10 Н, каналы пирамидальных отверстий направляют расширяющимися частями в противоположные стороны, после чего каналы заполняют силикатным клеем и просушивают при температуре 70-80°С. Изобретение обеспечивает повышение точности интегральных датчиков. 1 ил.
Изобретение относится к измерительной технике и может применяться в интегральных акселерометрах
Изобретение относится к приборостроению и может применяться при изготовлении полупроводниковых микромеханических устройств, например чувствительных элементов интегральных датчиков
Изобретение относится к измерительной технике и может применяться в интегральных гироскопах вибрационного типа
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в микромеханических гироскопах для систем управления подвижных объектов различного назначения
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в интегральных гироскопах вибрационного типа
Изобретение относится к области приборостроения и может применяться для изготовления упругих элементов, используемых, в частности, для подвеса чувствительных масс микромеханических измерительных устройств, например кремниевых гироскопов и акселерометров
