Патенты автора Трубицын Андрей Афанасьевич (RU)
Изобретение относится к металлургии и может быть использовано для прямой очистки металлургического кремния от углерода без использования экологически опасных технологических операций до степени чистоты солнечного кремния, используемого в фотоэлектрических преобразователях солнечной энергии в электрическую. В начале процесса очистки поддерживают температуру 1500°С, которую увеличивают до 1600°С к концу процесса, начальное давление составляет 10 Торр, которое уменьшают в процессе очистки до конечного значения 0,5 Торр, исходное содержание воды в плазменной струе, определяемое отношением количества молей воды n(Н2О) к количеству молей водорода n(Н2) как 1:40, уменьшают в 2-4 раза до соотношения n(Н2О):n(Н2), составляющего 1:100 на финише технологического процесса. Технический результат заключается в сокращении времеми очистки металлургического кремния от углерода при малых скоростях испарения элементарного кремния и уноса кремния из расплава в соединении SiO. 2 ил.
Изобретение относится к очистке металлургического кремния до степени чистоты солнечного кремния. Сущность изобретения заключается в расплавлении кремния в вакуумной камере и регулировке температуры расплава, при этом обеспечивается давление порядка 0,0001 бар и поддерживается температура расплава кремния в диапазоне от 1400°С до 1600°С. Согласно способу расплав кремния обдувается увлажненным водородом, количество которого в смеси Н2 и Н2О не выходит за пределы диапазона от 200 до 900 молей из расчета на 1 моль воды. Техническим результатом является одновременное интенсивное удаление легирующих примесей бора (В) и фосфора (Р) из расплавленного кремния при отсутствии испарения Si. 3 ил.
Изобретение относится к радиационной технике нового поколения, предназначено для улучшения основных характеристик рентгеновского технологического и исследовательского оборудования и может быть использовано в установках стерилизации, дезинфекции, генной модификации, в рентгеноскопии и рентгеноструктурном анализе объектов микроэлектроники, биологии, медицины. Изобретение представляет собой микрофокусный рентгеновский источник, содержащий катодно-модуляторный узел, фокусирующую систему и анод прострельного типа, который изготавливается в виде тепловой трубы, работающей по замкнутому испарительно-конденсационному циклу. Технический результат – получение возможности рассеивать большие тепловые мощности, выделяемые в результате бомбардировки поверхности мишени сфокусированными высокоэнергетическими электронами. 1 ил.
Микрофокусная рентгеновская трубка // 2645749
Изобретение относится к прецизионной контрольно-измерительной технике нового поколения, и предназначено для улучшения аналитических, эксплуатационных и потребительских характеристик рентгеновского технологического и исследовательского оборудования, и может быть использовано в установках рентгеноскопии и рентгеноструктурного анализа объектов микроэлектроники, биологии, медицины. Аксиально-симметричный микрофокусный рентгеновский источник содержит катодно-модуляторный узел, фокусирующий электрод и анод, обеспечивающие эмиссию полого электронного потока с катода, ускорение потока и его фокусировку на аноде. В аноде вдоль оси симметрии системы выполнен воронкообразный канал, состоящий из конического раструба и цилиндрического канала, конический раструб которого, обращенный к катоду, отражает ускоренные и движущиеся параллельно оси электроны и направляет их на вход цилиндрического канала, в результате взаимодействия со стенкой которого электроны, испытывающие многократные упругие отражения, продвигаются к противоположному от конического раструба выходу цилиндрического канала и с определенной для конкретного материала анода вероятностью в каждом акте взаимодействия поглощаются стенкой канала, излучая рентгеновские кванты. Технический результат - повышение мощности рентгеновского излучения. 3 ил. .
Изобретение относится к области электронного приборостроения и может быть использовано при разработке электронно-оптических устройств со стабильным по отношению к колебаниям потенциалов электродов фокусным расстоянием. Электростатическая линза состоит из трех аксиально-симметричных цилиндрических электродов. Линза характеризуется тем, что имеет несимметричное относительно среднего электрода электрическое питание. При фиксированных значениях потенциалов крайних электродов фокусное расстояние линзы носит характер «колоколообразной» функциональной зависимости с выраженным максимумом от потенциала среднего электрода. Вследствие математических закономерностей в точке максимума фокусное расстояние определяется изменениями потенциала среднего электрода лишь во втором порядке малости, что является признаком стабильности фокуса. Технический результат - улучшение фокусирующих свойств.3 ил.
Изобретение относится к области энергетического анализа потоков заряженных частиц, возбуждаемых первичными электронами с поверхности твердого тела
Изобретение относится к области энергетического анализа потоков заряженных частиц, возбуждаемых первичными электронами с поверхности твердого тела, и может быть использовано для улучшения аналитических и потребительских свойств электронных спектрометров, используемых для исследования объектов твердотельной электроники методами электронной спектроскопии
ИЗОТРАЕКТОРНЫЙ МАСС-СПЕКТРОМЕТР // 2490749
Изобретение относится к области масс-анализа потоков ионов, эмиттируемых с поверхности твердого тела под воздействием первичного излучения, и может быть использовано для улучшения аналитических свойств масс-спектрометров, используемых для исследования объектов твердотельной микро- и нано-электроники методами вторично-ионной и лазерной масс-спектрометрии
Изобретение относится к области энергетического анализа потоков заряженных частиц, возбуждаемых первичным, например, синхротронным излучением с поверхности твердого тела
Изобретение относится к области энергетического анализа потоков заряженных частиц, возбуждаемых рентгеновским излучением с поверхности твердого тела, и может быть использовано для улучшения аналитических, эксплуатационных и потребительских свойств электронных спектрометров, используемых для исследования объектов микро- и наноэлектроники методами рентгено-электронной спектроскопии
Изобретение относится к области масс-селективного анализа заряженных частиц в двумерных линейных ВЧ полях и может быть использовано для улучшения аналитических, эксплуатационных и потребительских свойств масс-спектрометров времяпролетного типа
