Патенты автора Нерсесов Сергей Суренович (RU)
Изобретение относится к получению пористых пьезокерамик для ультразвуковых преобразователей, работающих в диапазоне частот 0,1…2000 кГц. Сущность способа заключается в том, что порошок исходного синтезированного пьезокерамического материала смешивают с двухкомпонентным порообразователем, в качестве первой части которого используют порошок предварительно обожженного и размолотого того же самого исходного пьезокерамического материала, а в качестве второй части порообразователя используют выгорающий порообразователь в виде древесной муки с размером основной части частиц 10÷180 мкм. Древесная мука представляет собой порошок из легко деформируемых волокон. В смесь порошков вводят 5%-ный водный раствор поливинилового спирта, смесь тщательно перемешивают, гранулируют, подвергают одноосному полусухому прессованию давлением 30÷35 МПа, отпрессованные заготовки спекают в камерных или туннельной печах при температурах 1150…1250°С. Технический результат - получение пьезокерамики с пористостью 20÷40%, обладающей анизотропией диэлектрической проницаемости и ряда других параметров, обеспечивающих возможность повышения продольной, объемной и акустической пьзочувствительностей g33, gv и γH соответственно, а также фактора приема dvgv при сохранении высоких пьезосвойств (d33, kt). 1 з.п. ф-лы, 2 ил., 3 табл.
Изобретение относится к технологии изготовления высокотемпературных композиционных пьезокерамических материалов и пьезоэлементов из титаната-скандата висмута-свинца (ТСВС). Технический результат: получение высоких пьезопараметров и высокой анизотропии пьезопараметров при низкой механической добротности толщинной и радиальной мод колебаний пьезоэлементов. Сущность: способ включает дозировку порошков исходных компонентов для получения твердого раствора системы ТСВС со структурой перовскита ABO3, помол-смешение порошков и термообработку смеси порошков с образованием спека кристаллитов, дробление и помол спека кристаллитов в порошок со средним размером порошинок не более 2 мкм, добавление к полученному порошку порошка порообразователя в виде гранул диаметром 5…30 мкм из выгорающего органического материала, формирование заготовок для спекания, обжиг заготовок в атмосферообразующей засыпке, механическую обработку для получения заготовок пьезоэлементов, металлизацию заготовок пьезоэлементов, поляризацию заготовок. Операция обжига заготовок композиционных пьезокерамических материалов проводится в атмосферообразующей засыпке, представляющей собой механическую смесь двух предварительно приготовленных атмосферообразующих засыпок, первая из которых является 30%-ной свинецсодержащей засыпкой, а вторая - 50%-ной висмутсодержащей засыпкой. 5 з.п. ф-лы, 1 табл.
Изобретение относится к пьезоэлектронике, к технологии изготовления монолитных многослойных пьезокерамических элементов для электромеханических преобразователей и актюаторов. Сущность изобретения: способ включает операции приготовления шликера на основе порошка пьезокерамического материала и органической связки, литья шликера через фильеру на движущуюся ленту и его сушку с образованием тонких «сырых» пленок из связки с пьезокерамическим порошком, резки сплошных «сырых» пленок на групповые заготовки, покрытия каждой групповой заготовки металлосодержащей пастой через сеткотрафарет с образованием рисунка, сборки путем наложения друг на друга n групповых заготовок, групповых пакетов, прессования групповых пакетов, рубки, в соответствии с рисунком сеткотрафарета, групповых пакетов на отдельные n-слойные заготовки пьезокерамических элементов, сборки «сырых» многослойных заготовок-столбиков из m «сырых» заготовок n-слойных пьезоэлементов путем их склеивания с последующей сушкой, высокотемпературной обработки, металлизации боковых сторон, поляризации многослойных заготовок-столбиков, измерения параметров многослойных пьезоэлементов-столбиков. Технический результат: повышение надежности работы в сложных внешних условиях, упрощение процесса изготовления и снижение его трудоемкости. 1 з.п. ф-лы, 10 ил.
ПЬЕЗОКЕРАМИЧЕСКИЙ МАТЕРИАЛ // 2514353
Изобретение относится к области сегнетомягких пьезокерамических материалов широкого применения, предназначенных для изготовления ультразвуковых устройств, работающих в режиме приема, пьезодатчиков различного назначения, а также для изготовления многослойных пьезокерамических элементов: актюаторов, биморфов и др., которые находят применение для контроля и точного позиционирования технологического оборудования в микроэлектронном производстве, для стыковки и подстройки оптических волокон, при автоюстировке и подстройке лазерных зеркал интерферометров, для управления лазерным лучом в различных системах. Пьезокерамический материал содержит следующие компоненты, мас.%: PbO 62,90-64,08; ZrO2 18,96-20,10; TiO2 10,85-11,63; SrO 1,53-2,64; WO3 0,34-0,62; Bi2O3 1,01-1,86; Ni2O3 0,08-0,23; CdO 0,59-1,18; GeO2 0,2-1,0. Технический результат изобретения заключается в снижении температуры спекания пьезокерамического материала (Тсп≤940°С) ниже температуры плавления серебра (Тпл=960,8°С), что обеспечивает возможности использования серебра для межслойных электродов, а также более высокие электрофизические параметры по сравнению с известными аналогами материалов этого класса. 1 пр., 1 табл.
Областью применения изобретения является микроэлектроника, а более конкретно микроэлектроника интегральных пьезоэлектрических устройств на поверхностных акустических волнах (ПАВ)-резонаторов, которые находят широкое применение в авионике и бортовых системах, телекоммуникации и т.д. Способ изготовления резонаторов на поверхностных акустических волнах включает травление кварцевой подложки, нанесение металлизации на подложку, изготовление структур резонаторов, монтаж резонаторов в корпуса и проведение сухой обработки в две стадии, при этом на первой стадии проводят процесс удаления органических остатков с поверхности резонаторов в плазме смеси кислорода и инертного газа, причем в качестве инертного газа используют или гелий, или неон, или аргон при плотности ВЧ-мощности от 0,02 до 0,08 Вт/см3 и при давлении от 80 до 150 Па, содержании кислорода от 3 до 15 об.%, содержании инертного газа от 85 до 97 об.%, а на второй стадии проводят процесс настройки частоты резонаторов путем реактивного ионно-лучевого травления во фторсодержащем разряде. Изобретение направлено на увеличение долговременной стабильности частоты резонаторов на поверхностных акустических волнах за счет очистки резонаторов от органики и повышения степени этой очистки путем введения в кислородную плазму инертного газа и за счет настройки частоты резонаторов путем реактивного ионно-лучевого травления во фторсодержащем разряде. 3 пр., 1 табл.
Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано в технологии изготовления интегральных пьезоэлектрических устройств (фильтры, резонаторы, линии задержки на поверхностных акустических волнах (ПАВ)), которые находят широкое применение в авионике и бортовых системах, телекоммуникации
Изобретение относится к области микроэлектроники, в частности к микроэлектронике интегральных пьезоэлектрических устройств на поверхностных акустических волнах (фильтры, линии задержки и резонаторы), которые находят широкое применение в авионике и бортовых системах
Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано в технологии изготовления интегральных пьезоэлектрических устройств - фильтров, резонаторов, линий задержки на поверхностных акустических волнах
Изобретение относится к способам допроявления фоторезистов и может быть использовано в области микроэлектроники интегральных пьезоэлектрических устройств на поверхностных акустических волнах (фильтры, линии задержки, резонаторы)
