Электромагнитный преобразователь для измерения характеристик пленочных структур

 

в

Объединенный институт ядерных исследовании (7! ) Заявитель (54) ЭЛЕКТРОМАГНИТНЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ

ХАРАКТЕРИСТИК ПЛЕНОЧНЫХ ClРУКТУР

Изобретение относится к неразрушающему контролю и может быть использовано для измерения характерис.,. тики пленочных структур, например пленок в состоянии сверхпроводимости.

Известен электромагнитный преобразователь, состоящий из катушки индуктивности, .выполненной на диэлектрическом каркасе и предназначенной для подключения к регулируемому источнику постоянного тока через разделительный дроссель, а к измерительному мосту переменного тока - через разделительный конденсатор 1 1.

Недостаток известного электромагнитногс преобразователя состоит в невозможности контроля сверхпроводящих объектов, что связано с их нагревом катушкой преобразователя, питаемой постоянным током.

Наиболее близким к изобретению го по технической сущности является электромагнитный преобразователь для, измерения характеристик пленочных

2 структур, содержащий две пары плоских измерительных катушек индуктивности, размещенных на плоском диэлектрическом держателе t 2).

Недостаток известного электромагнитного преобразователя состоит в низкой помехоустойчивости, что связано с влиянием вариации температуры на выходной сигнал преобразовате" ля.

Кроме того, размещение измеритель. ных катушек в одной .плоскости не позволяет исключить влияние контродируемого объекта на измерительные катушки индуктивности, используемые в качестве компенсационных, что необходимо при измерении абсолютных характеристик пленочных структур, а не их изменений.

Цель изобретения -повышение помехоустойчивости контроля.

Поставленная цель достигается тем, что в электромагнитном преобразователе для измерения характеристик

Формула изобретения

ВНИИПИ Заказ 1369/45 Тираж 871 Подписное

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4

3 100 пленочных структур, содержащем две плоские измерительные катушки индуктивности, размещенные на держателе, катушки индуктивности размещены в ортогональных плоскс1ртях, а держатель выполнен из электрически изолированных друг от друга проводников, имеющих тепловой контакт с обеими катушками индуктивности.

На чертеже представлен электромагнитный преобразователь для измерения характеристик пленочных структур.

Электромагнитный преобразователь состоит из измерительных катушек 1 и 2 индуктивности, размещенных в ортогональных плоскостях на держателе 3, выполненном из электрически изолированных друг от друга проводников (не показаны ), имеющих тепловой контакт с обеими измерительными катушками 1 и 2 индуктивности.

Держатель 3 закреплен в диэлектрической оправке 4. Рекомендуется держатель 3 выполнять в виде сетки из проволоки, а катушки 1 и 2 индуктив". ности закреплять на нем эпоксидным клеем.

Электромагнитный преобразователь работает следующим образом.

Измерительные катушки 1 и 2 индуктивности включают. в соответствующие плечи моста переменного тока и устанавливают измерительную катушку

1 индуктивности рабочим торцом на контролируемую пленку. Разбаланс моста будет соответствовать характеристикам контролируемой пленки. При этом вариация температуры контролируемой пленки не окажет существенного влияния на величину разбаланса моста переменного тока, так как между измерительными катушками индуктивности

0891 4 с помощью держателя 3 создан тепловой контакт. В то же время держатель

" 3 не влияет на процесс контроля, так как выполнен из электрически изолированных проводников„ практически не воздействующих на магнитное поле катушек. Одновременно исключается влияние вторичного магнитного поля контролируемой пленки на измеритель16 ную катушку 2 индуктивности, что flo ,вышает точность контроля.

Предлагаемый электромагнитный преобразователь обладает повышенной помехоустойчивостью благодаря подав>S лению влияния вариации температуры контролируемой пленки на результаты контроля. Это особенно существенно при измерении характеристик сверхпро. водящих пленочных структур при наличии больших температурных градиентов.

2s Электромагнитный преобразователь для измерения характеристик пленочных структур, содержащий две плоские измерительные катушки индуктивности, размещенные на держателе, о т л и—

ЗЕ ч а ю шийся тем, что, с целью повышения помехоустойчивости, катушки индуктивности размещены в ортогональе ных плоскостях, а держатель выполнен из электрически изолированных друг

35 от друга проводников, имеющих тепловой контакт с обеими катушками индуктивности.

Источники инФормации, принятые во внимание при экспертизе

Авторское свидетельство СССР

11 560175, кл. G Ol и 27/90, 1977.

2. Патент США и 4 107605, кл. G Ol R 33/12, 1978,прототип).