Устройство для ориентации плоских деталей

 

Союз Советских

Социалистических

Республик

ОП HCAHHE

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ («)f001233 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 03. 04 . 81 (21) 3305315/18-21 с присоединением заявки.¹ (23) Приоритет

Опубликовано 280283. Бюллетень ¹ 8

Дата опубликования описания

Р М g< з

Н 01 1, 21/00

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий (33) УДК 621.382. .003. 3 (088. 8 ) (12) Авторы изобретения

М.И.Штейнберг и С.Э.A (11) Заявитель 54 ) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОРИЕНТАЦИИ ПЛОСКИХ ДЕТАЛЕЙ

25

Изобретение относится к загрузочному оборудованию и предназначено для автоматической подачи в технологическое оборудование полупроводниковых кристаллов с различной р-и структурой плоскостей при производстве полупроводниковых приборов и ,интегральных схем;

Известно устройство для загрузки плоских деталей, содержащее транспортирующий диск для переноса деталей, бункер, накопитель, фиксатор деталей, вакуумную присоску и манипулятор (1).

Однако известное устройство не обеспечивает ориентации деталей при перегрузке.

Цель изобретения — повышение качества работы устройства.

Поставленная цель доотигается тем, что устройство для ориентации плоских деталей, содержащее транспортирукщий электризукщий диск для переноса деталей, бункер, накопитель, фиксатор деталей, вакуумную присоску, расположенную между бункером и накопителем, и манипулятором, снабжено винтовым лотком, размещенным с зазором над транспортирукщим диском между бункером и накопителем.

Кроме того, манипулятор снабжен датчиком положения деталей по р-и слою.

На фиг. 1 иэображено устройство, общий вид; на фиг. 2 — разрез A-A на фиг. 1.

Автоматическое устройство для ориентации плоских деталей малой толщины содержит транспортирующий диск 1, бункер 2, накопитель 3, вакуумнуо присоску 4, винтовой лоток 5, фиксатор 6, манипулятор 7 и датчик 8 положения деталей.

Транспортирующий диск 1 выполнен иэ электризующего материала. Бункер

2, накопитель 3 и винтовой лоток 5 закреплены на неподвижном основании

9 над вращающимся диском 1. Винтовой лоток 5 расположен между бункером 2 и накопителем 3 и установлен над поверхностью вращакщегося диска с зазором. Зазор выбирают иэ условий разделения деталей При попадании их в электростатическое поле и сохранения ориентации деталей по плоскости. Вакуумная присоска 4 установлена между бункером 2 и винтовым лотком 5. В манипуляторе 7 установлен датчик 8 по-. ложения деталей но р-л слою. Бункер

1 001233 формула изобретения

Л-Л

2 и накопитель 3 выполнены в виде планок без закрытых каналов.

Устройство работает следующим образом.

Детали из бункера 2 вакуумной присоской 4 группой подаются в винтовой лоток 5, из которого россыпью, разделяясь в электростатическом поле, попадают в накопитель. Это происходит вследствие того, что при зращении диска 1, который выполнен 10 из электризующего> материала, на его поверхности в результате трения о бункер 2, накопитель 3 и фиксатор 6 образуются электростатические заря действующие на детали. По накопителю 15 дык

3 детали перемещаются в сторону фиксатора 6 и поштучно западают в его гнезда. При повороте фиксатора 6 детали попадают под датчик 8 манипуля тора 7, который распознает положение деталей по р-и слою. Манипулятор 7 забирает только те детали, которые расположены правильно, т.е. какойто определенной поверхностью, и укладывают их в кассеты 10.

Остальные детали манипулятор про25 пускает, и они опять попадают по в рацающемуся транспортирующему диску 1 в бункер 2. Винтовой лоток 5 предназначен для переориентации деталей по р-h слою. Попадая в винтовой лоток 5, детали скользят по нему и переворачиваются, после чего, сохраняя ориентированное положение по плоскости в электростатическом поле, они попадают в накопитель 3 .

1 ° Устройство для ориентации плоских деталей, преимущественно полупроводниковых кристаллов с р-и слоем

t содержащее транспортирующий электри зующий диск для переноса деталей, буикер, накопитель, фиксатор деталей, вакуумную присоску, расположенную между бункером и накопителем, и манипулятор, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения качества работы, оно снабжено винтовым лотком

-размещенным с зазором над транспортирующим диском между бункером и накопит елем.

2. Устройство по п. 1, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что манипулятор снабжен датчиком положения деталей по р- и слою.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

М 304879, кл. Н 01 L 21/00, 1970

ВНИИПИ Заказ 1411/63

Тираж 701 Подписное

Филиал ППП "Патент", г.ужгоиод. Ул.Проектня,4