Устройство для измерения перемещений поверхности объекта

 

УСТРОЙОТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПЕРЕМЕЦ НИЙ повЕрхнсх:ти ОБЪЕКТА, содерясащее посяедователыю расположенные вдоль сштической оси лазер , расширитель {сэлучения, светодел тель, первый и второй плоские отражатели , светофильтр, пе1шый 11оля1жза1шонный элемент, третий плоский отражатель, регистратсф, второй поляризационный элемент и четвертый плоский отражатель, о т л и ч а ю ш е е с я ем, что, с целью Еювышения точюсти взмерений, оню снабжено оптичеокям диффуэорсм, сферическим отражателем и фокусирующей линзой, располкикеннымн 1юследователыю между регистратсфом и BTopiitM поляризационным элементом. О1 о СП

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

РЕСПУБЛИК

3G9 0 В 11/16

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCHOlVIY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (23.) 3374217/25 28 (22) 29.12.81 (46) 15.04.83. Бюл. М 14 (72) А.К. Полонин, Н.Т.Квасов. и Г.А. Корешков (71} Минский радиотехнический институт (53) 531.781.2 (088.8) (56} 1. Кольер P., Беркхарт К., Пин Л.

Оптическая голография, М., Мир, 1973р с. 200.

2. Голография. Под ред. В.М.Гинзбурга.

М., Советское радио», 1974, с. 34-35 (прототип). (54)(57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ ПОВЕРХНОСТИ

„„SU.„1011505 А

ОБЪЕКТА, содеркащее поспедовательно расположенные вдоль оптической оси лазер, расширитель излучения, светодели тель, первый и второй плоские отражатели, светофильтр, первый поляриза"ионный элемент, третий плоский отражатель, регистратор, второй мижриэационный элемент и четвертый плоский отражатель, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точюсти измерений, оно снабжено оптическим диффузором, сферическим отражателем и фокусирующей линзой, располовэнными последова

T631bBo между регистраторсм и Вторым полярнзационным элементом.

1011505

1 2

Изобретение относится к измерению щей линзой, расположенными последова» деформаний объектов голографическим ме- ельно между Регистратором и вторым тодсм. поляризанионным алеме нтом.

Известно устройство для измерений На чертеже изображена схема предй y g g объекта, соде g лагаемого Устройства. жащее последовательно Расположенные

Устройство содержит последовательно расположенные вдоль оптической оси ла расширитель иэлу зеР 1, РасшиРи е 2 излУчени, све о чения и регистратор 1 ). делитель 3, первый плоский отражатель

Не та ом это устройства являет- 10 4, второй плоский отражатель 5, светося то, что в нем нельзя устанавливать фильтр 6, первый поляриэанионный алеб р а в опорном и обь мент 7, третий плоский отражатель 8, ект м пучках из-еа того, что в нем от- РЕгистратор 9, оптический днффУэоР 10, сутствуют поляризанионные алементы. сферический отражатель 11, фокусирующую

Наиболее близким к изобретению яв- I5 линзу 12, второй поляризанионный элеляется устройство для измерений пере- мент 13 и четвертый плоский отражамещений поверхности объекта, содержащее тель 14. Между сферическим отражатепоследовательно расположенные вдоль лем 11 и фокусирующей линзой 12 пооптической оси лазер, расширитель из- мещен исследуемый объект 15. лучения, выполненный в виде оптической 20 Устройство работает следующим обсистемы, светоделитель, первый и второй Разом ° плоские отражатели, светофильтр, первый На регистраторе 9 методом двойной поляризанионный алемент, третий плос экспоэинии регистрируется голографикий отражатель, регистратор, второй по- ческая интерферограмма исследуемого ляризанионный элемент и четвертый . 25 объекта 15. Для этого на регистраторе плоский отражатель (2 ). 9 фиксируются две голограммы объекта

Недостатком известного ус ройства в двух состояниях — в исходном и деявляется то, что оно не обеспечивает формированном. При атом повышение чув. высокой точности измерения перемеще- ствительности в предложенном устройстве ний поверхности объектов иэ-аа малой . 30 достигается путем фокусировки объектной.

",чувствительности, вызванной большой дли- - волны излучения фокусирующей линзой 12 ной волны используемого излучения. и последовательным переотражением ее

Бель изобретения - повышение точнос o"TÐ ÆÐÓeMbà4 объектом 15 и сфери ти .измерений. ческим отражателем 11 на регистратор 9, Указанная пель достигается тем, что 35 IIP8 атом пРостранственное смещение устройство для измерения перемещений объектной волны, переотраже иной иссле« поверхности объекта, содержащее последо- дуемым объектом 15 Усиливается при вательно расположенные вдоль оптической переотражении сфеРИческим отРажателем р, расширитель излучения, свето- 11 и ато Усиление тем больше, чем делитель, первый и второй плоские отра 40 больше кРивизна повеРхности сфеРическожатели, светофильтр, первый поляриэаииоиный алемент, третий плоский отража ИзобРетение позволяет повысить точтель, регистратор, второй поляризанион- ность определения перемещений повеРх- ный алемент и четвертый плоский отража ностей зеркально отражающих объектов тель, снабжено оптичежим диффузором, 45 за счет применения более совершенной сферическим отражателем и фокусирую- схемы измерения.

Составитель Б.- Евстратов

Редактор А. Химчук Техред В. Далекорей Корректор Ю.Макаренко Заказ 2665/23 Тираж 460 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035,.Москва„Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4