Безвибрационное подъемное устройство

 

1. ББЗВИБРАЦИОННОЕ ПОДЪЕМНОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ полупроводниковых пластинf в котором с помощью одного или нескольких электромагнитов укрепленная на подъемном якоре зажимная головка перемещается в вертикальном направлении между двумя конечными положениями, отличающееся тем, что подъемный якорь снабжен ферромагнитным сердечником 1 и направляющей 3, в направляк1щей 3 находятся равномерно распределенные сопла 9, к верхней площади 10 ферромагнитного сердечника 1 относится первая площадь соприкосновения -16 подъемного якоря 2, а к нижней площади 12 - вторая площадь соприкосновения 17, в одной или нескольких площадях 10, 12 и/или площадях соприкосновения 16, 17 равномерно,распределены сопла 11, 13 и из сопл 11, 13 и сопл 9 под давлением-выходит газ. j СП 4 li 00

„.ЯО„„Щ15448

СОО3 СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

3УЦ " 01 .Г 7/13

ГОСУДАРСТ8ЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

fIO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИИ И ОТНРЦТМА

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ " *

Н АВТОРСКОМЪГ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1l N ZulO ZS (89) 137037 (ГДР) (21) 7770575/24-07 (22) 16.05.79 (31) NP Н 01 F/205722 (32) 01 ° 06.78 (33) ГДР (46) 30.04. 83. Вюл. Ф 16 (72) Эберхард Риссланд и Карл-Хейнц

Крюпер .(ГДР) (71) ФЕВ Электромат им ФЕИ Комбинат

Иикроэлектроник (ГДР) (53) 621 ° 318. 38(088. 8) (54) (57) 1

НОЕ уСГРойСтВО для полупроводниковых пластин, в котором с помощью одного или нескольких электромагнитов укрепленная на подъемном якоре зажимная головка перемещается в вертикальном направлении между двумя конечными положениями, о т л и ч а ю щ е— е с я тем, что подъемный якорь снабжен ферромагнитным сердечником 1 и направляющей 3, в направляющей 3 находятся равномерно расцределенные сопла 9, к верхней площади 10 ферромагнитного сердечника 1 относится первая площадь соприкосновения -16 подъемного якоря 2, а к нижней площади 12 — вторая площадь соприкосновеник 17, в одной или нескольких площадях 10, 12 и/или площадях соприкосновения 1 6,,17 равномерно, распределены сопла 11 13 и из сопл 11, 13 и сопл 9 под давлением -выходит газ.

1015448

2. Безвибрационное подъемное устройство по и. 1, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что между промежуточным пространством 18, ограниченным площадью 10 и площадью соприкосновения

16, и/или промежуточным пространством 19, ограниченным площадью 12 и площадями соприкосновения 17, и внешним пространством находятся узкие каналы.

3. Безвибрационное подъемное устройство по пп 1 и 2, о т л и ч а ющ е е с я тем, что поперечное сечение узких каналов 20 зависит от положения подъемного якоря.

4. Безвибрационное подъемное устройство по пп 1 и 2, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что поперечное сечение узких каналов 20 регулируется с помощью дросселирующего органа 21.

5. Безвибрационное подьемное устройство по п 1, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что площади 10, 12 и/или площади соприкосновения 16, 17 разделены на намагничиваемые зоны 22 и ненамагничиваемые зоны 23.

Изобретение относится к безвибра- ционному подъемному устройству, преимущественно для полупроводниковых пластин в автоматических манипуляторах, позволяющих достичь быстрого движения подъема в чувствительных системах.

В DD-WP 101 783 описано подъемное устройство для быстрого и безвиб рационного контактирования, в котором якорь держится н двух мембранных пружинах, которые противодействуют тяговой характеристике электромагнита благодаря более крутой характеристике пружины. При этом постоянная пружины регулируется с помощью изменяемого предварительного сжатия. Это подъемное устройство по своему применению ограничивается относительно небольшими усилиями, т.е. при 4 больших полупроводниковых пластинах нельзя реализовать короткое время подъема. Причины этого следует искать в большом противодействии прогрессивно действующей пружины и в вытекающей из этого высокой мощности, потребляемой обмоткой магнита.

В US-PS 3 939 743 описана зажимная головка, которая с помощью приводимого шаговым электродвигателем; эксцентрика реализует движение подьема.

Недостатком устройства является трение между отдельными его частями,.

6. Безвибрационное подъемное уст- ройство по и. 1, о тли ч аю щ е е с я тем, что к подъемному якорю 2 относится магнитная. цепь, 26.

7. Безвибрационное подъемное уст.ройство по пп,1 и б, о т л и ч а ю— щ е е с я тем, что, действию магнитной цепи 27 противодействует возвратная пружина 2&, расположенная между подъемным якорем 2 и сердечником 1.

8. Безвибрационное подъемное устройство по и. 1, о т л и ч а ющ е е с я тем, что к подъемному якорю 2 относятся две магнитные цепи

7, 8.

9. Безвибрационное подъемное устройство по пп 1 и 8, о т л .и ч а— ю щ е е с я тем, что магнитные цепи

7, 8 соединены .через полюс обратного замыкания б.

10. Безвибрационное подъемное устройство по пп.1, 8 и 9, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что полюсом обратного замыкания б является постоянный магнит 24 ° вызывающее механический износ в этих местах, а также. то, что зажимная головка состоит иэ нескольких отдельных частей, в результате чего затруд5 нено параллельное направление зажимной поверхности в рабочем йоложении.

Цель изобретения — создание безвибрационного подъемного устройства для увеличения диаметра пластин, име 0 ющего простую механическую конструкцию, не подверженного износу, для которого потери мощности исполнительного органа снижены настолько, что отпадает необходимость в проведении дополнительных мероприятий по теплоотводу.

Задача изобретения заключается в мягком торможении движения якоря пе- ред достижением конечных положений с помощью газа, преимущественно воз20 .духа, который выходит под давлением между площадями соприкосновения сер- дечника и подъемного якоря, в результате чего находящийся между площадями соприкосновения воздух:сжимается и

25 через другое демпферное устройство выходит во внешнее пространство.

Изобретение относится к безвибрационному подъемному устройству, в котором с помощью одного или нескольких электромагнитов укрепленная на подъемном якоре зажимная головка перемещается в вертикальном направле нии между двумя конечными положениями.

1015448

При этом подъемный якорь содержит На фиг. 1 изображено безвибрацинаправляющую, соединенную с фер- онное подъемное устройство, разрез ромагнитным сердечником. В этой на фиг. 2 — расположение дроссели направляющей находятся равномерно рующего органа по о-ношению к регураспределенные сопла., К верхней пло- лированию-поперечного сечения узких щади Ферромагнитного сердечника от- 5 KaHairoal на фиг. 3 — разделение плоносится первая площадь соприкоснове- щадей на намагниченные и ненамагниния якоря подъема, а к нижней площа- ченные зоны, на фиг. 4 — подъемное ди - вторая площадь соприкосновения. устройство с одним электромагнитом.

В этой или нескольких площадях фер- Безвибрационное подъемное устрой ромагнитного сердечника или подъемно- g. ство для полупроводниковых пластин го якоря равномерно Расположены дру- (фиг. 11 имеет симметричную по форме

1 гие сопла. Из сопел под давлением вы- тела вращения конструкцию и состоит ходит газ, преимущественно воздух. из ферромагнитного сердечника 1. СерМежду верхней площадью сердечника H дечник 1 окружен подъемным якорем 2. первой площадью соприкосновения подь-15 Подъемный якорь 2, в свою очередь, емного якоря находится первое проме- окружен направля ощей 3. Сердечник 1 жуточное пространство, а между нижней является опорой, двух электромагнитов площадью и второй площадью — второе 4, 5, разделенных соединенным с серпромежуточное пространство. В ка- дечником полюсом обратного замыкачестве соединения между промежуточны- ния 6.,К верхнему электромагниту 4 ми пространствами и внешним простран-2О относится магнитчая цепь 7, а к нижством расположены узкие каналы. Попе-. нему электромагниту 5 — магнитная речное сечение этих узких каналов цепь 8. зависит от положения подъемного яко- В направляющей 3 находятся равноря. Кроме того, поперечное сечение мерно распределенные сопла 9. К верхузких каналов можно регулировать:. 25 ней площади 10 сердечника 1 относитдросселирующим органом. Узкие каналы ся первая площадь соприкосновения при соответствующих обстоятельствах 16 подъемного якоря 2, а к нижней могут быть образованы непосредственно площади 12 — вторая пло|цадь соприпромежуточными пространствами. косновения 17. В верхней площади 10 При движении подъемного якоря в Зр расположены сопла 11, а в нижней плоодно из двух конечных положений сжи- щади 12 — сопла 13. Сопла 9, 11, 13 мается воздух, находящийся в соответ- .через систему каналов 14 соединены ствующем промежуточном пространстве, с муфтой 15. Площадь 10 и площадь и вызывает сильное торможение. Узкие соприкосновения 16 ограничивает проканалы, поперечное сечение которых З5 межуточное пространство 18,-а плорегулируемо, служит для подавления . щадь 12 и площадь соприкосновения колебаний подъемного якоря на воздуш- 17 — промежуточное пространство 19. ной подушке. Промежуточные пространства 18,19

Площади соприкосновения и/или ниж- соединены с внешним пространством няя и верхняя площади разделены при - узкими каналами 20. При этом поперечэтом на намагничиваемые и ненамагни- ное сечение узких каналов 20 зависит чиваемые зоны. Благодаря этому со- от положения подъемного якоря 2 или гласуется отношение между силами . предусмотрены дросселирующие органы притяжения и демпфирования. 21 (фиг. 2).

Подъемное устройство содержит од- Площади 10, 12 и/или площади соно или два электромагнита. В исполне-45 прикосновения 16, 17 можно разделить нии с одним электромагнитом, при не- на намагничиваемые зоны 22 и ненаобходимости, между подъемным якорем .магничиваемые зоны 23. Кроме того, и сердечником расположена линейная . полюс обратного замыкания 6 содержит или нелинейная пружина возврата, составленный из сегментов постоянный противодействующая действию относя- 5О магнит 24, Для крепления изделий щейся к электромагниту магнитной цепи. на подъемном якоре 2 расположен заЕсли к каждому из двух конечных жимной столик 25. положений относится один электромаг- В направляющей 3 расположены вынит и, тем самым, одна магнитная .пускные отверстия 26, дополняющие соцепь, то обе магнитные цепи можно единение промежуточного пространства соединить через-общий полюс обратно- 19 и узких каналов 20 с внешним про- го замыкания. Этот полюс обратного странством, фиксаторы, предотвращаюзамыкания содержит при этом постоян- щие случайный поворот подъемного ный магнит, который может быть также .; якоря 2 по отношению к направляющей составлен из сегментов. 3 и, тем самым, к сердечнику 1.

Постоянный магнит устраняет поте- 60 Йа фиг. 4 показано подъемное уст-

0ри при останове подъемного устройства, ройство, в котором к сердечнику 1 так как для движения якоря подъема и подъемному якорю 2 относится только требуется лишь электрический пере- одна магнитная цепь 27. При этом межключательный импульс. ду сердечником 1 и подъемным якорем

Пример осуществления изобретения. 65 2 укреплена возвратная пружина 28, 1015448

7Х 72 (РигЗ

Составитель В. Попова

Редактор Л. Пчелинская Техред С.Мигунова Корректор Л. Бокшан

Заказ 3225/49 Тираж 703 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Ъ

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4 противодействующая действию магнитной цепи. Возвратная пружина 28 имеет линейную или нелинейную характерис. тику. При движении подъемного якоря

2 воздух,. находящийся в промежуточном пространстве 18 или 19, сжимается и медленно выходит во внешнее пространство.

Для установки необходимого затухания следует изменить поперечное сечение узких каналов 20. Кроме того, разделение на намагничиваемые 22 и ненамагничиваеьые 23 зоны также служит для установки желаемых силовых соотношений и для обеспечения затухающего процесса торможения.

Признано изобретением по результатам экспертизы, осуществленной ведомством по:изобретательству Германской Демократической Республики.