Вакуумная система

 

СОКИ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ PECnvsrwH зов. F 04 F 9/02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ

Н АВ ЮРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3311479/25-06 (22) 29.06..81 (46) 07.05.83. Бюл. и 17 (72) Г. Г. Левченко, Г. й. Ианянин и А, К. Прокопенко .(71) Донецкий физико-технический институт AH Украинской ;ССР (53) 621.527.8(088,8) . (56) 1. Глазков А. А. Учебная лаборатория вакуумной техники. И., Атомиздат, 1971. с. 137. (54)(57) ВАКУУИМАЯ СИСТЕИА, содержащая подсоединенный к откачивае„„SU„„4 016571 А мому объему вакуум-провод с последовательно установленными на нем диффузионным и форвакуумным насосами и форбаллоном, о т л и ч а ю щ а яс я тем, что, с целью расширения диапазона работы и повышения экономичности, форбаллон установлен перед диффузионным насосом, а.вакуум-провод снабжен затворами, расположенны- . ми на входе и выходе форбаллона, и подсоединенным к вакуум-проводу параллельно первому по ходу откачиваемого газа затвору обводным трубопроводом с регулирующим вентилем, 1016571

Составитель О. Тишина

Техред О.Неце Корректор Г. Решетник, Редактор P . .Цицика

Заказ 3354/37 Тираж 665 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, N-35, Раушская наб,, д. 4/5

Филиал И(1П "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к вакуумной технике, Известна вакуумная систеиа, содер- . жащая подсоединенный к откачиваемому объему вакуум-провод с последователь- 5 но установленными на нем диффузионным и форвакуумным насосами и форбаллоном (11.

Согласование рабочих характеристик форвакуумного и диффузионного насосов в значительной мере усложняется при откачке паров, например, криогенных жидкостей с изменяющимися скоростями испарения, а также при nposepкв на течь вакуумных систем.

В этом случае возможны режимы, когда быстрота откачки установленного форвакуумного насоса при опре;.. деленном давлении перед диффузионным насосом меньше необходимой быстроты откачки, вызванной испарением откачиваемой жидкости, Известная схема не позволяет обеспечить возможность включения диффузионного насоса на давление, превышающее его начальное давление в 5-10 раз, В известной системе согласование режимов достигается за счет установки более мощного форвакуумного насоса, а также за счет установ- 30 ки диффузионных насосов с большии начальным давлением.

Целью изобретения является расширение диапазона раЬотй и повышение экономичности. 35

Указанная цель достигается тем, что в вакуумной системе, содержащей йодсоединенный к откачиваемому оЬъему вакуум-провод с последовательно установленными на нем диффу- 4р зионныи и форвакуумным насосами и форбаллоном, форбаллон установлен, перед диффузионным насосом, а вакуум-провод снабжен затворами, расположенными на входе и выходе форбал- 45 лона, и подсоединенным к вакуумпроводу параллельно первому по ходу откачиваемого газа затвору обводным трубопроводом с регулирующим вентилем, На чертеже изображена схема рписываемой вакуумной системы.

Вакуумная система содержит подсоединенный к откачиваемому объему

1 вакуум провод 2 с последовательно установленными на неи диффузионным и форвакуумным насосами 3 и 4 и форбаллонои 5 . Форбаллон 5 установлен перед диффузионным насосом 3, а вакуум-провод 2 снабжен затворами

6 и 7, расположенными на входе и выходе форбаллона 5, и подсоединенным к вакуум-проводу 2 параллельно перво му по ходу откачиваемого газа затвору 6 обводным трубопроводои 8 с регулирующим вентилем 9.

Кроме того, вакуумная система снабжена вентилями 10-12;

Описываемая система работает следующим образом, Сначала форвакуумным насосои 4 производится предварительная откачка диффузионного насоса 3 и форбаллона 5. Затем при закрытом затворе

7 откачивается объем 1. При достиже нии насосом 4 предельного давления закрываются вентили 10 и 11, и открывается вентиль 12, затвор 7 и регулирующий вентиль 9.

Вентиль 9 открывается так, что на входе в диффузионный насос 3 поддерживается постоянное давление, равное начальному, После того, как в объеме 1 будет достигнуто давление, равное начальному, открывается затвор 6, и откачка производится обычным образом, Описываемая система позволяет расширить диапазон использования диф" фузионных и форвакуумных насосов и применять их при откачке объемов с давлением,превышающим начальное давление диффузионных насосов.