Диффузионный вакуумный насос

 

1.., ДИФФУЗИОННЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС, содержащий корпус с входным и выходным патрубками, внутри кото ,рого установлен основной сопловой блок, отличающий ся тем, что, с целью улучшения предельнохч) вакуума и увеличения быстроты действия , он дополнительно содержит размещенный в откачиваемом объеме подвижной сопловой блок, снабженный охлаждаемым надсопельником, а основной сопловой блок имеет охлаждаемый кожух, открытый со стороны входного патрубка, и между последним и основным блоком расположена охлгикдаемая диафрагма. 2. Насос по п. 1, отличающий с я тем, что в критическом сечении сопл установлены пористые вставки.

СООЗ СОВЕТСНИХ

OW

РЕСПУБЛИК (191 (10 за F 04 F 9 02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР .

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЦТИЙ

К ABTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 2929658/25-06 (22) 23.05.80 (46) 30,08.83. Бюл. Р 32 (72) A. К. Ребров и Н. И. Тимошенко (71) Специальное конструкторское бюро "Энергохиммаш" (5 3) 621.528. 1(088. 8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР.

re заявке Р 2643582/25-06> кл. F 04 F 9/02, 1978. (54)(57) 1 . ДИФФУЗИОННЫЙ ВАКУУМНЫЙ

НАСОС, содержащий корпус с входным и выходным патрубкаьи, внутри кото,рого установлен основной сопловой блок, отличающийся тем, что, с целью улучшения предельного вакуума и увеличения быстроты действия, он дополнительно содержит размещенный в откачиваемом объеме подвижной сопловой блок, снабженный охлаждаеьым надсопельником, а основной сопловой блок имеет охлаждаемай кожух, открытый со стороны входного патрубка, и между последним и основным блоком расположена охлажцаемая диафрагма.

2. Насос по п. 1, о т л и ч аю шийся тем, что в критическом сечении сопл установлены пористые вставки.

1038623

Составитель Н. вин

Редактор Е. Лушникова Техред А.Бабинец, Корректор О. Тигор

Заказ 6 184/39 Тираж 665 Подпи сное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул ° Проектная, 4

Изобретение относится к вакуумной технике.

Известен диффузионный вакуумный насос, содержащий корпус с входным и выходным патрубками, внутри которого установлен основной сопловой блок Г1J.

Однако в насосе откачиваеьый объем не защищен от обратного потока рабочего газа. В связи с этим, сопловой блок должен быть расположен внутри криогенного контура, что препятствует полному использованию струи для откачки газа.

Цель изобретения — улучшение предельного вакуума и увеличение быстроты действия.

Поставленная цель достигается тем, что насос дополнительно содержит размещенный в откачиваемом объеме подвижный сопло вой блок, снабженный охлаждаеьым надсопельником, а основной сопловой блок имеет охлаждаемый кожух, открытый со стороны выходного патрубка, и между послецним и основным блоком расположейа охлаждаемая диафрагма.

В критическом сечении сопел установлены пористые вставки.

На чертеже показан насос, продольный разрез.

Диффу з ионный в акуумный насос содержит корпус 1 с входным и выходным патрубками 2 и 3, внутри которого установлен основной сопловой блок 4. Насос дополнительно содержит размещенный в откачиваемом объеме 5 подвижный сопловой блок 6, снабженный охлаждаеьим надсопельником 7, а основной сопловой блок 4 имеет охлаждаемый кожух 8, открытый со стороны выходного патрубка 3, и между последним и основным блоком

4 расположена охлаждаемая диафраг ма 9. B критическом сечении сопел 10 установлены пористые вставки 11.

Насос работает. следующим образом.

После предварительного вакуумиро10 вания откачиваемого объема захслаживаются криогенные поверхности насоса и подается газ к соплам основного и подвижного сопловых блоков

4 и 6.

Откачка газа осуществляется путем. проникновения откачиваемого газа в струю рабочего и выносом его к выходу, либо к следующей ступени откачки.

Подвижной сопловой блок 6 снабжен охлаждаеьим надсопельником 7 с целью вымораживания обратных потоков рабочего газа.

Для увеличения скорости струи рабочего газа необходимо повысить температуру торможения потока. Для этого в критических сечениях сопел

10 установлены пористые вставки 11..

Размещение в откачиваемом объеме

5 подвижного соплового блока 6, снабженного охлаЖцаеьым надсопельником 7, и наличие охлаждаемого кожука 8 позволит эффективнее испольэовать энергию струй рабочего газа, 1

35 улучшить предельный вакуум и увеличить б|зтроту действия насоса.