Диффузионный вакуумный насос

 

ДИФФУЗИОННЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС, содержащий корпус, установленную в нем конденсационную панель и концентрично расположенные перед панелью экраны и размесценные межДу ними рабочие сопла, о т л и ч а Ю щ и и с я тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения быстрбтц действия, корпус снабжен дополнит;едьнымн jeonJiамИ, расположенными на его енутрё ннёй поверхности под углом к оси насоса;

сбюЗ сОВетских

СОЦИАЛ ИСтИЧЕСКИХ

РЕСЙУЬЛИК . (19) (И)

ГОСУДАРСТВЕН ЮЕ ААТЕНТН0Е

ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР)

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВ ГОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСГВУ

1 2 (2t) 33V9408(06 .. : ..:: @4)(57) ДИ )ФУЗИОНН ВА УУМНЫй (22)04;О1,82: .. ::::::,: НАСОС, содержащий корпус, установлен{46) 15.10.93. Бюл. М 37-38, .::: .:.:-:- ную в нем конденсэционную панель и кон(71) Специальное конструкторское бюро йо:.".- . центрично расположенные перед панелью . энергохймической аппаратуре и. мэвийэй:::-::: экраны и размещенные между ними рабо- .

"Энергохиммаш": :. . :: . чие сопла. о т л и ч э ю шийся тем; что, с (72) Е.Г,Великанов, Г.С,Горбунее.и В.A.Êó.. :::.= Целью. упрощения конструкции и повыааликов .. : . :: " ния быстротыдействия, корпусснабжендо.. полнительными.соплами, расположенными

{56) Отчет CKS "Энергохиммээ)", 8HТИц; N, :: -нэ его внутренней поверхности под углом к

6882999, Ноаосибирск 1.980. :.,--::- оси насоса.

Р

Оа

Оа

Ъ

1642397

Изобретение относится к вакуумной технике.

Известен диффузионный вакуумный насос, содержащий корпус. установленную на нем конденсационную панель и концент- 5 рично расположенные перед панелью экраны и размещенные между ними рабочие сопла.

В известной конструкции в радиальном зазоре между экраном и корпусом располо-. 10 жен разделительный элемент, выполненный из низкотеплопроводного материала малой товщины, Назначение этого элемента — разделение высоковакуумной и низковакуумных полостей насоса. 15

Необходимость установки этого элемента усложняет конструкцию насоса, Целью изобретения является упроще-. ние конструкции и повышение быстроты действия. 20

Указанная цель достигается тем. что в диффузионном вакуумном насосе, содержа- .. щем корпус, установленную в неМ конденсационную панель и концентрична расположенные перед панелью экраны и 25 размещенные между ними рабочие сопла, корпус снабжен дополнительными соплами, расположенными на его внутренней поверхности под углом к оси насосе.

На фиг. 1 изображен продольный раз- 30 рез описываемого насоса. на фиг, 2 — вид А на фиг, 1.

Диффузионный вакуумный насос содер жит корпус 1, установленную в нем конденсационную панель 2 и концентрично 35 . расположенные перед панелью экраны 3 и размещенные между ними рабочие сопла 4.

Корпус 1 снабжен дополййтельными соплами 5, расположенными на его внутренней поверхности под углом к оси насоса. К поло- 40 сти корпуса 1 подключен форвакуумный насос 6, Насос работает следующим образом.

Форвакуумным насосом 6 вакуумированный объем откачивается до давления запуска диффузионного насоса (Ьбычно 10

10= Topp). после чего захолаживаются жидким азотом экраны 3 и панель 2. В сопла 3 и

5 подается рабочее тело, например двуокись углерода, которое истекает из сопел в направлении панели 2. Откачиваемый газ диффундирует в с рую рабочего газа. снижается ею и переносится в сторону форвакуумного насоса 6. Рабочее же тело, соприкасаясь с холодными поверхностями экранов 3 и панели 2. десубпимируется и накапливается в виде слоя десублимата. Механизм действия струй рабочего тела, истекающих из дополнительных сопел 5, аналогичен описанному, кроме того, они взаимодействуют не с двумя вымораживавщими поверхностями экранов 3, а только с наружной поверхностью внешнего экрана

3. В отучив от азотоохлаждаемой поверхности экранов З.стенка корпуса 1 может стать источйиком обратного потока рабочего тела в откачиваемый объем. Этот пристеночиый поток .уменьшается установкой непосредственно внутренней поверхности корпуса:дополнительйых сопел:5.

Откачивающая способность этих сопел реализована в большей степени при развороте их под углом к оси насоса с одной стороны, а с другой — будет уменьшен выброс рабочего тела в форвакуумную магистраль.

Taxis образом, установка дополнительных сопел в полости между внутренней поверхностью корпуса экраном позволяет устранить переток газа из форвакуумной полости в высоковакуумную. (56) Отчет СКБ "Знергохиммаш", ВНТИЦ, N 6882999, Новосибирск, f980.

- 1642397

Редактор Н. Колоскова Техред M. Моргентал Корректор А,.ОбРУ" а

Заказ 3181

Тираж Подписное

НПО "Поиск" Роспатента

113035, Москва, Ж 35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул.Гагарин, 101