Криосорбционный насос

 

1. КРИОСОРБЦИОННЫЙ НАСОС по авт. св. № 566958, о г п и чающийся тем, чго, с цепью повышется сгрооействия, он снабжен рао положенными в сосуде по окружносги грубками .а лабиринтный канал для газа подключен к патрубкам при помозди этик трубок. 2. Насос по п. 1, отличающие с я тем, что трубки выпопнены криволинейными и закреплены в торцовых стенках сосуда. (Л с

СОЮЭ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧИжИХ

РЕСПУБЛИН

„.SU„„020633

3 ) Р 04 В 37/02

ГОСУДАРСТОЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

4 Ф

1с

Н АВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛ»ТВУ (54)(57) 1. КРИОСОРББИОНИЫЙ НАСОС по авт. св. % 566958, о т л ич а ю шийся тем, что, с целью повышения быстродействия, ои снабжен рас» положенными в сосуде по окружности грубками, а лабирингный кана» для газа подключен к паг рубкам при помощи эгык трубок.

2. Насос по н. 1, о г и и ч а ю— шийся тем, что трубки выполнены криволинейными к закреплены в гориомик стенках сосуда. (61 ) 566958 (21 ) 34055 92/25-06 (22) 01.03.82 (46) 30.05.83. Бюп. ¹ 20 (72) И.Д.Абушенков, В. К. Чернецкий и B. Я.Ильичев (71 ) Физико-технический - институт низких температур АН Украинской ССР (53) 621.527.8 (088.8) (56) 1. Авторское свидетепьсгво СССР

% 566958, кл. Р 04 В 37/02, 1975.

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ,,"-: -:; „..:" "

Ф 1020

Изобретение относится к вакуумной технике.

По основному авт. св. М 566958 известен криосорбционный насос, содержащий корпус с периферийным патрубком ввода откачиваемого газа и йентрапьным отводным патрубком и. размещенные в корпусе охлаждающий элемент и слой сор- 0 бента, при этом охлаждающий эпемент. выполнен в виде сосуда с коакциапьными выступами, входящими в спой сорбента с образованием пабиринтного канала дпя газа, подкпюче.нного к патрубкам (1).

Недостатком известного криосорбционного насоса является то, что откачиваемый газ, поступающий от вакуумируемого объекта к сорбенту, имеет сравнительно высокую (комнатную) температуру и молекулы газа обладают большой энергией, вследствие чего сиижается быстродействие насоса, поскопьку мопекупы .теппого газа плохо поглощаются сорбентом.

Uenb изобретения - повышение быстро- 5 действия насоса.

Указанная цепь достигается тем, что криосорбционный насос, содержащий корпус с периферийным патрубком ввода откачиваемого газа и центральж м отвод« ным патрубком. и размещенные в корпусе охлаждающий элемент и спой сорбента, при этом охлаждающий элемент выполнен в виде сосуда с коаксиапьными выступами, входящими в спой сорбента с образованием пабиринтного канала дпя газа, подкпюченного к патрубкам, снабжен расположенными в сосуде по окружности трубками, и пабиринтный канал для газа пошслючен к патрубкам при помощи этих трубок.

Трубки могут быть выполнены криволинейными и закреплены в торцовых стенках сосуда.

На фиг. 1 изображен предлагаемый насос,- продольный разрез; на фиг. 2 «4> разрез А-А на фиг. 1.

Криосорбционный насос содержит корпус 1 с периферийным патрубком 2 ввода откачиваемого газа и пентрапьным отводным патрубком 3, и размещенные в 50

633: 2 корпусе 1 охпаждающий элемент и спой сорбента 4. Охлаждающий элемент выполнен в виде сосуда 5 с коаксиапьными выступами 6, входящими в спой сорбента

4 с образованием пабиринтного канала для газа, подкпюченного к патрубкам 2 и 3. Насос снабжен расположенными в сосуде 5 по окружности трубками 7. Ла биринтный канал дпя газа подключен к патрубкам 2 и 3 при помощи трубок 7, которые выполнены кривопииейными и закреплены в ToplloBblx стенках сосуда 5.

Криосорбционный насос работает следующим образом.

Охпаждаемый сорбент 4 поглощает газ, находящийся внутри: корпуса 1 насоса, в результате чего в нем возникает вакуум, и газ от вакуумируемого объекта начинает поступать через патрубок 2 в насос.

При достижении вакуума на выходе начинает работать диффузионный насос (не показан), который создает на выходе криосорбционного насоса давление меньше, чем на входе. Благодаря полученной разности давпейий цоток газа последователь но прокачивается через трубки 7 и лабиринтный канал, Молекулы откачиваемого газа, проходя через трубки 7, выполненные кривопинейными, т,е. оптически непроницаемыми, испытывают многократные столкновения с охлажденными внутренними поверхностями упомянутых трубок, обмениваясь с ними энергией, т.е. охлаждаясь. При этом газ охлаждается до температуры, бпизкой к температуре жидкого хпадагента, энергия молекул газа уменьшается, в результате чего он более эффективно поглощается сорбентом 4, и увеличивает быстродействие криосорбционного. насоса. Благодаря большому числу трубок 7 обеспечена высокая проводимость теплообменника.

Таким образом, в предпагаемом криосорбционном насосе повышено быстродействие благодаря предварительному охлаждению мопекуп откачиваемого газа в трубках, помещенных в сосуде с жидким хпадагентом.

1020633

Составитень О. Тишина

Редактор A. Лежнина Техред В.йалекорей Корректор А Ференп

Заказ 3871/32 Тираж 665 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по депам изобретений и открытий

113035, Мосжва, Ж-.35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, у . Проектная, 4