Установка для откачки галогеносодержащих агрессивных газов и паров

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К, АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ >964223

Союз Советских

Социалистических республик (6t } Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 09.03.81 (2! ) 325842@ 25 08 с ярксоединеиием заявки Ж (23) Приоритет

Опубликовано 07. 10.82. Бюллетень М37

Дата опубликования описания 10.10.82 (5l)M. Кл.

F 04 В 37/02

Ркудвретвииай комитет вел аю делен изебретений и открытий (53) УДК 621.528..3 (088.8) !

В. А. Дубинский, В. A. Лавыгин и А. M. Кук кян ".,,,()ЯЗЫБАЯ

" 1".Ь Х.1

) л .ь.у <д,У-qРЯ в" (72) Авторы изобретения (7I) Заявитель

БййЛИОТЕК4 (54) УСТАНОВКА ДЛЯ ОТКАЧКИ ГАЛОГЕНС(ЯЕРЖАШИХ

АГРЕССИВНЫХ ГАЗОВ И ПАРОВ

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к устройствам для от-

- качки агрессивных газов н паров.

Известна откачная установка, содерлешая механический вакуумный насос, 5 вход которого подключен к реципиенту через фильтруюшее устройство, выполнен1 ное в виде по меньшей мере двух параллельно соединенных адсорбцнонных ловушек, снабженных системой регенерации и автоматической запорной арматурой, с приводами $1) .

Недостатком известной установки яи ляются невысокая экономичность и воэможность загрязнения окружаюией среды галогенсодержашнми газами и парами при насышении ловушек.

1?ель изобретения - повышение экономичности и исключение загрязнения окружаюшей среды. го

Укаэанная цель достигается тем, что на входе насоса установлен индикатор галогенов, связанный с приводами запорной арматуры, при этом индикатор выполнен в виде платинового диода.

На фиг. 1 представлена схема установ— ки; на фиг. 2 — блок-схема управления приводами запорной арматуры.

Установка для откачки галогенсодержащих агрессивных газов и паров содержит механический вакуумный насос 1, вход которого подключен к реципиенту через фнльтрующее устройство 2, выполненное в виде по меньшей мере двух параллельно соединенных адсорбционных ловушек 3 и

4, снабженных системой регенерации и автоматической запорной арматурой 5 ).Й с приводами, расположенной на трубопроводах фильтруюшего устройства 2, причем на входе насоса l установлен индикатор

13 галогенов, связанный с приводами запорной арматуры. В случае использования в качестве индикатора галогенов платинового диода 14 связь осушествляется электрически согласно блок-схеме, включаюшей блок 15 питания системы автоматики, 223 двухпозиционное распределительное устройство 16 (нанример, триггер), усилительФормирователь 17 сигнала платиново.

ro диода и приводы 18 и 19 t арматуры.

Установка работает следующим образом.

В начальный момент распределительное устройство находится в одном из двух возможных положений. При этом запорная арматура 5, 6, 10 и 12 открыта, 7, 8, 9 и 11 закрыта. Откачка газов механическим насосом 1 осуществляется через ловушку 3. Ловушка 4 проходит регенерацию, например, нагревом при помощи продувки горением воздухом. При насыщении адсорбента в ловушке 3 галогенсодержащие газы попадают на вход насоса 1. Индикатор 13 галогенов (в частности, платиновый диод 14) реагирует на содержание галогенов путем изменения своих характеристик (ток диода 14 резко возрастает). Это изменение через усилитель-формирователь 17 вызывает переход распределительного устройства 16 во второе устойчивое состояние, что приводит к закрытию вентилей 5, 6, 10, 12 и открытию 7, 8, 9, 11. Далее откачка происходит через ловушку 4, а ловушки 3 проходят регенерацию. В результате

4 галогенсодержащие газы практически ие попадают в атмосферу, а установка работает в автоматическом режиме.

5 Формула изобретения

1. Установка для откачки галогенсодержащих агрессивных газов и паров, содержащая механический вакуумный насос, 10 вход которого подключен к реципиенту че» реэ фильтрующее устройство, выполненное в виде по меньшей мере двух параллельно соединенных адсорбционных ловушек, снабженных системой регенерации и автоматической запорной арматурой с приводами, отличающаяся тем, что, с целью повышения экономичности и исключения загрязнения окружающей среды, на входе насоса установлен индикатор гало« генов, связанный с приводами запорной арматуры.

2. Установка по и. 1, о т л и ч а ющ а я с я тем, что индикатор галогенов выполнен в виде платинового диода.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Волчкевич А. И. Высоковакуумные адсобционные насосы. М., "Машинострое

gp ние", 1973, с. 148.

964223

Составитель B. Крякоекин

Редактор В. Пилипенко Техреду М.Тепер Корректор N. ДемчикЗаказ 7584/8 Тираж 678 П одлисное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, (Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4