Вакуумная система

 

ОП ИСАНИЕ

Союз Советских

Социалистических

Ресвублик

„„987168

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. саид-ву— (22) Заявлено 23.12.81 (21) 3367047/25-06 с присоединением заявки №вЂ” (51) М.К .

F 04 В 37/02

ГееудвРстееавм кемнтет (23) Приоритет—

Опубликовано 07.01.83. Бюллетень № 1

СССР (53) УДК 621.527..8 (088.8) IN делам «зебретенвй и етермтий

Дата опубликования описания 17.01.83 (72) Авторы изобретения

В. А. Кулик, А. Д. Хабаров и 1О. В. Фад (7!) Заявитель (54) ВАКУУМНАЯ СИСТЕМА

Изобретение относится к вакуумной технике.

Известна сорбционная ловушка, содержащая цилиндрический корпус с входным и выходным патрубками и расположенный в нем сорбент в виде металлических пластин с нанесенным с обеих сторон слоем сорбент а (11.

Недостатком известной сорбционной ловушки является малая проводимость Увеличение проводимости можно достичь уменьшением количества пластин, но это приводит к снижению защитных свойств ловушки.

Наиболее близкой к предлагаемой по технической сущности является вакуумная система, содержащая вакуумный насос и подсоединенную к откачиваемому объему и насосу сорбционную ловушку с размещенным на сетке сыпучим сорбентом и соосно расположенными нижним и верхним патрубками (2) .

Недостатком известной ловушки является ее постоянная проводимость во всем интервале давлений в откачиваемом объеме, в то время как вылет частиц масла из насоса резко возрастает с уменьшением дав2 ления. Резкое возрастание, например для форвакуумных насосов происходит в интервале от 10 мм рт. ст. до предельного.

В известном вакуумном устройстве на каждую частицу сорбента кроме гравитационных сил действует напор откачиваемого газа, особенно сильный в начальный период откачки в интервале от 760 до 150 †1 мм рт. ст. В результате этого напора сорбент уплотняется, просветы между его отдельными элементами уменьшаются, что ведет соответственно к увеличению сопротивления ловушки

Кроме этого, неподвижный сорбент в этой ловушке плохо подвергается регенера15 ции.

Цель изобретения — интенсификация процесса откачки путем увеличения проводимости ловушки.

Указанная цель достигается тем, что ловушка подсоединена к откачиваемому объему и насосу соответственно нижним и верхним патрубками, а в нижнем патрубке размешен дросселирующий элемент.

На чертеже изображена схема предлагаемой вакуумной системы.

987168

Формула излбретения л отюочиФаеиоиу юАету

Вакуумная система содержит вакуумный насос 1 и подсоединенную к откачиваемому объему и насосу 1 сорбционную ловушку 2 с размещенным на сетке 3 сыпучим сорбентом 4 и соосно расположенным нижним и верхним патрубками 5 и 6.

Ловушка 2 подсоединена к откачиваемму объему и насосу 1 соответственно нижним и верхним патрубками 5 и 6. В нижнем патрубке 5 размещен дросселирующий элемент 7 с подвижными экранами

8. В насосе предусмотрена защитная сетка 9.

Система работает следующим образом.

Поток газа от откачиваемого объема, двигаясь снизу вверх, воздействует на каждую частицу сорбента 4, его плотность при этом уменьшается, проводимость возрастает. При дальнейшем падении давления от

150 —.100 мм рт. ст. до предельного (10 мм рт. ст) сила напора откачиваемого . газа практически перестает действовать на сорбент 4, который возвращаясь в исходное состояние, под действием гравитационных сил создает плотную пористую структуру, увеличивая защитные свойства.

В процессе регенерации сорбента 4 дроссепирующий элемент занимает положение I при этом экраны 8, сходясь вместе, концентрируют поток газа из откачиваемого объема в центре сорбционной ловушки 2. Когда процесс регенерации окончен, дросселирующий элемент 7 занимает положение II. Экраны 8 при этом разводятся в стороны.

Предлагаемая вакуумная система позволяет в 2 — 3 раза увеличить скорость откачки в интервале давлений от 760 до

150 — 100 мм рт. ст. и уменьшить время регенерации сорбента. по сравнению с известной вакуумной системой.

1. Вакуумная система, содержащая вакуумный насос и подсоединенную к откачиваемому объему и насосу сорбционную

15 ловушку с размещенным на сетке сыпучим сорбентом и соосно расположенными нижним и верхним патрубками, отличающаяся тем, что, с целью интенсификации процесса откачки путем увеличения проводимости ло20 вушки, последняя подсоединена к откачиваемому объему и насосу соответственно нижним и верхним патрубками.

2. Система по п. 1, отличающаяся тем, что в нижнем патрубке размещен дроссели рую щий эле ме нт.

25 Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР № 171499, кл. F 04 В 37/02, 1964.

2. Патент Великобритании № 1340876, кл. F 1 N, 1973.

ВНИИПИ Заказ 10248/14

Тираж 662 Подиисное

Филиал ППП <Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Вакуумная система Вакуумная система 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к вакуумной и криогенной технике и может быть использовано как в вакуумных насосах для получения глубокого вакуума, так и в рефрижераторах криосорбционной откачки рабочего тела, в частности для откачки 3He в рефрижераторах растворения

Изобретение относится к системам ультравысокого вакуума для обработки полупроводникового изделия, к геттерным насосам, используемым в них, и к способу обработки полупроводникового изделия
Изобретение относится к способам вакуумирования гермообъемов и преимущественно может быть использовано в холодильной, морозильной технике и устройствах кондиционирования и осушения воздуха с использованием термоэлектрических модулей на эффекте Пельтье, а также в измерительной технике, радиоэлектронной аппаратуре электровакуумных приборах и т.д
Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к сорбционным (геттерным) насосам, и может быть использовано в вакуумных системах водородных стандартов частоты

Изобретение относится к криогенной технике, а именно к адсорбционным насосам, предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газа из замкнутых объемов

Изобретение относится к насосам, работа которых основана на хемосорбции и предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенных для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенных для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов
Наверх