Устройство для контроля контактирования зондовых установок

 

СОНИ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

093 (И}

ЗСЮ G 6 F 11 ОО

Г "

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (2l) 3376 851/18-24 (22) 07. 01. 82 . (46) 15.06.83. Бюл. 9 22 (72) Д. И.Ажоткин, М. С.Кушуль, И.N.Óãëåâà и Л.C .Ôàéãðíáàóì (53) 621 ° 317 ° 799: 621.3066 (088. 8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР по заявке le 2507431, кд,,G 06 F 15/46, 1976;

2. Авторское свидетельство СССР

Р 472346, кл. G 06 F ll/00,1972 (прототип). (54)(57) 1.УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ

КОНТАКТИРОВАНИЯ ЗОНДОЭЫХ УСТАНОВОК, содержащее зонды, соединенные. с контактами исследуемой интегральной схеМы измерительный Узел, группу реле, элемент НЕ-ИЛИ, триггер источиик напряжения и группу резисторов, причем переключающий контакт каждого реле соединен с соответствующим зондом, размыкающий контакт -" c. соответствую- щим входом группы входов измерительного узла, а замыкающий контакт через соответствующий резистор группы— с выходом источника напряжения, о т. л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения производительности: устройства, в него введены два элемента И, элемент НЕ, ключ, элемент .

ИЛИ, узел синхронизации, счетчик и груйпа.убилителей, причем входы элемента НЕ-NJIH через соответствующие усилители группы подключены к затикаю щим контактам реле группы,а выходк первому входу первого элемента И и через элемент НЕ к первому входу второго элемента-И, тактовый выход узла синхронизации соединен с вторыми входами первого и второго элемен тов И, выход переключения режима через ключ — с обмотками реле группы, тактовый вход — с синхронизирующим

:входом устройства, вход блокировки— с выходом триггера, первый вход сброса — с выходом второго элемента И, входом сброса счетчика и входом пуска измерительного узла,а второй вход .:сброса - с входом сброса устройства

:и входом сброса триггера, вход установки .которого подключен к выхо у счетчика,соединенного счетным, I входом с выходом первого элемента И и первым входом элемента ИЛИ, второй вход которого подключен к выходу из,мерительнбго узла, а выход — к выходу сигнала Брак™ устройства.

2 ° Устройство поп. 1,о т л и ч ай ю щ е е с я тем, что узел синхрони» аации содержит элемент И, триггер режима контроля н элемент задержки,при- . 9eeak .чем вход установки триггера режима кон-,файв троля соединен с выходом элемента И и через элемент задержки с тактовым выхо-.. ф© .дом узла, первый и второй входы сброса ". фе.к ,соответственно:с первым и вторым

;входами сброса; узла, а выход — с выходом переключения режима узла, первый и второй входы элемента И подключены соответственно к такто- 3Я вому входу и входу блокировки узла.

1023332

Изобретение относится к вычислительной технике и может быть исполь= ковано в автоматизированных устройствах контроля интегральных схем.

Известны устройства для контро» ля микросхем, содержащие контактирующий блок, включающий по два зонда на каждый контакт испытуемой микросхемы, соединенных через кон- . такты реле с измерительным узлом и выходами блока коммутации, пер« выми выходами подключенных к соответствующим входам блока индикации, блок ввода программы, блок управления, блок анализа годности, блок формирования воздействий и распределитель11 .

Недостаток этих устройств состоит в больших аппаратурных затратах.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности является устройство контроля контактирования зондовых установок, содержащее головки с зондами, соединенные с .контактами исследуемой интегральной схемы, измерительную схему, группу реле, элемент НЕ-ИЛИ, триг гер,источник напряжения и группу резисторов, причем подвижные контакты реле группы соединены с зондами головок, нормально замкнутые контакты — с группой входов измерительной схемы, а нормально разомкнутые контакты — с группой входов элемента НЕ-ИЛИ и через резисторы группы — с выходом источника напряжения, выход элемента

НЕ-ИЛИ соединен с входом триггера.

Общая шина интегральной схемы с помощью зонда соединяется с земляной шиной. При отсутствии контакта между зондом и контактной площадкой контролируемой интегральной микросхемы (ИС) вырабатывается сигнал, Фиксируемый триггером запрещающим дальнейший контроль микросхемы. При контроле интегральных схем сигнал Отсутствие контактирования может появляться на краю пластины (когда еще не сработал датчик края пластины), а также при технологическом браке. нанесения контактных площадок (2

Однако известное устройство харакч теризуется. низкой производительностью, так как при контроле контак-. тирования выдается сигнал на прекращение контроля ИС и останОв перемещения зондовой установки к следующей микросхеме или к следующему ряду на пластине, когда причиной .остановки является не сбой иглы зон да или шага перемещения, а выход зондовой установки на край пластины и,зачастую, связанный с ним технологический брак — отсутствие контактной площадки ИС, оператор вынуж ден при каждом останове производить, повторный запуск автомата. Это приводит к простоям аппаратуры контроля1

ИС и дополнительной нагрузке оператора.

Целью изобретения является повышение производительности устройства за счет сокращения времени простоя зондовых установок.

Поставленная цель достигается тем, что в устройство, содержащее

10 зонды, соединенные с контактами исследуемой интегральной схемы, измерительный узел, группу реле, элемент НЕ-ИЛИ, триггер, источник ,напряжения и группу резйсторов, причем переключающий контакт каждого реле соединен с соответствующим зондом, размыкающий контакт — с соответствующим входом группы входов измерительного узла, а замыкающий

20 контакт через соответствующий резистор группы — с выходом источника напряжения, введены два элемента И, элемент НЕ, ключ, элемент ИЛИ, узел синхронизации, счетчик и группа усилителей, причем входы элемента HE-ИЛИ через соответствующие усилители группы подключены к замыкающим контактам реле группы,а выход — к первому вхо- ду первого элемента И и через элемент НЕ к первому входу второго эле-, мента- И, тактовый выход узла синхро» низации соединен с вторыми входами первого и второго элементов И,выход переключения режима - через ключ - с обмотками реле группы, тактовый входс синхронизирующим входом устройства, вход блокировки — с выходом триггера, первый вход сброса — с выходом второго элемента И, входом сброса счетчика и входом пуска из40 мерительного узла., а второй вход сброса — с входом сброса устройства и входом сброса триггера, вход установки которого подключен к выходу счетчика, соединенного счет45 ным входом с выходом первого элемента И и первым входом элемента

ИЛИ, второй вход которого подключен к выходу измерительного узла,а вы,ход - к выходу сигнала Брак

5р устройства.

Кроме того, узел синхронизации содержит элемент И, триггер режима контроля и элемент задержки, причем вход установки триггера режима контроля соединен с выходом элемента И и через элемент задержки с тактовым выходом узла, первый и второй входы сброса-соответственно с первым и вторым входами сброса. узла, а выход — с выходом переб0 ключения режима узла, первый и второй входы элемента И подключены соответственно к тактовому входу и входу блокировки узла.

На чертеже представлена блок65 схема устройства.

1023332

35 роля ИС.

Устройство содержит исследуемую интегральную схему 1, контактные площадки которой с помощью зондов

2 — 6 подключаются через контакты

7 — 10 реле к группе. входов измерительного узла 11 и через резисторы

12 - 15 к выходу 16 источника напряжения (не показан), элемент НЕИЛИ 17, триггер 18, узел 19 синхронизации, включающий элемент И 20, триггер 21 режима контроля и элемент задержки 22, ключ 23 включения обмоток 24 - 27 реле, усилители 2831 группы, первый элемент И 32, элемент НЕ- 33, второй элемент Й 34,элемент ИЛИ 35, счетчик .36, кнопка Сброс 37, с помощью которой выдается сигнал на вход сброса уст рой гтва.

Устройство работает следующим образом.

Кремниевая неразрезная пластина с интегральными схемами закрепляется на координатном столе зондовой установки. координатный стол зондо вой установки с пластиной подводит очередную ИС 1 к иглам зондов.2 - би поднимается, Осуществляя контакт игл с контактными площадками ИС. При этом из узла 19 эондовой установки . выдается тактовый импульсный сигнал Подъем координатного стола ., поступающий на элемент И 20. Этот сигнал перебрасывает триггер .21 и через ключ 23 замыкает цепь питания обмоток 24 — 27 реле, переключая контакты 7 — 10 реле в положение контроля контактирования (указано на чертеже) ° Таким образом, зонды

3 - б подключаются через резисторы

12 - 15 к выходу 16 источника напряжения,.и к входам усилителей 28 — 31.

При наличии контактов игл зондов

3,4,5 и б с площадками ИС через резисторы 12 — 15,охранные диоды

ИС (не показаны), общую шину ИС и зонд 2 потечет ток на землю.На входах усилителей 28 — 31 возникает уровень .низкого напряжения, переда-. ваемЫй на входы элемента НЕ-ИЛИ 17..

Высокий уровень напряжения с элемента НЕ-ИЛИ 17 поступает на элемент

И 32, а через элемент НЕ 33 — низкий уровень напряжения на элемент И 34 °

На другие входы элементов И 32 и 34

4 приходит импульсный сигнал с выхода элемента задержки 22. Величина sa держки должна обеспечить анализ состояния элемента НЕ-ИЛИ 17 к моменту переключения контактов 7 - 10 всех реле и успокоения игл зондов

2 — б. При наличии всех контактов совпадение низкого уровня напряжения и импульса на элементе И 34 ведет к сбросу триггера 21, обесто10,чиванию обмоток 24 — 27 реле и запуску измерительного узла 11. При отсутствии хотя бы одного иэ контактов на выходе элемента НЕ-ИЛИ 17

Остается. уровень низкого напряжения. На выходе элемента И 32 появляется импульс, идущий на эле.мент ИЛИ 35, на выходе которого формируется сигнал Брак, и на вход счетчика 36. Сигнал Брак, попадая в зондовую установку, обеспечивает маркировку этой ИС как бракованной и переход к следующей

ИС. При наличии контакта по всем эон— дам счетчик 36 сбрасывается; импульсом с элемента И 34. При повторном отсутствии контакта счетчик 36 eve наращивается на единицу и так до . тех пор, пока импульс переполнения счетчика 36 не Перебросит триггер

18, а уровень высокого напряжения с.него не заблокирует элемент И 20.

В этом случае требуется вмешательст» во оператора, который, проверив ОТФ, сутствие сбоя в шаге зондов установ ки или сбоя иглы какого-нибудь зонда,. нажатием кнопки Сброс 37 сбрасывает триггер 18.и запускает зондовую установку. Разрядность счет,,чика 36 может быть произвольной в ,:зависимости от разрешенного числа

4() схем, бракуемых по отсутствию кон,тактирования.

Таким образом, предлагаемое устройство позволяет исключить оста новки и простои зондовой установки

45 при случайнОм Отсутствии контактиро» вания (край пластины и отсутствие контактной площадки отдельных ИС в результате технологического брака), что способствует повышению ,эффективности использования автомати ческого измерительного оборудования и ,.снижению трудоемкости операций конт-

1023332 о

Составитель В,Вертлиб

Редактор М.Бандура Техред М.Гергель Корректор Г. Огар

Заказ 4214/34 Тираж 706 Подписное

ВИИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

ll3035, Москва, Ж-35, Раутаская наб., д. 4/5 филиал ППП Патент, r. Ужгород, ул. Проектная, 4