Электронный микроскоп

 

1. ЭЛЕКТРОННЫЙ МИКРОСКОП) сооержапфгй niedctpoi9 коялрну каркас и среаства амортизации и демпфцровадвя колебаний, отличающийся тем, что, с целью уменьшения габаритов и веса, электрондо-оптическая KojjoHaa аа1феплена в гор онтальном положении в средствах амортизации, которые вьшсшнены в ввде, по крайней мере, одной кольпевой пружшш , зажатой через прокладки из демпфиропсяцего материала между фиксируюитмн пластинами. , 2. Микроскоп по п. 1, о т л и ч а ю 1Д и и с я тем, что, по крайней мере, одна из фиксируюнжх пластин представляет собой элемент каркаса.

3ga.Н 01 У 37 /2-6

ГОСУДАРСУИЩННЙ ИФЛИ,,Р; QCCP .Ю М 39CIINEIМФ Й

ОЛИМНИЕ ::::ИЗОБРЕТЕНИ, " н ABTQpcNQIAt..сбидительс7 Ву (21) 2612001/1З-4,8 - :.. . моллону„ каркас и срепства амортизации (22) .22.05, 78 .. :-. .- - .. .. ., и демпфнрования колебаний,.о т л и (46) 15,06.83.. Бари, j4. 22 : - - ..: .. ч а ю:N "и- й:с-я тем, что, с целью. (72) Н. И. Коняк,. К, А, Иаквров, - .:- esiuiemji габаритов и. веса, электронВ. И. Мораэс и А. Ф. Пайов - : ..:,нс ™ птиче:-кая колонна аакреплена в г (53)- 537е 533 3(О888) . : .. : ;:, ... У " та" ном положении в средсущц (56) 1. Патент ClQA -34 3835320, -:: - @ оР изацни которые выполнены в виде, .«л, 250-311,,опубли.— 3874.— -:: . © крайней мере,, одной кольцевой пру.. 2. JEQ1., Èåñtãáï:i:r, ИФсеоасОре -: ..::жины, зажатой через прокладки из демп-.

and Х.-i4iy Hf:cmWa)."yiar- . Век34а .. фйрующего материала между фиксирующиМо 682. 2 l 7- 12 Тр .ЙИап : Ю есйгой Ор-.: ми:пластщ ми. й!са Laboratbry Со, -1Ф4 ::р;.;3:М-f$, .... 2. Микроскоп по п. 1, о: т л и ч а:(прототип). .:..:: .:: — -: -, -. .. ю шийся тем, что, по крайней мере, „(54), (57) 1. . ЭЛЕКТРОЙЙЫЙ. МИКРО;- ., одна из. фиксируюиах пластин представля, СКОП, содержащий электроййо-оптИчесЮю ет собой элемент каркаса.

Ь

В

4 . 0

1 10234

Изобретение относится и электронным

МНКросКопАМ и рентгеновским микроанализаторам.

Известны электронные микроскопы, содержащие вертикальную электронно-оптическую колонну, каркас и средства демпфирования, выполненные в виде деформируемых камер с демпфируюшей жидкостью fl) .

Известные микроскопы характеризуют- 10 ся большими габаритами и весом.

Наиболее близким к изобретению техническим решением является электронный микроскоп, типа 3 ЕМ3ОВ и g ЕМ50, содержащий наклонную электроннр-опти- 15 ческую колонну, каркас и средства амортизации н демпфирования, обеспечивающие нечувствительность микроскопа к обычным колебаниям зданий 2) .

В этом микроскопе электронно-оптическая колонна закреплена в каркасе жест ко, а амортизация и демпфирование осуществляется по отношению к каркасу и колонне в целом, что увеличивает вес и габариты устройства, хотя микроскопы данного типа обладают лучшими весовыми характеристиками, нежели рассмоъренные.

Бель изобретения - уменьшение габаритов и веса электронного микроскопа. Поставленная цель достигается тем,,что s электронном микроскопе, содержащем электронно-оптическую колонну, каркас и средства амортизации и демпфирования колебаний, электронно-оптчческая колонна закреилена в горизонтальном положении в средствах амортизации, которые выполнены в виде, по крайней мере, одной кольцевой пружины, зажатой через прокладки иэ демпфируюшего материала 4 между фиксирующими пластинами.

При этом, по крайней мере,,одна иэ фиксирующих пластин представляет собой

-элемент каркаса. Диам етр кОльБ вых пру ин не О ра 45 ничен габаритами прибора и выбран из условия максимального снижения (до единиц герц) собственной частоты колебаний системы колонна-пружина. Предложенная конструкция позволяет при горизонтальном положении электронно оптической колонны в условиях малых габаритов прибора уменьшить расстояние между амортизаторами и центром тяжести колонны и применить амортизаторы сравнительно большой длины (диаметр колеи) с улучшенным, по сравнению с прототипом, демпфированием. В условиях переносного, малогабаритного прибопа все ска45 2 занное позволяет реализовать все параметры, являющиеся следствием улучшенной системы амортизации и демпфирования.

На фиг. 1 и 2 изображен электронный микроскоп> общий в щ в двух проекциях.

Электронный микроскоп содержит электронно-оптическую колонну 1 с держателем образцов 2, укрепленным в камере образцов 3, расположенную горизонтально и подвешенную к каркасу 4 с помощью бандажа 5. через кольцевые пружины 6. Кольцевые пружины 6 прижаты к боковым стойкам каркаса 4 пластинами 7 через демпфируюшие прокладки

8. Пластины 7 крепятся к каркасу 4 винтами 9. Каркас 4 с амортиэируемой частью электронно-эондового устройства установлен на столе 10, играющем роль фундамента. Диаметр кольцевых пружин 6 и их предварительное растяжение выбраны, исходя иэ известного соотношения

Я вЂ” -""Ô 8 i о где - собственная частота колебаний о упругой системы, Ги, f > - частота колебаний возмущаю-. щей силы, Ги;

И - осддка упругого элемента, см.

Таким образом, собственная частота колебаний упругой системы колонна 1кольцевые пружины 6.в несколько раэ ме ныне частоты вынужденных колебаний, вызываемых возмущающими силами внешнего происхождения. Демпфирующие прокладки 8 выполнены из материала с повышенными внутренними потерями, например из войлока, паралона и др.

Вертикальная возмущающая сила, действующая на каркас 4 и верхние части кольиевых пружин 6 с частотой, превышающей собственную частоту колебаний упругой системы, деформирует пружины таким образом, что амплитуда колебаний нижних частей кольцевых пружин 6 so много раэ меньше амплитуды колебаний каркаса 4 и верхних частей кольцевых пру. жин 6.

Благодаря этому возможно повысить разрешающую способность переносного малогабаритного электронного микроскопа, так как при работе на предельных разрешениях основным ограничивающим . фактором является вибрация электроннооптической колонйы и держателя образцов.

При возникновении колебаний колонны 1

3 1023445 4 под действиеМ ударов и толчков с собс го: рения в материале демпфера,.что привенной час.готой колебаний системы, . водит к успокоению системы. кольцевые пружинй 6 также деформирую в1

Горизонтальная подвеска электроннося из-<за действия. на них возмущаюшей оптической колонны на плоских кольцевых . силы со стороны колонны 1, При дефор- 5 пру кинах большого диаметра при испольмации кольцевых пружин 6 боковые их зовании деформации кольцевых пружин участки смешаются относительно пластин для эффективного демпфирования позволя 7. и каркаса 4, воздействуя на прокладки ет создать малогабаритный переносной

S, Энергия колебаний колонны 1 в этом- растровый электронный микроскоп с преслучае расходуется на преодоление вязко- tp дельной разрешакпцей способностью.

Составитель К. Кононов

Редактор T. Парфенова Техред М.Гергель Корректор А, Ференц

Заказ 4224/39 Тираж 703 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д» 4/5

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4