Способ обработки поверхности магнитной головки

 

СПООЗВ ОВРАВОТКИ ПОВЕРХНОСТИ МАГНИТНОЙ ГОЛОВКИ путем напыления нитрила на поверхность магнятной ГОЛОВКИ, о т ля ч а ю щ н и С я тем, что, с аепьп повшения тер мическс стойкости магнитной головки , перед нап1за1ен1

уЯ) 11 Â 5 42

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ GCOP

flO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И OTHPbffHA

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

И АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3395921/18 10 (22) 12.02.82 (46) 07.0?.83. Вюл. В 25 (72) В.Ф. Корзо,- Д.Н. Гогия, В.И.Куб-: рин, Н.Ю. Юснпон, .РюВ Салнй

В..В. Дроздова и М.В.:Качарава (71) Московский авиационный техноло-: гический институт ии. 3(.Ý. ЦиолковскОго (53) 681 ° 84.083,82{088,8) (56) 1. Ефимов Е.г, Магнитные голов- ;. ки, И., "Энергия",. 1967, с. 46.

2. Крюков В.С. Магниторезистивные. головки. - Обзоры по электронной технике, сер. б, вып. 5 (641) 1979, с. 22 (прототип). (54) (57) спосов овииотки повкРхнос 1 И MAl HÈÒÍÎI ГОЛОВКИ путем напыления нитрида кремния на поверхность магнитной головки, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью повьзаения терю ческой стойкости магнитной головки, перед иапыиеииеи нитрида кремния производят азотирование поверхности магнитной головки в тлеющем разряде

s вакууме при 100-150 С в течение

1-3 мин, а после напыления.нитрида кремния производят осажденне ннтрнда бора при облучении гамма-квантами с интенсивностью облучения 5,2 10

8,5 10» см с 1.

1027768

Составитель Ю.-К.Розенкранц

Редактор А. Ворович Техред N.Костик, Корректор С.ШекмаР

Заказ 4749/56 Тираж 594 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретениЯ и открытий

113035, Иосква, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к магнитной записи, а именно к способам обработки поверхности магнитной головки.

Известен способ обработки поверх-. ности магнитной" головки путем шлифовки рабочей поверхности магнитной головки на мелкозернистых абразивнцх элементах, позволяющий получить высокую чистоту обработки поверхности магнитной головки Pi).

Недостаток данного способа состойт в том, что обработанная в соотватствин с ним поверхность магнитной головки не обладает высокой химической стойкостью.

Известен также способ обработки поверхности магнитной головки путем наПыления нитрида кремния на поверхкость магнитной головки. Этот способ

Обеспечивает формирование тонкой

@ЖФткой пленки нитрида кремния на еоаархностн магнитной головки,что нщвволяет получить высокую химическую стойкость последней P2).

Недостаток данного способа состо@т s том, что обработанная в соотзФтствии с нвм поверхность магнитной головки не обладает высокой термической стойкостью. Последнее приводНт к малой термической стойкости .магнитной головки, что ограничивает воэможность ее использования в услоЖМях повышенной температуры.

Цель изобретения - повышение термнческой стойкости магнитной головки, укаэанная цель достигается тем, что согласно способу обработки поверхности магнитной головки путем напыления нитрида кремния на поверхность магнитной головки, перед напылением ынтрида кремния производят аэоткрованне поверхности магнитной головки в тлекщем разряде в вакууме при 100-150 C s течение 1-3 мин, а после напыления нитрида кремния производят осаждение нитрида бора при облучении гаьма-квантами с интенсивностью облучения 5,2 10 — 8,5 х х 10> см с ".

В предлагаемом способе предварительное аэотирование поверхности магнитной головки и осаждение нитрнда бора при облучении гамма-квантами обеспечивает значительное повышенне термической стойкости магнитной головки.

Предлагаемый способ осуществляют следующим образом.

Поверхность магнитной головки, размещенной в вакуумной камере, после дегазации азотируют в вакууме

10 -10 мя рт.ст. в парах азота.

Азотирование поверхности магнитной головки осуществляют при 100-150 С, в течение 1-3 мин. Азотирование при температуре ниже 100 С приводит к снижению адгезии аэотированного слоя к поверхности магнитной голов10 ки, а при температуре выше 150 Ск изменению свойств магнитной головки. Азотирование в течение менее

1 мин и более 3 мин приводит к неоднородности азотированного слоя.

15 После азотирования производят напыление нитрида кремния на поверхность магнитной головки. Напыление нитрида кремния осуществляют в вакуумной камере высокочастотным распылением мишени из кремния в смеси аргона и азота. НаПыление заканчивают при образовании слоя нитрида кремния, толщиной 10-25 нм.

После напыления нитрида кремния производят осаждение нитрида бора в вакуумной камере. Осаждение нитрида бора осуществляют импульсным распылением мишени из бора s napax азота при облучении с помощью рентЭО геновской трубки гамма-квантами С интенсивностью облучения 5,2 . 10

8,5 . 10 см c " . При интенсивности облучения ниже 5,2 ° 10 см с происходит формирование островковых облас35 тей с незавершенной стехиометрией покрытия, а при интенсивности облучения выше 8,5 10 см с — образование структурных дефектов. Облучение гамма-квантами приводит к то4О му, что слой нитрида кремния теряет атомы азота, мигрирующие в глубь поверхности магнитной головки, и в силу большей химической активности перетягивает в себя атомы азота из

45 слоя нитрида бора. В результате этого на поверхности магнитной головки

Формируется пассивирующая пленка, содержащая обедненный азотом слой нитрида бора, служащий надежным диффузионным барьером для всякого рода примесей при повышенных температурах.

Использование изобретения no cpasнению с базовым объектом позволяет в значительной степени повысить тер55 мическую стойкость магнитной головки.