Четырехзондовая головка для измерения удельного сопротивления материала

 

ЧЕТЫРЕХЗОНДРВАЯ ГОЛОВКА 1Ш ИЗМЕРЕНИЕ УДЕЛЬНОГО а ПРОТИВЛЕНИЯ МАТЕРИАЛА, содерЖ Ш1ая корпус, ёояда и токосъемники, установленные на .1 ВСЕСЗШ-Ц , In . . I 11: а;гПч; иь: й I КШ ЛЛ01ЬЯА корпусе, и прижимную систему, о т л и ч а ю щ а я с я тем, что, с целью повышения точности измерения и технологичности конструкции, при- i .жимная система выполнена в виде двух равноплечих изолирующих рычагов, расположенных симметрично относительно токосъемников и опирающихся своими Плечами на середины смежных токосъемников, и чётырехплечёго - . йлЧага, два противоположных Плеча которого шарнирно установлены на корпусе с возможностью в аимодейст ,вия дйух его других противоположных 1плеч с серединаШ изолирующих, рычагов , а смежные токосъемники устанойлены взаимно: перпендикулярно. j

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СФИЮЛИЮ

РЕСПУБЛИН

69 e) М5В Н 014 21/66 601 R 31 26

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ИОМИТЕТ СССР

flO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ ц

: Й ЙВТОРСНОМУ СВИДЕППЬСТВУ (21) 2999124/18 21 .(22) 23.10.80 (46) 15 ° 08.83. Бюл. Ф 30 (74) В.А.шмидт и Д.В. Силир (71) Ордена Ленина физико-технический институт им..А.Ô.Èî@ôå . (53) 621. 396.6-181.48(088.8) (56:) 1. Авторское. свидетельство СССР в 504321, кл. Н 05 K 1/18,,1974.

2 ° Rev. Sc:i . instr « 1966 37,147, 961-962 (прототип ), (54)(57) ЧЕТЫРЕХЭОНДОВАЯ ГОЛОВКА ДЛЯ

ИЗМЕРЕНЩ1 УДЕЛЬНОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ

МАТЕРИАЛА, содержащая корпус, зонды и токосъемники, установленные на корпусе, и прижимную систему, о т л и ч а ю щ а я,с я тем, что, с целью повышения точности измерения и технологичности конструкции, прижимная система выполнена в виде двух равноплечих .изолирующих рычагов, расположенных симметрично относительно токосъемников и опирающихся своими плечами на середины смежных токосъемников, и четырехплечего .. рычага, два противоположных плеча которого шарнирно установлены на корпусе с возможностью взаимодейст,вия двух его других йротнвоположных плеч.с середииамй -HsoaHpyra@sx,ðû÷àmi, а смежные токосъемнккн установлены взаимно перпендикулярно. . ф

1035б83

Изобретение относится к технической физике, метрологии и стандартизации. и может быть использовано в металлургии, электротехнической и электронной промышленности, научно-исследо-. ва ельских учре дениях AH и мвиссо 5 при определении удельного сопротивления материалов (например, полупроводниковых).

Известна конструкция зондового устройства, содержащая корпус, зонды IG и прижимную систему (1J.

Недостатком данной конструкции является то, что невозможно разместить зонды с малым шагом и сложное выполнение прижимной системы. 15

Наиболее близкой к предлагаемой по технической сущности является четырехзондовая головка для измерения удельного сопротивления материала, содержащая корпус, зонды с токосъемниками, установленные на корпусе, и прижимную систему (2).

Недостатком известной конструкции является то, что усилие на каждый .иэ четырех зондов обеспечивается

25 с помощью четырех самостоятельных пружин-токосъемников, т.е ° зависит от неровности контролируемой поверхности, точности регулировки и посто янства упругих свойств пружин.

Цель изобретения - повышение точности измерения и технологичности конструкции.

Поставленная цель достигается, тем, что в четырехэондовой головке для измерения удельного сопротивле- 35 ния материала, содержащей корпус, зонды и токосъемники, установленные на корпусе, и прижимную систему, прижимная система выполнена в виде двух равноплечих изолирующих рычагов, располо енных симметрично .относительно токосъемников и опирающихся своими плечами на середины смежных токосъемников, и четырехплечего рычага, два противоположных плеча 45 которого установлены на корпусе шарнирно с возможностью взаимодействия двух его других плеч с серединами изолирующих рычагов, а смежные токосъемники установл зны взаимно перпендикулярно.

На фиг. 1 приведена четырехэондовая головка для измерения удель-. ного сопротивления материала, общий вид; на фиг. 2 — основание поверхностно-контактной системы с расположенными на нем элементами рычажноконтактной системы..

Четырехзондовая головка содержит корпус 1, нажимную пружину 2, основание 3 .поверхностно контактной системы, точечные зонды 4, держатель

5 поверхностно-контактной. системы, гайку 6, отсчетную шкалу 7, токосъемники 8-11, равноплечие изолирующие рычаги 12-13, четырехплечий рычаг 14, электровводы 15-1 8, контролируемую поверхность 19.

При установлении головки на контролируемой поверхности 19 материала так, что ось симметрии зондов перпендикулярна поверхности и проходит через выбранную точку на поверхности, а на шкале 7 усилий фиксируется заданное усилие на каждый зонд, все элементы прижимной системы приходят во взаимодействие. Усилие, развиваемое прижимной пружиной 2 и прикладываемое через держатель 5 к основанию 3 поверхностно-контактной системы, далее через четырехплечий рычаг 14, изолирующие .рычаги 12-13 . и токосъемники 8-11 равномерно распределяется между зондами, обеспечивая равное и контролируемое усилие на каждый зонд.

Таким образом, использованиЕ предлагаемой эондовой головки для определения удельного сопротивления материала обеспечивает по сравнению с известными повышение точности определения удельного сопротивления (обеспечение равного усилия. на каждый зонд)при температуре отличной от комнатной (нормальной ), определение удельного сопротивления материала при Установке зондовой головки на неплоской поверхности, 1035683

Составитель Е. Гаврилова редактор К. Волощук Техред A.Áàáèíåö Корректор О. Тигор

Заказ 5845/54 Тираж 703 .Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Рауыская наб.. д. 4/5

Филиал ППП "Патент". г. Ужгород, ул. Проектная. 4