Способ контроля геометрических параметров электровакуумных приборов
1. СПОСОБ КОИТГОЛЯ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТЮВ ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫХ ПРИБОРОВ с электронным потоком путем изготовления плоских шлифов продольных и поперечных сечений прибора, измерения геометрических параметров и сравнения с заданным значением , отличающийся тем, что, с целью повышения точности контроля и объективности анализа, до изготовления шлифов создают магнитное поле, перпендикулярное электронному потоку в приборе, перемещают его вдоль оси прибора, снимают характеристики токораспределения между электродами в приборе, определяют область максимального, отклонения токораспределения от нормы и перемешают в этой области магнитное поле вокруг оси прибора, после чего сравнивают полученное токораспредепекие с эталонным и определяют вид нарушения геометрических параметров, а по. области максимального отклонения токораспределения - плоскость сечения для изготовления шлифа. 2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что для создания магнитного поля исполь зуют электроды катодно-сеточного узла в ка (Л честве полюсных наконечников. 4 СП Од
СОЮЗ СОВЕТСНИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ
РЕСПУБЛИК ч1511 Н 01 J 9/42
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМV СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3440180/18 — 21 (22) 19.05.82 (46) 30.09.83. Бюл. 1Ч 36 (72) В. В.Красильников (53) 621.385 (088.8) (56) 1. Лампы приемно -усилительные. Методи. ка определения причин брака. ОСТ 11 ОДО.
330.000.
2. Поляков Г. Ф. и др, Метод контроля и анализа геометрических параметров электровакуумных приборов. — "Электронная техника", сер. 5, 1966, вып. 2, с. 80. (54) (57) 1. СПОСОБ КОНТРОЛЯ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫХ
ПРИБОРОВ с электронным потоком путем изготовления плоских шлифов продольных и поперечных сечений прибора, измерения геометрических параметров и сравнения с заданным значе„„Я0„„1045304 А нием, отличающийся тем, что, с целью повышения точности контроля и объективности анализа, до изготовления шлифов создают магнитное поле, перпендикулярное электронному потоку в приборе, перемещают его вдоль оси прибора, снимают характеристики токораспределения между электродами в приборе, определяют область максимального. отклонения токораспределения от нормы и перемещают в этой области магнитное поле вокруг оси прибора, после чего сравнивают полученное токораспределение с эталонным и определяют вид нарушения геометрических параметров, а по. области максимального отклонения токораспределения— плоскость сечения для изготовления шлифа.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что для создания магнитного поля исполь. Ж зуют электроды катодно-сеточного узла в качестве полюсных наконечников. г;; - ) («„у (?тзобостсн?(с QTI!0cHTcR Злектт)0?(НОЙ (схки!<е
И МОЖСТ бЫТЬ ИСПО!!b30BBHÎ дЛя КОЕТр««ля и ан«лиза Геометрических параметров электровакуумнь>х НрН620роВ В частнОсти электронных лам() стсржксвои конструкции Ef процессе их произ.
РОДС> Ва.
Язвсст?)ьl способы контроля и анализа элсктровакуумных приборОЬ, эс)!Сваи?)ые на измерении геометрических и электрических параметров приборов.
Согласно известным с)тособам >Определение
:3 PB K! CP (С (Ч К OCgii!СС Г>«ЛЯЕТСЯ ПУТСМ ИССЛЕДОва"
>(- 1::! >гап") 3«=..л«СН)«««««(З(«(е? Е?!Ия (ИЛИ ЗнаКОВ Коэф" (>и). Hc>)TO!3:, .00pc)(H!(I!HE«!««)С)(<цъ Определенными .;. . Е:-. го«авег>К; (г >» 2(2)«2!!Ет(эами и акапиэа Накат(В . п>а(х:(сра)<1срист(>!< Прибога; измерения мсж. 1 > )(.. (I (yri<0C7 ((!«С!107 ОЕ«д(твеч«к)10 («3
rrlCP - !. ." H; c!3!r(!C()O3 )ЧЕ)<Т1)СДОБ ВИДИ)«>«0!." ЧВСТИ !
"0«>60 («.)0»T=-2> B Оооан>«ОИ арМИ >>ао «!>(«."«
6003-:. .. ИСПО.ГГЬЗОВакия рентгпе 10 ГЕЛЕВИЗИОККОГO ь«(«(,>« .) .(<г 112, j ,)Т?(:".Г>О(, .00Ь! КС ПОЗВО:(Я:ОТ )(СТаНОВИТЬ(ИМЕЕТ
J>H .!« :;T0,(".c .EI01«ма!3()> элск !рОДОВ илн пара>У(»ельнь i. i в)п ме?<)лектродных расстояний, 3
-Г>(;!пое)<ОСТЬ CC>!CliHH, Б КОТОрой 2 !Ск>3>!. алькО Выражена дефор(иав)ия 3)Ic?G.
>В(од(:, :, " .i>i . O".HBJI(.. " ОСНОВ:-IОИ ПОИЧИИОИ QTKJIO.,г (i г!TH Icñê!.:;.- и «7)BMcT()0H !(ри<)ора.
)«.«;,:,O .:, (бд>«31-„«?1 rã ЧЗООВ- т )l!O !HO ГСХК., ((P(кой .", Oc13().3.4!(стсЯ :«е !(. rr !. -.И >. ««r! (« ".«Tj. OB аЛС«<Т)ЭОБак У« «??а!« . . ((0Q!. Îb ;«1>P > г ОННЫМ HOTOKÎM ПУТСМ ИЗГОт (! JIC!(!««J ПП КИ:: >Длифок ПСОУ«01>т НЬ.-, ." !(OHС рс(ii bi), (l - !»>й (j ибОР3 ?13!«1срсния Геометр?в!ссС« l> >О".,;,«СТОПА. ll CPBI>HCHHEI С ЗапаННЫМ ЗНаЧС >< :!iсм..!«1-:: сохранения общей геометрической конфи у,pB;,")и к межзлектрсдных расстояний дстал!! 1;рибора фн- >г(:.1!1!0 13f!H 1«:.7! С)1()Г»<16 HC ПОЗВОЛЯЕТ Г(р(«ВЕ«ТИ - - с "!;«ь l. : Ле размеров зл" к.(родоь и мсжэлектродкых р(асстоя()!1!1 т01 bKQ Б плоскости 1«()ли())3(выбо .: .".:с .:Qp«U! . «)л >асн. (1>осоо п03ВОля("1 Оп")едзлить Efc00x0,G((Ã/io плоскость сечения IIplf6oj22,(дпя вд)f())3, по <оторопи<у JMQ)K!(0 оыло бь! судить С .(РИ« -:!«З((с О". КПО?(С?>1««)(>ЛЕКТОИЧЕСКИХ П2Раме>а. p00 >((->в бора. > а (Н СЛ» 1«3!>1(Я)СТ ЕНИЯ . - ((ОВЬ>7цсНИС ТОЧНО С. И ко!)Гр(:1!л и Объск.>(.-:кости анализа Г(!Омстрических ((ара::с)pvb электр)вакуум?!ых приборов Поста=;: епн 2 я, -;. ь достигается те,и, что : огл>)г(>0 способу .<онтроля .Геометрических параметров злсктровакуумных приборов лскт . Окным потоком 1 )(те;,1 изготовлены; плоск i); квп(фов продсльпых и поперечных ПЗС2Мегср(>в 8 Срак>ЬЕНИ>л С Заl> "КПЬ)М ЗНЗЧ(.НИСМ до >«3 ГОТОВЯ>а«ия ПЬ>ПГ(.(«0?«»РЗП,".-., «Т ((«3Г!7«Л(т«!Оа По ! >С «ДѫРПС «(IДИКУЛЯ РНОС 3. i C r И <)П(мавэ )< ДСЛС)(ит! OT КОРМЫ У! ПЕОС(«<«(,)>(2?ДТ В ЗТОИ 00Ла«.ти MBI НИТНОЕ П()ЛС БОКР>г«0(И HPHi0002« ПОСЛС Чегет CPB»H!Bi>2!0 ПOJ"!Cl НС(., 0«<ОРССГГР(-;деле?«и< i Bталонкым (3 дпое>»>JIЛ:-дт Вид каругде« ?в(я гсо(истр?глес(
Ма,<СИ)1-„.12;)Ь?! Ого 01 1<) "Q I ЕК I.Ó: :02.;«1-.3(г (! Г) С пслЕК)««У « П.)<1(л ОСТ(. ССЧЕКИ(Я Дл,,::., -.=(>! «7- .; !!Иа !>,Лкфа « анализ. « P3«. iPP .)-Сг!!KH ТОКС .-:B! IОСВЕЛ=-Н.1а:, "ЖДУ 3(>СК-. ТОДПО" г,IBTQ«l!TG. C. )(3!!а К(К Ь«?(У )Ск!(ИС 110:IН)ОНЫЕ HBKOHCчИ(2К1(.; 1,,13 ТО Под>ЛЩЗСТ ТОЧНОСТЬ р!ри дсформади! злак-.родс::. Вдоль оси прибора («««1(:";.(д>(->лектрс«гя:;г.. из>ис)(ястся !иа-.нит.->ы?. зазор ":, (зоответс-.,Беппо, изменяется капряженКОСгЬ ":3??(I;T lG.. O Г><(..(Я(КО . : 2Я ПРИВОДИТ K От - - «вЂ” :-лзкекиьс тскораc;lp-".äc);c?H!JJ -:: облает; де(СG".-20.(PP>EP!(C:-(И:. ИМС)ОТ)Я ОТ;..!Q.!ÅH :.r(т. )ЛОКОТОИ.::)эк .Воалпслько:,,;::.c(H::-;ии мех(=:)е;<тродК« >Х раССТОГ()7((А 1<ООИ;;) Сдгт Обт(: . СМЕщСНИЕ :0)(0(13С! O:;r C>iCH Я 0: i: ".«i :" lb:iU i0:,> vH-(И :(О(>0" « ТОННОС>Ь .< )ИЛЬI;". Hi., Кар«ГТ>12ЕТСЯ. )33 I);;i, i изображспа с.-сржксвая iB(HHB, Поъ!Е>цен)(ая МЕЖДУ " 0)ПССЯ r!!i М «Гкита IipH ПС(2СМСЬЦЕКИИ СГО ВДОЛЬ ОСИ КатОД 1 1(0 ((апРаВЛЕКИ)г> Ст()С)!?
РаСПРСДС-„:"-?(!".-. -, . 13,.() «Г)?12(;! Т()!<7«ЗКОД3, И ТОка сет Б Г!01>Е!)С (10)«, <СЧ "iill«(, 1!Q!r C!113)iflBH Ь! )Х<ДIJ !0JIiCICBМ .) Ма. >(?аг 2 ПР!« Б)>а(7!С)>И (СГО Б ОКРУ! ОСI> Катода . *..(01, :! (г анргв.,:".((С l- i, «П Е IИЛ /K332i(O СТ!2СГ(КСИ, ; На (I2)i(!, 4- -- К«(2И>Ь(«)С ИЗМСКС?(ИЯ 70<СРаСП,I(- ICJF)!HJ(ПР.". ВРВ(>r":::(1 .:и МЫ НИТНОГО ПСпл во><ОУ>. Gi H <2 ОГ 3 13(««!(в !. (3 () Hl ., -«V. С)ИГ ° 4 iG 0 CJ" ODHEII (3? ОТЛОЖС ны з!12>(с: ri>I !GKB BHQ a H îKB сетки. По оск аб(11А с jè! („)?(Г. От!10)((е)!,1 Рассто?!Нис 0! НОЖКИ «аг !П)«". ДО Се:"Сд!";:.—: .l ПОЛ?ЗС()ОГО К2К(л!С! .HKB (v"(л.() .Ит!!,: .«(<г)СМС Де l. .И i > .". В«)ОЛЬ ОСI(ПамПЫ. r: : Г>«1((. -:- 1 ЗГ«. )ГЭ 000 b«31 П(Т ЩС?(ПЕРПЕ)-:ДИКУЛЯП>ЦО I:.:0 (<(ЗСг«ЗЬ(2 i(b!IOE) Ламлы. HCHOH KGi!(! Cj.) КДИК . 3 10453 Палюсные наконечники магнита, между которыми помещают лампу, по ширине должны быть равны диаметру баллона лампы; продольный размер их должен быть равен или меньше 1/3 длины аксидного покрытия катода лампы. Зазор между полюсами магнита определяется диаметрам баллона лампы, а напряженность паля между ними должна быль такой, чтобы при положении полюсных наконечников в средней части лампы происходило полное отклонение электронного потока лампы на сетку т. е. чтобы ток сетки в этом положении быт» близким па значению току анода при отсутствии» воздействия магнитного поля на электронный поток, 15 На электроды лампы подают рабочий режим и помещают лампу между полюсами магнита (фиг. 1) ""..àê, чтобы направление магнитного поля было перпендикулярным электронному потоку в лампе, Перемещая магнит от ножки или купола баллона лампы вдоль оси катода, записывают изменения тока анода и тока сетки ! . Затем строят каивые зависимости тока С 1 анода и тока сетки от положения магнита при .перемещении его вдоль аси катода лампы (фи-.. 2), Пунктирными линиями изображения кривые для годного прибора, а сплошными— для лампы, имеющей деформированные электроды с максимальным отклонением по сечению ММ После этого помешают»31»агнит (фиг, 3) в область максимального отклонения токараспре«деления (область с сечением MN), поворачивают магнит вокруг аси катода лампы и получают кривые изменения тока анода и тока сетки 1 в зависимости от угла поворота магнитного па-35 ля относительно плоскости, проходящей перпендикулярно плоскостям анодов в лампе (фиг, 4). По этим кривым определяют направление 1 дефо маций электродов. В данном примере на основании анализа фиг. 3 и 4 можно сделать заключение а том, что в лампе отклонение электрических параметров за пределы допусков произошло из-за деформации электродов в определенной абласти45 и определенном направлении, а не па всей длине катода, вследствие чего изготавливать шлиф поперечный или прэдальный для сравнения сечения с конструктивным чертежом лампы нецелесоааразна. В этом случае необходимо оп- 50 ределить при-ц»ну деформаций электродов в этой области. Если необходимо, например, определить уровень допустимой деформации электродов, m 04 4 для изготовления шлифа берут плоскость сечения лампы па MN. Изь»енение токораспределения в области MN произошло вследствие изменения магнитного зазора между электродами лампы из-за их деформа»ц»й». так как электродь» стержневых ламп, фармируюгдие электронный поток, изгатавлива»отея иэ магнитного материала, и в зазорах между стержнял»и — электродами происходит концентрация магнитного паля, поэтому при малсйшем отклонении зазора резко меняется напряженность MB»HHTHofo поля, воздействующего на электронный поток в этой области. Для повышения точности и объективности оценки геометрических параметров лампу предварительна как бы "ощупывают" со всех сторон магнитным »дуном. Таким же спасабоь» л»ажно оценивать нарущение такораспределения в лалшах с нав»»тыми сетками, только там при наличии локальной де»ваомации электродов изменяется или плотность электраннага потока в этой области, или вличние электаическога поля на электронный поток. Как в там, так и в другом случае при воздействии магнитного поля, перпендикулярного электронному потоку, на область с деформацией электродов будет иметь место отклонение гакараспределенпя ат такараспределения нормальной лампы. Па этим изменениям токораспределения также можно выбирать плоск1 ать сечения лампы для изготовления шлифа или определять целесообразность ега изготовления. Предлагаемый способ контроля и анализа геометрических параметров электравакуумных прибараз аа сравнению с существующими позволяет определить уровень изменения токараспределения в рассматриваемой области электронного прибора; обеспечивает тачньп1 выбор плоскости сечения прибора для изготовления шлифа; дает возможность определить целесообразность изготовления шлнфа, т. е. заменить в ряде случаев разрушающий способ контроля. неразрушающим, а также позволяет разделить причины отклонения параметров приаара: об1цее смеще. ие межзлектрадных расстояний или локальные дефарь»аш»1» электродов па их длине. Благодаря этому значительна повышается точность контроля и анализа геох»стр»» »вских параметров электропакуумных приборов, чта, в свою ачередь. позволяет быстрее определять п13ичины Отклонений, c13oc13реь»ен11о сокр 11ц»ть потери ат бр»KoB и тем самым п3 вы1п11»ь эфф к»ивнасть пр изводства. l045304 1045304 Составитель В. Александров Техред В. Далекорей Редактор C. Пекарь Корректор А. Тяско Заказ 7565/54 Тираж 703 ВНИИПИ Государственного комитета. СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5 Поднисное Филиал П!П1 11агент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4
