Способ измерения периода страйп-структуры в доменосодержащих пленках

 

СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ПЕРИОДА СТРАЙП-СТРУКТУРЫ В ДОМЕНОСОДЕРЖА-ЩИХ ПЛЕНКАХ, заключающийся в том, что пленку помещгиот в переменное магнитное поле,.направление которого перпендикулярно к плоскости, пленки, отличающийся тем, что с целью повьшюния быстродействия и точности измерений, плоскость пленки поворачивают параллельно направлению магнитного поля и уменьшают амплитуду переменного магнитного поля до нуля.

СОО3 СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (П) 3(51) G 01 g.33/12

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Е гъ

1 1

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3449257/18- 21 (22) 03.06. 82 (46) 30.10.83. Бюл. 9 40 (72) В.Г.Епанчинцев, Н.Н.Силантьев, И.В.Шелухин и А.Я.Шихин (53) 621 .317.44(088 ° 8) (56) 1. АррО 3.РЬуу 1980, 51, 10, р.5568-5570. (54)(57) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ПЕРИОДА

CTPAAII-СТРУКТУРЫ В ДОМЕНОСОДЕРЖА-ЩИХ ПЛЕНКАХ, заключакнаийся в том, что пленку помешают в переменное магнитное поле, . направление которого перпендикулярно к плоскости пленки, отличающийся тем, что с целью повышения быстродействия и точности измерений, плоскость пленки поворачивают параллельно направлению магнитного поля и уменьшают амплитуду переменного магнитного поля до нуля.

1051476

Составитель В.Вагин

Редактор М.Рачкулинец Техред М.Герцль Корректор !!.Эрдейи

8659/45 Тираж 710 Подпи с но е

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по де>ам изобретений и открытий

113035, Москва, ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Заказ

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к магнито-. метрической технике и может быть использовано для определения периода страйп-структуры при производстве домендсодержащнх пленок.

Самые производительные и точные 5 измерения периода получают на прямой доменной структуре с шириной полосы, равной ширине полосы лабиринтной доменной структуры раэмагниченной пленки 30

Наиболее близким к предлагаемому является способ измерения периода страйп-структуры в доменосодержащих пленках, который заключается в том, что пленку помещают в постоянное маг- нитное поле, параллельное плоскости пленки, и одновременно прикладывают перпендикулярно плоскости пленки переменное магнитное поле, снижают его амплитуду до нуля, снимают постоянное магнитное поле, затем прикладывают перпендикулярно плоскости пленки д, полнительное переменное магнитное поле, амплитуду и продолжительность действия которого подбирают, измеряют линейный размер участка плен- 5 ки со страйп-структурой,подсчитывают количество прямас полосовйх доменов, находящихся на измеряемом участке, и определяют период страйп-структуры путем деле- ЗО ння величины линейного размера на количество полосовых доменов f1) .

Однако известному способу свойственны низкие быстродействие и точность измерения. 35

Цель изобретения — повьыение быс троде и ст вн я и точ нос ти измерений.

Поставленная цель достигается тем, что согласно способу измерения периода страйп-структуры в доменосодержащих пленках, заключающемуся в том, что пленку помещают в переменное магнитное поле, направление кот"рого перпе"д"кулярно к пл ос- 45 ти пленки, плоскость пленки поворачивают параллельно направлению магнитного поля и уменьшают амплитуду переменного магнитного поля до нуля.

Способ осуществляют следующим образом.

Пленку помещают в переменное магнитное поле, направление которого перпендикулярно к плоскости пленки. Затем пленку поворачивают в этом переменном магнитном поле на угол

90 таким образом, что ее плоскость становится параллельной направлению поля. Во время поворота пленки на нее действуют две составляющие поля — нормальная и тангенциальная.

Причем во время поворота значение нормальной составляющей изменяется от максимального до нуля, а значение тангенциальной — наоборот. После поворота пленки она оказывается под действием параллельного плоскости переменного магнитного поля, амплитуда которого с этого момента начинает убывать до нуля. В результате данных операций в пленке образуется прямая полосовая структура с 1В0 доменами. Ширина прямых полосовых доменов равна ширинке лабиринтных полосовых доменов, что соответствует состоянию структуры в полностью размагниченной пленке.

Следующая операция способа заключается в измерении линейного размера участка страйп-структуры. После измерения линейного размера подсчитывают количество прямых полосовых доменов на измеряемом участке. Процесс измерения завершается определением периода страйп-структуры путем деления величины линейного размера участка страйп-структуры на количество прямых полосовых доменов. формирование прямой полосовой структуры осуществляется в соленоиде, в котором образе пленки может

-поворачиваться на 90 относительно направления переменного магнитного поля.

Таким образом, предлагаемый способ позволяет повысить быстродействие и точность измерения периода эа счет формирования прямой полосовой структуры переменным магнитным полем, устранения постоянного магнитного поля и дополнительных операций по многократному подбору амплитуды и длительности переменного магнитного поля.