Устройство для контроля полупроводниковых приборов

 

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ преиму щественно с гибкими выводами, содерлеащее каосету с гнездами для полупроводниковьЬг приборов и механизм . для подключения приборов к измерительному блоку, выполненный в виде -установленной с возможнрстью возвратно-цоступательного перемещения панели с контактными элементами,о т-: л -и ч а. ю щ е е с я тем, что, с целью повышения надежности в работе и упрощения конструкции, кассета установлена с возможностью перемещения параллельно панели механизма -для подключения полупроводниковых . приборов к измерительному блоку, а контактные элементы панели выполнены, в виде втулок с комическими отверст тиями. (Л Oi

(19) (П) СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСЙУБЛИН

3(Я) Н 01 Ь 21/66

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ЮРЪ ъ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3406214/1 8-21 (22) 03.03.82 (46) 30.10.83. Бюл. Р 40 (72) Г.Н. Новиков и IO.A. Жердиенко (53) 621.382(088..8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР

Р 902109, кл, Н 01 (21/66, 18. 12,78.

2. Заявка ФРГ Р 275 2749,,кл. G 01 R 31/04, 31,05.79 (прототип) . (54)(57) 1, УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ,ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ преиму щественно с гибкими выводами, содержащее кассету с гнездами для полупроводниковых приборов и механизм для подключения приборов к измерительному блоку, выполненный в виде установленной с возможностью возвратно-цоступательного перемещения панели с контактными элементами,о т-. л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целию повышения надежности н работе и упрощения конструкции, кассета установлена с. возможностью перемещения параллельно панели механизма для подключения полупронодниковых приборов к измерительному блоку, а контактные элементы панели выполнены н виде втулок с коническими отверс-. тиями.

1051622

2, Устройство по п. 1, о т л и,— ч а ю щ е е с я, тем, что панель механизма для подключения полупроводниковых приборов к измерительному

-1

Изобретение относится к радио электронной технике и может быть ис

;пользовано при контроле полупроводниковых приборов с гибкими выводами, Известно устройство для контроля .полупроводниковых приборов, содержащее кассету с гнездами для полупроводниковых приборов и механизм для подключения приборов к измерительному блоку, выполненный в виде .установленной с возможностью возвратнопоступательного. перемещения панели с торцовыми подпружиненными контакт„ными .элементами jl) .

Недостатком данного устройства

,является то, что оно ненадежно в ра боте при осуществлении контроля по лупроводниковых прйборов с гибкими выводами, так как торцовые подпружиненнМе элементы не обеспечивают надежного контакта с гибкими выводами, а также сложность конструкции: вследствие большого количества подвижных контактных элементов.

Наиболее близким к предлагаемому является устройство для контроля .полупроводниковых приборов, содержа-. щее. кассету с гнездами для приборов и механизм для подключения приборов к измерительному блоку, выполненный в виде установленной с возможностью .возвратно-поступательного перемеще- ния панели с. контактными элемента1 ми (2) .

- Недостатком указанного устройства является .низкая надежность при осуществлении контроля полупроводниковых .приборов с гибкими выводами,. так как упругие контакты не исключают необратимой деформации выводов, а также не обеспечивают надежного кон такта с гибкими выводами, кроме того, недостатком является сложность конструкции.

Цель изобретения — повышение надежности в работе и упрощение кон- струкции.

Укаэанная цель достигается тем, что в устройстве для-контроля полупроводниковых приборов преимущественно С гибкими выводами, содержаще1 кассету с гнездами для полупроводниковых приборов и механизм для подключения приборов к измерительному, блоку снабжена упором, выполненным в виде ролика, установленного с воз"; можностью взаимодействия с кассетой для полупроводниковых приборов.

2 блоку, выполненный в виде установленной с возможностью возвратнопоступательного перемещения панели.. с,контактными элементами, кассета

5 установлена с возможностью переме.щения параллельно панели механизма для подключения полупроводниковых приборов к измерительному блоку, а контактные элементы панели выполнены

)0 в виде втулок с коническими отверстиями.

При этом панель механизма для подключения полупроводниковых прибо- .. ! Ров к измерительному блоку снабжена упоРом, выполненным в виде ролика, установленного с возможностью взаимодействия с кассетой для полупроводниковых приборов.

На фиг.l изображено устройство, общий вид на фиг.2 — вид A на фиг.l на фиг.3 — контактный элемент.

Устройство содержит кассету 1 с гнездами для полупроводниковых приборов 2, с гибкими выводами 3 и механизм для подключения приборов

25 к измерительному блоку, выполненный в виде установленной с возможностью возвратно-.поступательного перемещения панели 4 с контактными элементами 5, соединенной с приводом 6..Кон30 тактные элементы 5 выполнены в виде втулок с коническими отверстиями 7 °

Кассета 1 установлена на основании

8 с возможностью перемещения. Панель

4 механизма для подключения приборов

35 к измерительному блоку снабжена упо ром, выполненным в виде ролика 9, установленным с возможностью взаимбдействия с кассетой 1 для полупроводииковых приборов °

40 Край кассеты 1, с которЫм взаимодействует ролик 9, выполнен скругленным, панель, 10 с индикаторными элементами ll для индикации результаТоВ контроля нолупроводниковых приборов соединена с измерительным блоком и предназначена для отбраковки полупроводниковых .приборов. .Устройство работает следующим образом.

Кассета 1 с установленными в ее, гнездах полупроводниковыми приборами

2 устанавливается на основании 8

::,под панелью 4 механизма для подклю чения приборов к измерительному бло-, f

1051622 ку, при этом гибкие выводы 3 приборов 2 располагаются под коническими отверстиями 7, контактных элементов

5 панели 4. Под действием привода панель 4 механизма для подключения приборов к измерительному блоку перемещается к кассете 1, при этом вы- . .воды 3 приборов входят в конические .отверстия .7 контактных элементов 5.

Конические отверстия 7 контактных элементов 5, центрируют гибкие вы- 10 воды 3 полупроводниковых приборов. "

Прн дальнейшем перемещении контактной панели 4 вниз, ролик 9, взаимо» действуя с кассетой 1, смещает ее .параллельно контактной панели 4, . 5 на величину, большую чем разница между диаметром вывода 3 полупроводниковых приборов 2 и меньшим диамет; ром конического отверстия контактно- го элемента 5, за счет этого дости -:. ® гается надежное подключение выводов

3 к измерительному блоку. Результаты контроля полупроводниковых приборов: 2 индицируются на индикаторных эле4 ментах ll, которые расположены на ,панели 10, аналогично расположеиию

1 полупроводниковых приборов 2 в гнез-. дах кассеты 1.

В соответствии с результатами контроля, которые индицируются индикаторными элементами 11, производят отбраковку полупроводниковых приборов. . Предлагаемое изобретение повышает производительность за счет одновременного контроля большой группы приборов без трудоемких операций индивидуальной установки и ориентации приборов. Выполнение кассеты для установки приборов с возможностью горизонтального поступательного смещения величина которого учитывает разницу диаметров вывода контролируемого прибора и сечения втулки с коническим отверстием в плоскости, проходящей через конец этого вывода, увеличивает надежность контакти-". рования вывода проверяемого прибора.

Заказ 8678/52

Тираж 703 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Ю Ю Ф

Филиал ППП Патент г. ужгород, ул. Проектная, 4

Составитель В. Дрель

Редактор Ю. Середа Техред Я,Тепер . Корректор.л.Патай

Устройство для контроля полупроводниковых приборов Устройство для контроля полупроводниковых приборов Устройство для контроля полупроводниковых приборов 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к технике контроля параметров полупроводников и предназначено для локального контроля параметров глубоких центров (уровней)

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к области измерения геометрических размеров плоских изделий, и может быть использовано при измерении толщины плоских изделий из диэлектриков, полупроводников и металлов, в том числе полупроводниковых пластин, пластических пленок, листов и пластин

Изобретение относится к полупроводниковой технике и направлено на повышение точности измерения параметров эпитаксиальных слоев на изотипных проводящих подложках и применение стандартных образцов, изготовленных по технологии, обеспечивающей существенно более высокий процент выхода годных и более высокую механическую прочность

Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано для выявления и анализа структурных дефектов (ростовых и технологических микродефектов, частиц второй фазы, дислокаций, дефектов упаковки и др.) в кристаллах кремния на различных этапах изготовления дискретных приборов и интегральных схем

Изобретение относится к области силовой полупроводниковой техники и может быть использовано при изготовлении тиристоров и диодов
Изобретение относится к неразрушающим способам контроля степени однородности строения слоев пористого кремния

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к области измерения электрофизических параметров материалов, и может быть использовано для контроля качества полупроводниковых материалов, в частности полупроводниковых пластин
Наверх