Устройство для сортировки полупроводниковых приборов

 

УСТРОЙСТВО ДЛЯ СОРТИРОВКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ, содержащее механизм подачи полупровод|никовых приборов из кассет, блок сортировки полупроводниковых приборов и механизмы загрузки полупроводниковых приборов в кассеты, причем механизмы подачи и механизмы загрузки выполнены с напра:эляющими и средствами для перемещения кассет по на- , правляюищм, о тличающе е с я Тем, что, с целью повышения производительности и работе , оно снабжено желобом и упорами для кассет, при этом желоб установлен под направляющими механизма подачи полупроводниковых приборов и выполнен зигзагообразной формы с окнами для кассет, расположенными напротив направляющих для кассет механизмов загрузки полупроводниковых приборов, причем поверхности желоба, расположенные напротив окон для кассет, выполнены наклонными в сторону окон, а упоры для кассет установлены над направляю-1 щими для кассет напротив окон на .расстоянии, меньшем длины кассеты.. СП О) ю ел

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН

3(5)) Н 01, 21/66

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21} 3475427/18-21 (222 19.07.82 (46! 30.10.83. Бюл. 9 40 (722 Н.В. Староверов, В.И. Хомич и М В, Пыж (53 ) 621. 316. 8 (088. 8 I (56 f 1. Патент США Р 3896935, кл. В 07 С 5/344, 29.07.75.

2. Полуавтомат контактирования и разбраковки микросхем ПКРМ-2, ЭЕИ 2.700.004.TO. (54)(57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ СОРТИРОВКИ.

ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ, содержащее механизм подачи полупровод;никовых приборов из кассет, блок сортировки полупроводниковых прибо" ров и механизмы загрузки полупроводниковых приборов в кассеты, причем

„„SU„„1051625 механизмы подачи и механизмы загрузки выполнены с напраВляющими и средствами для перемещения кассет по на-, правляющим, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения производительности ы работе, оно снабжено желобом и упорами для кассет, при этом желоб установлен под направляющими механизма подачи полупроводниковых приборов и выполнен зигзагообразной формы с окнами для кассет, расположенными напротив направляющих для кассет механизмов загрузки полу.проводниковых приборов, причем по" верхности желоба, расположенные напротив окон для кассет, выполнены

Ф наклонными s сторону окон, а упоры Е для кассет установлены над направляю. шими для кассет напротив окон на ,расстоянии, меньшем длины кассеты..

1051625 поверхности желоба, расположенные

Изобр етение относится к произноднапротив окон для кассет, выполнены ству изде лий электронной техники и наклонными в сторону окон, а упоры может бы ть использовано в технолодля кассет установлены над направляюгическом ру обо донании для контроля шими для кассет напротив окон на и сортировк и пол и оводниковых при;

У Р мик осхем. Расст

5 оянии меньшим длины кассеты. . боров, например м р

На Фиг ° 1 показано устройство, И 1вестно устройстно для сортирово он содер- общий нид; на фиг. ф . 2 — разрез А-А ки полупроводниковых приборов, д р г. 1. на фиг. 3 — Б-Б на фиг. 1. м подачи полупроводни- на фиг. 1; на фиг. — — н жашее механизм по

Устройство содержит механизм 1 ковых при р бо он иэ кассет, блок сор.-.

1.0 подачи полупроводниковых приборов тировки полу р п оводниковых приборов, многорядных кассет 2, размещенный и механизм эа ру эаг зки полупроводниковых из м в верхней части станины, который выприборов в кассеты ().

Г1) полнен с направляющими 3 для кассет

Недостатком яв является то, что иэ2 и с едством 4 для перемещения касвестное устро с йство не обеспечивает и средс сет по направляющим, механизм 1 поI автоматическо ой смены кассет в меха- 15 сет по дачи полупроводниковых прибороннизмах подачи р и заг узки полупроводсо ержит также механизм 5 для выниконых приборов ов в кассеты, а также содержит талкинания полупроводниковых приботребует частой смены кассет в талки а ров из ручьев кассеты 2 и механизм связи с малой емкостью кассет, для загрузки кассет из с стопы на что снижает производительность направляющие 3. сортировки полупроводниковых приБлок 6 сортировки и

6 . полупроводни боров.

ых приборов соединен с механизмом

Наиболее близким р д, ых пр к и е лагаемому,ковых пр является устройство для сортировки боров лотком для при

7 п иборов и содерполупроводниковых прибоРов, содери ово нико- жит механизмы для т транспортирования. жашее. механизм подачи полупровод роводниковых он из кассет, блок сортиров и подключения полупр вых приборов из кассет, лок р боров к измерительному блоку.

У во к оде жит х и ибо ов,и ме- при ханизмы загрузки полупроводниковых стро с механизмы 8 для загрузки зки полупроводприборов в кассеты, причем механизмы заг зки выполне- ЗО никовых приборов в касс подачи и механизмы загрузки вы честно которы о орых соответствует числу . 1ны с направляющими средствами для и и иборов. перемещения кассет по направляюМеханизмы 8 загрузки полупрощим (2). ль- водниковых приборов установлены на

Данное устройство позволяет испольно 35 станине на разно выс и оте под мехазовать кассеты большей емкости,.но низмом для подачи полупроводниковых требует раздельной загрузки кассет приборов, иэ кассе т и блоком 6 для в механизм подачи полупроводниковых сортировки при:оров и соединены с приборов и в механизмы для загрузки блоком для с

6 ля сортировки лотками 9 и полупроводниковых приборов, причем загрузка кассет производится р 40 лупроводниковых приборов и выполнены с направля; авляющими 11 и

Ъ. дствами для перемещения кассет по случайной величины, что требу еб ет по- . средства ю им 11 (не показаны J. стоянного присутст твия one атора и направляющим

Р со ти овки Для трансп

Дл нспортирования пустых кассет снижает производительность р р

2 иэ механизма а 1 подачи полупроводниполупроводни вых при боров. ковых приборов н механизмы 8 загрузки полупроводниковых приборов предетения — повышение производительности в работе. б 12 установлеНные под ель остигается тем, назначен жело

Укаэанная цель дост авляющими 3 механизма 1 подачи что устройство для сортировки полу- направляющими полупроводниковых и риборов и выполнен проводниковых приборов, сбдержащее механизм подачи полупроводниковых для кассет, расположен приборов иэ кассет, блок сортировки полупроводниковых приборов и меха- направляюших ме

11 ханизмов 8 загруэкй полупроводниковых при боров

l низмы загрузки полупроводниковых

14 б 12 выполнены приборов в кассеты, причем механизмы оверхности жело а

13. подачи и механизмы загрузки выполнены наклонными в сторону окон с нап анляюшими и средстнами для Для фиксации к ии кассет 2 относительперемешения кассет по направляющим, но напр ;ш с напра анляю их 11 механизмов 8 заснабжено жело ом бом и упорами для кассет, груэки полупроводниковых приборов вле п — ено попри этом желоб установле п влен под направ- и желоба 12 устройство снабже у ляющими механизма подачи пол о ачи полупровод- 60 рами 15 для кассет, установленных и выполнен зигзаго- над направляющими 11 напротив окон никовых приборов и вы е лины касобразной формы с окнами ф с окнами для кассет, 13 на расстоянии, меньшем д по ов 15 расположенными напротив и напротив направляю- сеты. Такое расположение упоров кассеты 2 щих для кассет мах механизмов загрузки позволяет фиксировать кассеты полупронодниконых при оро б ров причем 65 так что часть кассеты выступает из !

1051625 окон 13 в желобе 12. В направляющих

3 для кассет механизма для подачи полупроводниковых приборов над жело.бом 12 выполнен вырез 16 для кассет.

Над направляющими 11 установлены планки 17 для фиксации кассеты 2.

Кроме того, устройство содержит механизмы 18 для укладки в стопы эагружных кассет иэ направляющих 11 механизмов для загрузки полупроводниковых приборов (не покаэаны1. 30 устройство работает следующим образом.

Кассеты 2 отделяются от стопы и укладываются на направляющие 3 механизма 1 подачи полупроводниковых приборов

Средством 4 кассеты перемещаются на шаг, равный расстоянию между ручьями кассеты 2 и после .совмещения каждого ручья кассеты механизмом 5, полупроводниковые приборы выталкиваются из кассеты и по лотку 7 перемещаются в блок б сортировки полупроводниковых приборов. В соответс ствии с результатами измерения иэ блока б сортировки, полупроводниковые приборы по лоткам 9 или. 10 подаются в один из механизмов 8 для загрузки полупроводниковых приборов в кассеты, которые по мере заполнения их ручьев, перемещаются на шаг, равный расстоя- З0 нию между ними, средствами для неремещения кассет по направляющим 11.

Первоначально до поступления пустых кассет 2 из механизма 1 для подачи полупроводниковых приборов, приборы 35 загружаются в кассеты 2 в механизмах

8 для загрузки; оставщиеся после разбраковки предЫдущей партии приборов.

По мере выгрузки полупроводнико- 40 вых приборов кассеты 2, находящиеся в направляющих 3 механизма 1 подачи полупроводниковых приборов, кассета перемещается средством 4 для перемещения кассет к вырезу 16 направляющих 3 и после того, как кассета полностью выгружена, она,под действием сил тяжести подает через вырез 16 в желоб 12 и по поверхностям 14 желоба 12 напоавляется в окна 13 и через окна 13 поступает в направляющие

11 одного иэ механизмов 8 для загрузки полупроводниковых приборов, если на направляющих 11 находится еще незагружающая кассета, то следующая кассета фиксируется над ней упором

15 и планками 17. Если в механизме

8 для загрузки кассет находятся две кассеты, то следующая кассета перемещается по желобу 11 второй кассеты и соскальзывает вниз к другому (нижнему ) механизму 8 для загрузки полупроводниковых приборов.

По мере загрузки кассеты в механизмах 8 для загрузки полупроводниковых приборов нижняя кассета смещается относительно планок 17 и верхняя кассета занимает ее место. Таким образом, по желобу 12 .пустые кассеты 2 транспортируются в .направляющие 11 механизмов 8 для загрузки полупроводниковых приборов в кассеты, т.е. количество загруженных полупроводниковыми приборами кассет в механизмах 8 загрузки равно количеству разгруженных кассет в механизмах .1 подачи, полупроводниковых приборов.

Если устройство включается впервые

Ф то перед началом работы необходимо через желоб 12 загрузить несколько пустых кассет, в дальнейшем загрузка кассет осуществляется автоматически.

Предлагаемое устройство позволяет повысить производительность сортировки полупроводниковых приборов за счет автоматической подачи кассет в механизмы для загрузки полупроводниковых приборов.

4- A

Юы

Составитель В. Дрель

Редактор Ю. Середа Техред И, Надь Корректор К. Тяско

Заказ 8679/53 Тираж 703 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. ужгород, ул. Проектная, 4

Устройство для сортировки полупроводниковых приборов Устройство для сортировки полупроводниковых приборов Устройство для сортировки полупроводниковых приборов Устройство для сортировки полупроводниковых приборов 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к технике контроля параметров полупроводников и предназначено для локального контроля параметров глубоких центров (уровней)

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к области измерения геометрических размеров плоских изделий, и может быть использовано при измерении толщины плоских изделий из диэлектриков, полупроводников и металлов, в том числе полупроводниковых пластин, пластических пленок, листов и пластин

Изобретение относится к полупроводниковой технике и направлено на повышение точности измерения параметров эпитаксиальных слоев на изотипных проводящих подложках и применение стандартных образцов, изготовленных по технологии, обеспечивающей существенно более высокий процент выхода годных и более высокую механическую прочность

Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано для выявления и анализа структурных дефектов (ростовых и технологических микродефектов, частиц второй фазы, дислокаций, дефектов упаковки и др.) в кристаллах кремния на различных этапах изготовления дискретных приборов и интегральных схем

Изобретение относится к области силовой полупроводниковой техники и может быть использовано при изготовлении тиристоров и диодов
Изобретение относится к неразрушающим способам контроля степени однородности строения слоев пористого кремния

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к области измерения электрофизических параметров материалов, и может быть использовано для контроля качества полупроводниковых материалов, в частности полупроводниковых пластин
Наверх