Стекло
СТЕКЛО, включающее SiO, AljOg, 20, РЪО, отличающ е е с я . тем, что, с целью повышения . температуры оплавления и водоустойчивости при снижении коэффициента TepNm4ecKoro расширения, оно дополнительно содержит CdO при следующем соотношении компонентов, мае,%: Si 021-4-32 7-10 А1 Оз 13-20 в,о. f,r3 46-54 PbO 1-3 CdO
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ
РЕСПУБЛИН
ЗЕЗ С 03 С 3/10 фй. ф",нфаф фф Щ
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
РЩДЦРТДЦА
14-32
7-10
13-20
46-54
1-3
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 355.4592/29 — 33 (22) 26.11.82 (46) 15.02.84. Бюл. Р б (72) И.К. Немкович, О.В. Невар, Н.Н. Колосова, С.И. Соловьев и Н.Л. Трегубова (71) Белорусский ордена Трудового
Красного Знамени политехнический институт (53) 666.112.9(088.8) (56) 1. Патент Англии Р 1088889, Кл. С 1 N опублик. 1967.
2, Авторское свидетельство СССР
Р 765219, кл. С 03 С 3/10, 1978 (прототип) .
„„SU1 14 А (54 ) (5 7) СТЕКЛО, включающее Si OZ, А1 О, В 03, РЬО, о т л и ч а ющ е е с я . тем, что, с целью повышения температуры оплавления и водоустойчивости при снижении коэффициента термического расширения, оно дополнительно содержит Cd0 при следующем соотношении компонентов, мас.Ъ:
$i02
".1 Og
2 3
Pb0
Cci0
Изобретение относится к производству алюмоборосиликатного свинцовокадмиевого стекла, предназначенного для использования в микроэлектронике в качестве резистивного материала для рутениевых резисторов широкого диапазона применения.
Известно стекло для толстопленочных резисторов, включающее,вес.Ъ
Pb0 45-85
В203
2-9
Si 02 7-40
А12 03 0-3
Na20 0-3
ЕпО 0-10
BO 0-10 (1 t.
Эти стекла обладают пониженной температурой деформации и высоким коэффициентом теплового расширения, что не позволяет использовать их в качестве стеклосвязки рутениевых резисторов с температурой обжи"
ra 830-850 С.
Наиболее близким к изобретению по составу является стекло, включающее, вес.Ъ:
SiOg 10-25
PbO 55-75
В203
5-20
МпО 1-10
СиО
1-10
А12 О
1-10
СоО 1-10 (2 .
Данное стекло из-за наличия в составе сравнительно больших количеств легкоплавких окислов свинца, бора, марганца, меди и кобальта характеризуется невысокой вязкостью, а следовательно, и пониженной температурой оплавления. Использование стекла с температурой onо лавления 660-720 С в качестве стеклосвязки в рутениевых резисторах на основе рутенита висмута не позволяет повысить температуру вжигания резисторов до 830-850ОC из-за растекания стекла на контактные площадки и подложку в результате его легка плавности. Поэтому обжиг рутениевых резисторов производится при пониженных температурах, что ухудшает их электрифизические характеристики . Рутениевые резисторы на основе этого стекла имеют сравнительна высокий
ТКС, узкий диапазон сопротивления, требуют высокого содержания рутения.
Целью изобретения является повы- шение температуры оплавления и водоустойчивости при снижении коэффициента термического расширения, Цель достигается тем, что стекло, включающее Si О>, Al> О ., В ОЗ, РЪО, дополнительно содержит Сс10 йри следующем соотношении компонентов, мас.Ъ:
liOg 14-32
A>., O> 7-10
В2 09 13-20
PbO 46-54
Ю
С60 1-3
Конкретные примеры составов стекла и свойства приведены в таблице.
Для синтеза стекол используют обычную технологию производства, включающую составление шихты на ас15 нове песка и химических реактивов квалификации "хч",и "чда", варку стекла в газовой и электрической печах при 1350+10 С и выработку изделий методами вытягивания, отливай ки с последующим их отжигом в электрических муфельных печах.
В табл.1и 2 представлена рецептура стекла и его свойства соответственно
Приведенные в табл. 2 данные свиg5 детельствуют, что применение нового компонента Сйо и пониженного по срав нению с прототипом содержания РЪС обеспечивает укаэанному стеклу комплекс требуемых вяэкостных, физикоЗО химических и электрических свойств.
Использование стекла с повышенной температурой оплавления в резисторах с проводящей фазой на основе рутенита висмута позволяет повысить температуру вжигания резисторов да
850 С и полностью исключить растекао ние стекла ва время вжигания на контактные площадки и керамическую подложку .
Предложенный состав стекла позволяет реализовать диапазон удельных сопротивлений 95 резисторов ат
5 Ом/и да 1 мОм/и за счет изменения процентного содержания стекла в пасте от 20 да 80Ъ.
45 Электрические характеристики рутениевых резисторов (соотношение стекла и рутената висмута 65:35, о температура вжигания 850 С) представлены в табл. 3...
Таким образом, использование предложенного стекла в качестве стеклосвязки рутениевых реэистивных композиций позволяет расширить диа:-пазон сопротивлений, снизить TKC u улучшить влагостойкость рутениевых резисторов по сравнению с прототипом,, 1073194
4,Таблицаг
Содержание в стекле, мас.В г j з
Компоненты
Прототип
23,0
10-25
1-,10
32,0
14,0
Sip
8i0
7,0
10,0
А1203
17,0
13,0
20,0
5-20
В20З
46,0
55-75
50,0
54,0
РЬО
2,0
1,0
3,0
С60
Мп 02
Си0
Т а б л и,ц а 2
Стекло
Свойства
Прототип
1250
1350
1350 1 350
510
520
500
Температура оплавления, С 760.770
660-720
780
53,0 63-75
50,0
58,0
9 ° 10 - 10 "
3 101
5 .1012
4 ° 101
8 1010
2 10
101" (2 ° 101- 3 1У) 10 О
6 10
0,15-0,17
I I I кл
0,05
I кл
0,02
I кл
0,12
II кл
Температура варки, ОС
Крист аллиза-ционная способно сть, С
Температура размягчения, С
Коэффициент теплового расширения Ы 10, град "
Удельное электрическое сопротивление, Ом см при 20 ОС
100 С
200 С
250 С
Водоустойчи вость (потери массы), В не кри ст алли э уют ся
1-10
1-10
1-10
1073194
Табл:-ца3
Электрические . характери,стики
Рутениевые реэисторы
Удельное электрическое сопротивление (P>1
3 ком/р
3 ком/ь
5 ком/о 2-63 Ом/g
2. Температурный коэффициент сопротивления (TKCI
1/град. т100 10
+100.10
° 6
+100 10 250-730 10
3. Коэффициент влагостойкостч (д5/8), Ъ (0 5 (0,5 0,5
<0,5
Составитель О. Самохина
Техред Т,Фанта Корректор A. Ильин
Редактор Г. Гербер
Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4
Эакаэ 261/19 Тираж 469 Подписное
ВНИИПИ ГосударственногЬ комитета СССР по делам иэобретений и открытий
113035, Москв", Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
