Стекло

 

СТЕКЛО, включающее SiO, , . ВаО, ZrOj, отличающееся тем. что, с целью снижения удельного элект1 гческого сопротивления, оно дополнительно содержит V JD,. при следующем . соотнощении коктонентов, мас.%: 7,5-14,0 SiO2 32,0-35,0 А%0, 19,0-20,0 ВаО 28,0-32,0 1,0-2,0 ZrO 3,5-5,0 2°

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

И

РЕСПУБЛИН (1%(11) 31Д1 С 03 С 3/10

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И OfÍÐÜÏÚÉ ъ,"

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

N ARTOICKOMV СЕ Е Б%С ,р (3 (21) 3518269/29 — 33 (22) 03.1282 (46) 2303.84. Бюл. М 11 (72) И. К. Немкович, O. В. Невар, Н. Н. Ко*.; носова и Е. М. Байкова (71) Белорусский ордена Трудового Красного, Знамени политехнический институт (53) 666. 112.6(088.8)

{56) 1. Авторское свидетельство СССР по заявке

:1Р 3418240/29 — 33, кл. С 03 С 3/10, 1982.

2. Авторское свидетельство СССР по заявке

1(1Ф 3440999/29 — 33, кл. С 03 С 3/10, 1982 (прототип), {54) (57) СТЕКЛО, включающее SiO> В О., АЕ<О>, ВаО, Zro2, о т л н ч а ю щ е е с я тем, mo, с целью снижения удельного электрического сопротивления, оно дополнительно содержит Ч О при следующем, соотношении компонентов, мас.%:

$102 7,5 — 14,0

В О, 32,0 — 35,0 и о 19,0-20,0

ВаО 28,0 — 32,0

2г02 .1,0 — 2,0 го

3,5-5,0

1081136

Таблица 1

Предлагаемый

Показатели

Известный

Состав стекла, мас.%

$10

7,5

11,0

14,0

5,0 — 7,0

В203

35,0

33,5

32,0

35,5 — 36,5

20,5 — 21,5

А 03

20,0

20,0

19,0

ВаО

32,0

28,0

30,0

30,0 — 32,0

2,0

Zr0

2,0

1,0

1,0 — 2,0

ZA 0 — 4,0 — 50

2 3

3,5

5,0

4,5

Кристаллиэационная способность, С

Не кристаллизуется

550

560

570

570 †5

57+1

61,7 — 63,5

57+1

57 1

Изобретение относится к технологии силикатов, к производству бариевого алюмоборосиликатного стекла, предназначенного для использования в микроэлектронике в качестве стеклосвязки толстопленочных резисторов с проводящей фазой на основе гексаборидов металлов.

Известно стекле )1), включающее мас.%..

ВВОЗ 37 — 57; АФ203 2 — 10; SiOg 1-7;

Ва0 15-39; SrO 1-.15; СаО 1-15.

Недостатками данного стекла являются повышенная склонность к кристаллизации, сравнительно высокое электрическое сопроленне 9v °

Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату к изобретению является стекло (2), включающее, мас.%:

SiOg 5,0-7,0; ВгОз 35 5 — 36,5; МРЭ20,5

21,5; Вао 30.0-32,0; 2Г02 1,0-2,0;

2п20 4 0 5,0

Недостатком известного стекла является повышенное удельное электрическое сопротивТемпература размягчения, OC

Коэффициент теплового расширения, о 10 ", t град" ление р,,, что не позволяет получить толстопленочные регистры с удельным электричес ким сопротивлением от 10 Ом до 50 ком и ТКС- 500 16 1/ С;

Цель изобретения — снижение удельного электрического сопротивления.

Поставленная цель достигается тем, что стекло, включающее SiO>, В О, At<0>, Ва0, ZrO, дополнительно содержит Ч 0 пи следующем соотношении компонентов, мас.%:

8 0 7,5 — 14,0

В 0 32,0 — 35,0 а 3

19,0 — 20,0

l5 Ва0 28,0 — 32,0

Zr02

10 20

05 3,5-5,0

В табл. приведены конкретные составы стекол и их свойства.

В табл. 2 приведены электрофизические характеристики боридных резисторов.

1081136

Известный

Предлагаемый

Показатели

Удельное электрическое сопротивление, Ом см рм цри 100 С

5;10 1

10 "4

107 3 5

10 13 гоо с

1013

10 — 2,5 10

10 1>

Водоустойчив ость (нотери массы), %

1,65

4,34

301

5,5 — 6,31

Таблица 2

Известный

Показатели

Предлагаемый состав

Удельное электрическое сопротивление g Ом

10 10 10

10 — 5 1О

Температурный коэффициент сопротивления ТКС, град - 1 в интервале, С (— ) 960 (— ) 980 — 60 — 20

320 370 (— ) 750 — (— ) 800

20 — 125

220 250

Коэффициент влагостойкости (AR/R) после 10 сут, %

1,0

0,6

0,08

0,15 — 0,44

Составитель Г. Буровцева

Техред И.Асталош Корректор А. Зимокосов1, Редактор Н. Пушненкова

Тираж 469 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Заказ 1467/19

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Для синтеза укаэанных стекол используют обычную технологию производства, включающую составление шихты, варку стекла в газовой и электрических печах. При 1350+10 С стекла хорошо варятся и осветляются и поэ- 45 воляют изготавливать из них различные иэделия технического назначения методами отливки и прессования.

Предлагаемое стекло обладает пониженным

: значением удельного электрического сопротив-! ления, в сочетании с высокими фиэикохимическими свойствами и позволяет использовать его для создания влагостойких боридных резисторов с удельным электрическим сопротивлением У 10

104 О /и