Устройство для разрезания полупроводникового материала на пластины

 

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ РАЗРЕЗА НИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО МАТЕРИАЛА НА ПЛАСТИНЫ, включающее станину, дисковый режущий инструмент с приводами вращения и подачи и механизм подачи заготовки с ограничителем, который установлен с .возможностью возвратно-поступательного перемещения от привода, от личающе е с я тем, что, с целью повышения надежности , привод возвратна-поступательнрго перемещения ограничителя снабжен регулируемым и фиксируемым упоJt oM возв ратного перемещения . ограничителя . 2.Устройство по п. 1, отличаю Щ е е с я тем, что ограничитель .подпружинен относительно станины.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСГiУБЛИН

3щ> В 28 D 1/04

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ, К АВТОРСКОМУ СИИДЕ ГЕЛЬСТВУ

Г

< (21) 2786193/29-33 (22) 02.07.79 (46) 07.04.84. Бюл. У 13 (72) М.Г. Ураевский. (7 1) Киргизский горно-металлургический комбинат (53) 679.8.053(088.8) (56) 1. Авторское свидетельство. СССР

N 563263, кл. В 23 Q 5/06, 1974.

2.. Авторское свидетельство СССР

9 555021; кл. В 28 D 5/02, 1977 (прототип).. (54)(57) i. УСТРОЙСТВО .ДЛЯ РА3РЕЗА

НИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО МАТЕРИАЛА.,80„„1084149 A.чаю,»» „ I

НА ПЛАСТИНЫ, включающее станину, дисковый режущий инструмент с приводами вращения и подачи и механизм подачи заготовки с ограничителем, который установлен с,возможностью возвратно-поступательного перемещения от привода, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения надежности, привод возвратно-поступательного перемещения ограничителя снабжен регулируемым и фиксируемым упором возвратного перемещения. ограничителя.

2.Устройство по п. 1, о т л ич а ю щ е е с я тем, что ограничитель .подпружинен относительно станины. е

1 1084149

Изобретение относится к механичес- Сущность изобретения поясняется кой обработке полупроводниковых .чертежом.

I материалов, в частности, для разре- Устройство содержит установленные, зания монокристаллов кремния на пластины.. на станине 1 головку 2 с дисковым

Известно устройство, которое мо- 5 режущим инструментом 3, механизм 4 жет быть использовано для разреза- . вращения и перемещения головки 2, ния полупроводникового материала на стойку 5, на которой установлены наппластины, содержащее гидравлический равляющие б и механизм 7 продольной механизм подач, выполненный в виде подачи заготовки 8, в стойке 5 рассилового гидроцилиндра, шток которо- 10 положен упор, выполненный в виде лого взаимодействует с исполнительным лого винта 9, внутри которого прохоорганом, и дозатор, выполненный в ви- дит шток 10 ограничителя 11, шток уиде плунжерной пары 1 l. 10 снабжен буртиком 12, и возвратной

Недостатком этого устройства яв- пружиной 13, каналом 14 для соединеляется его сложность, а также воз- 15 ния с вакуумной системой (не покаможность ошибки продольной подачи зана) и механизмом 15 возвратно-посзаготовки за счет хода плунжера до- тупательного перемещения. . затора, положение которого не имеет Устройство работает следующим жесткой однозначной связи с положе- образом. нием плоскости режущего инструмента.. 20 На направляющие б устанавливается

Наиболее близким к предлагаемому, заготовка 8 и присоединяется к мехаявляется устройство для разрезания низму 7 продольной подачи, полым полупроводникового материала на винтом 9 шток 10 с ограничителем 11 пластины, включащее станину, диско- перемещается на расстояние, от плосвый режущий инструмент с приводами 25 кости режущего инструмента 3, раввращения и подачи и механизм подачи ное заданной толщине пластины. Контзаготовки с ограничителем, который роль перемещения осуществляется, установлен с возможностью возвратно"по» например, индикатором перемещения ступательного перемещения от привода21. плоской поверхности ограничителя 11

Недостатком укаэанного устройства (не показан) . Через канал 14 ограниявляется свободное возвратное пере читель 11 соединяется с вакуумной мещение ограничителя, что требует системой, механизмом 7 заготовка, сложной системы контроля положения 8 подается до упора в ограничитель ограничителя или перемещения заготов- 11, а механизмом 4 головке 2 с режуки, последующего контроля толщины щим инструментом З,придается вращеотрезаемои пластины и корректировки ние и перемещение относительно заго. 35 положения ограничителя или величины товки 8. После полного разрезания продольной подачи заготовки при отк- заготовки 8 механизмом 15 ограничилонении толщины пластины от заданной. тель 11, а механизмом 7 заготовка 8

Целью изобретения является повы- отводится от плоскости режущего инстшение надежности.

40 румеита 3, головка 2 возвращается

Для достижения поставленной цели в исходное положение, с ограничителя в устройстве для разрезания полупро- 11 снимается вакуум, отрезанная пласводникового материала на пластины, тина удаляется. Шток 10 с ограничитевключающем станину, дисковый режущий лем 11 под воздействием механизма 15 инструмент с приводами вращения и

45 и пружины 13 возвращается в исходное подачи и механизм подачи заготовки положение до упора бурта 12 в торец с ограничителем, который установлен полого винта 9, и цикл повторяется. с возможностью возвратно-поступатель-. Преимущество предлагаемого устройного перемещения от привода, привод . ства по сравнению с известными заклювозвратно-поступательного перемеще- 50 чается в упрощении конструкции и пония ограничителя снабжен регулируе- вышении точности возврата ограничимым и Фиксируемым упором возвратно- теля продольной подачи заготовки в го перемещения ограничителя. исходное положение, а, следовательОграничитель подпружинен относи- но, повышении точности отрезанных тельно станины. пластин по толщине и, за счет этого, На чертеже схематически представ« снижении расхода сырья на производлено предлагаемое устройство. ство пластин.

1084149

Заказ 1875/11 Тираж 572

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раущская наб., д. 4/5

Подписное филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4

Составитель К. Хамидулов

Редактор С. Тимохина Техред Л.Коцюбняк Корректор О.Тигор