Водный раствор для химического осаждения палладия
ВОДНЫЙ РАСТВОР ДЛЯ ХИМИЧЕСКОГО ОСАВДЕНИЯ ПАЛЛАДИЯ, содержащий палладий хлористый и соляную кислоту, отличающийся тем, что, с целью получения прочносцепленных покрытий на арсениде галлия, он дополнительно содержит винную кислоту при следующем соотношении компонентов: Палладий хлористый, г 3-5 Соляная кислота,мл 4-6 Винная кислота, г 15-35 Вода, лДо 1
СОЮЗ СОВЕТСНИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ
РЕСПУБЛИК
„„SU„„1087564
SrSO 23 С 3 00
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3468330/22-02 (22) 13.07.82 (46) 23.04.84. Бюл. У 15 (72) Т.С.Алексеева, С.А.Денскевич, В.Г.Фадин, Н.Н.Антипов и Н.Н.Колобов (71) Московский институт электронной техники (53) 621 ° 793 ° 3:669.234(088.8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР
У 396437, кл. С 23 С 3/02, 1971.
2. Реферативный журнал "Химия", 1970, N 13, реферат 13Л366. (54)(57) ВОДНЫЙ РАСТВОР ДЛЯ ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ПАПЛАДИЯ, содержащий палладий хлористый и соляную кислоту, отличающийся тем, что, с целью получения прочносцепленных покрытий на арсениде галлия, он дополнительно содержит винную кислоту при следующем соотношении компонентов:
Палладий хлористый, r 3-5
Соляная кислота,мл 4-6
Винная кислота, г 15-35
Вода, л До 1
10875б4
>ость рытий, 3 4 35 До 1 0,15 40
2 5 5 15 До I 0,3 29
3 4 6 10 До 1 02 зг
ВНИИПН Заказ 2589/24 Тираж 900 филиал ППП ™Щггенг", г,Ужгород, ул.Проектная, 4
Изобретение относится к химическому осаждению металлических, в частности, палладиевых покрытий на арсенид галлия.
Известен раствор для химическо- 5
ro осаждения палладия, содержащий палладий хлористый, гидроокись аммония, гипосульфит и тиосульфат натрия 1 ).
Однако полученные из этого раст- 10 вора на арсениде галлия покрытия обладают большими внутренними напряжениями, что приводит к их растрескиванию и отслаиванию от подложки.
Наиболее близким к изобретению 15 является водный раствор для химического осаждения палладия на металлы и диэлектрики, содержаЩий палладий хлористый, соляную кислоту, гидроокись аммония, хлористый 20 аммоний и тиосульфат натрия (2 J.
Однако известный раствор также не позволяет получать на арсениде галлия прочносцепленные покрытия, а наличие в нем ионов натрия отри- 25 цательно, влияет на выпрямляющие свойства контакта палладий — арсенид галлия.
Целью изобретения является получение прочносцепленных покрытий 30 на арсениде галлия.
Цель достигается тем, что водный раствор для химического осаждения палладия, содержащий палладий хлорис35 тый и соляную кислоту, дополнитель-.
Как видно из данных, представленных в таблице, средняя скорость осаждения покрытий составляет но содержит винную кислоту при следующем соотношении компонентов:
Палладий хлористый, r 3-5
Соляная кислота, мл 4-6
Винная кислота, r 15-35
Вода, л До 1
При содержании в растворе палладия хлористого менее 3 г/л скорость осаждения покрытий менее О, 1мкм/мин, а при увеличении его концентрации более 5 г/л покрытие получается перенапряженным, что приводит к снижению его адгезии с подложкой.
При содержании винной кислоты в растворе менее 15 г/л адгезия покрытий ухудшается, а увеличение ее содержания более 35 г/л не улучшает адгезии покрытий. Винная кислота сравнивает находящиеся на поверхности арсениды галлия окислы, освобождая поверхностные связи арсенида галлия, которые захватываются ионами палладия, вследствие чего происходит их восстановление до металла
I и образование металлического покрытия на арсениде галлия.
Раствор готовят путем растворения палладия хлористого при нагревании в деионизированной воде с добавлением концентрированной соляной кислоты. После полного растворения хлористого палладия в раствор вводят винную кислоту. Использование предлагаемого раствора проиллюстрировано примерами 1-3, представленными в таблице.
0,2 мкм/мин, а получаемые покрытия хорошо сцеплены с основой.
