Способ изготовления электростатической записывающей головки

 

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (11) А

3(51) G 11 В 9 08

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ф» (21) 3576690/18-10 (22) 07.04.83 (46 ) 30.04.84. Бюл. 11 16 (72) В.М.Корсунский, И.В.МедВедев, М.Ф.Медведева, Е.A.Ðîñåíêî и И.A.ßâoðский (71) Ордена Ленина институт кибернетики им. В.N.Ãëóøêîâà (53) 621.319.5(088.8) (56 ) 1. Smith Р.-Н.В. Strip )churt

rekorder prints without ink.»"Electr. Des.", 1968, V. 16, )) 9, р. 94-96.

2. Вильчинскас A.È. СпОсоб повышения разрешающей способности электростатической записи.-"Приборы и системы управления", 1971, М 7, с. 24 (прототип). (54)(57) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОстАтическОЙ 3АписыВАющей ГОлОВки, включающий формирование изолированных токоведущих шин, записывающих электродов и токоограничивающих элементов, отличающийся тем, что, с целью повышения плотности записи, токоограничивающие элементы и записывающие электроды формируют в едином полупроводниковом кристалле, локально оплавляемом электроннолучевым излучением при ускоряющем напряжении

50-60 кВ, токе 100-1 t0 мкА и воздействии луча в течение 0,3 — 0,5 с с введением при этом в расплав легирующей примеси.

1089617

Изобретение относится к приборостроению, в частности к способу изготовления электростатической записивающей головки, которая может быть использована в различного рода регистрирующих устройствах.

Как и при любом виде записи информации на любой носитель н тех случаях, когда записываемая информация не должна лодвергаться визуальному наб-. людению и анализу, повышение плотнос- >0 ти записи является первостепенной задачей. Плотность же записи находится в прямой зависимости от плотности расположения пишущих элементов, в частности электродов злектростатичес-(5 ких головок. До недавнего времени наибольшую разрешающую способность позволял получать метод печатного монтажа, т.е. когда на непроводящую

Основу наносятся проводники (13. 20

Однако и такие электростатические головки имеют предел плотности расположения проводников, так как сами проводники могут иметь конечную толщину и ширину 1, меньше которой наступает саморазрушение электродов. .Т.е. при всех своих положительных качествах электростатические головки, выполненные на базе печатного монтажа, не обладают той разрешающей способностью по плотности записи информации, которая требуется современной технике регистрации данных.

Наиболее близким к предлагаемому является способ изготовления электро- статической записывающей головки, включающий формирование изолированных токоведущих шин, записывающих электродов и токоограничивающих элементов Г2).

Однако несмотря на то, что при та-49 ком способе формирование шин, элект. родов и токоограничивающих элементов производится отдельно, что позволяет повысить точность каждого из перечисленных, при сборке головки разброс электродов оказывается относительно большим и тогда плотность записи информации существенно снижается.

Целью изобретения является повышение плотности записи информации.

Поставленная цель достигается тем, что при реализации способа изготовления электростатической записывающей головки, включающего в себя формирова- " ние изолированных токоведущих шин, ь, записывающих электродов и токоограничивающих элементов, эти элементы и

"-аписывающие электроды формируют в едином полупроводниковом кристалле, локально оплавляемом электроннолучевым излучением при ускоряющем напряжении 50 — 60 кВ, токе 100 — 110 мкА и воздействии луча в течение 0,3

Q,5 с с введением при этом в расплав легирующей примеси.

На фиг. 1 показан момент формирования токопроводящих шин; на фиг.2 введение легирующей примеси; на фиг. 3 — момент получения локально оплавленных областей.

Токопроводящие шины 1 изолируются слоем окисла 2 от общей полупроводниковой пластины 3, представляющей собой единый полупроводниковый кристалл. По окончании формирования шин

í".îâü формируется окисел, но уже в виде слоя 4, после чего в вакууме наносится слой 5 легирующей примеси. Слой 4 можно получать методом термического окисления такого полупроводникового материала, как кремний. Толщина этого слоя выбирается в пределах 1,0 — 1,5 мкм. Толщина слоя 5 выбирается в пределах 0,3

0,5 мкм.

После нанесения легирующей примеси на такую сборку воздействуют острофокусированным (c диаметром до

10 мкм J электронным лучем, а именно, на места расположения шин 1. Характеристика луча такова: ускоряющее напряжение 50 — 60 кВ, ток луча 100

110 мкА, время воздействия луча на выбранные участки 0,3 — 0,5 с. В результате на кристалле 3 образуются локально оплавляемые области 6, где легирующая примесь позволяет получат например„ р- переходы (при кремние вом кристалле), представляющие собой токоограничивающие элементы 7. Диаметр оплавленной эоны составляет

7-10 мкм, высота вершин 8, представляющих собой записывающие электроды, до 3 мкм, а расстояние между вершинами соседних зон 30 — 40 мкм. Легко видеть, что посредством такой головки оказывается возможным повысить плотность записи информации в несколь ко раз.

Повышение плотности записи помимо экономии носителя записи позволяет сократить время эксплуатации записывающей аппаратуры на единицу информа ции, что снижает энергозатраты.

1089617

Составитель М.Сухарев

Редактор С.Пекарь Техредй.надь Корректор Г. Решетиик

Заказ 2940/47 Тираж 575 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытый

113035, Москва, Ж-35,Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", r.Óæãôðoä, ул.Проектная, 4