Стекло

 

СТЕКЛО, включающее Si02, AljOj, BjO, BaO, ZrOj, о т л и -чающееся тем, что, с целью удешевления при сохранении электрофизических характеристик и повышения водостойкости, оно дополнительно содержит 5пО„ и при следующем соотношении компонентов, мае.%: SiOj5-7 . 18-20 .35-37 БзОз ВаО33-35 ZrOj 1-2 1-2 SnO Sb2.05 1-3

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

MUHIIN

РЕСПУБЛИК др С 03 С 3/10

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ ССОР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И (ЛМРЫТИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н ABTOPGHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3555946/29-33 (22) 26. 11.82 (46) 23. 07. 84. Бюл. № 27 (72) И.К.Немкович, О.В.Невар, Н.Н.Колосова и Е.M.Байкова (71) Белорусский ордена Трудового

Красного Знамени политехнический институт (53) 666.112.9 (088.8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР

¹ 540831, кл. С 03 С 3/10, 1972.

2. Авторское свидетельство СССР по заявке № 3440999/29-33, кл. С 03 С 3/08, 1982 (прототип) .

SU,, 1104116 A (54) (57) СТЕКЛО, включающее S>0

А1203 В203, Вао, Zroг о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью удешевления при сохранении электрофизических характеристик и повышения водостойкости, оно дополнительно содержит Sn02 и Sb 05 при следующем соотношении компонентов, мас.7:

Si02 5-7

A1ãО3

В203 . 35 — 37

ВаО 33-35 .Zr0 1-2

Sn02 1-2

БЬ,О 1-3

116

1-2

4-5

ZrO2

In О

5-7

35,5-36,5

20,5-21у5

30-32

Таблица 1

Известное

Состав стекла, мас.

SiO>

5 0

6,0

7,0

5-7

В,О, 37,0

36,0

35 0

35-36 5

20,5-21,5

19,0

2 3

18,0

20,0

ВаО

35 0

33,0

34,0

30,0-32,0

ZrO>

1,0

2,0

2,0

1-2

SnO

1,0

1,0

2,0

4-5

81 0, 3,0

2,0

1,0

20,3

1 1104

Изобретение относится к технологии снликатов, к производству алюмоборосиликатного барийсодержащего стекла, предназначенного для использования в микроэлектронике в качестве легкоплавкой составляющей резистивных композиций с проводящей фазой на основе двуокиси олова, модифицированной пятиокисью сурьмы.

Известно стекло, включающее, 10 мас.Ж:

В203 37-57

А120 2-10

S10 1-7

ВаО 15-39

Sr0 1-15

СаО 1-15

Резистивные композиции, изготовленные на основе укаэанного стекла с öoáàâêàMè Sb2O>, -Та20 или Nb20< Д) позволяют получить пленки с величиной сопротивления от сотых долей Мим/ о до 10 ГОм/о с величиной ТКС от (-700) -10 град" до

1100-10 град "(1).

Недостатком этого материала является узкий диапазон сопротивления.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому результату является стекло 5 2g, включающее мас.Х:

SiO2

В 203

А1,0, Ва0

Компоненты и свойства

Однако известное стекло обладает удовлетворительными физико-химическими характеристиками, но из-за присутствия в составе Еп О стоимость

2 3 материала высока.

Целью изобретения является удешевление при сохранении электрофизичес— ких характеристик и повышение водостойкости.

Поставленная цель достигается тем, что стекло, включающее SiO, Al О

В203 Вао, ЕГ02 дополнит льно со держит Sn02 и Sb О при следующем 5 соотношении компонентов, мас. :, 510 5-7

À12О

18-20

В О 35-37

ВаО 33-35

2гО

1-2

Яп02 1-2

Sb 05

1-3

Для синтеза указанных стекол используется обычная технология производства, включающая составление шихты, варку стекла в электрической и газовой печах при 1350 С, выработку изделий методом отливки и прессования с последующим их обжигом в электрических муфельных печах.

В табл. t приведены компоненты и свойства предлагаемого и известного стекол.

1 104 116

Продолжение табл. 1

Стекло и параметры

Компоненты и свойства

Известное

Температура варки,оС

1350

1350

1350

1350

Не кристаллизуются

Температура размягчения, С 560+10

560+10 570-590

560+10

60+1

60+1

60.+1

61,-7-63, 5

1015 при 100 С при 200 С

10«

5 «1 015

2 5. 1013 1015

1 р15.

3,87

5,38

5,19

5,5-63,1

Электрофизические характеристики станнатных резисторов

Удельное электрическое сопротивление, y < Ом/а

7 10 4

3,5-10 10

104 5 104 (1000) 10 Ь (1000) . 10 (1020), 10 -(960

-980) -10 (-60) -20 С (-650) ° 10 (-700) 10 (-700) 10 — (750-800) -1О

20-125 С

О, 15-0,44

0,25

0,33

0,17

Таким образом, использование в предлагаемом составе стеклосвязки компонентов проводящей фазы SnO и

$Ъ О по сравнению с известным создает условия для поддержания компонентов проводящей фазы в электрически активном состоянии, что позволя55

В табл. 2 приведен расчет стоимости 100 кг стекломассы по шихте предлагаемого и известного стекол.

Кристаллизационная способность, С

Коэффициент теплового расширения оС 101 град

Удельное электрическое сопротивление, Ом -см

Химическая устойчивость (потери массы по отношению к воде), 7

Температурный коэффициент сопротивления ТКС в интер. вале 1/град:

Коэффициент влагостойкости, AR/R

Предлагаемое (2 ет получить толстопленочные станнатные резисторы низкоомного диапазона с пониженным ТКС.

1104 l 16

Таблица 2

Стекло

Цена за

1 кг, руб, Предлагаемое

Известное

Сырье

Расход на Стои100 кг мость, ст екла, кг руб.

СтоиРасход на

100 кг мость руб. стекла, кг

0,01

6,2

0 -06

82-80

7,2

0-07

Песок

Борная кислота - 1-15

71

0-44

9-06

20,6

21,1

Глинозем

38,4

42,2

10-80

2,0

2,0

Пятиокись сурьмы 10-00

1550-00

Окись индия 310 "00

207-02

1 709-40 ко получить станнатные резйсторы низкоомного диапазона с электрофизическими параметрами на уровне индиевого стекла, . но и повысить стабильность электрических параметров станнатных резисторов на что указывает величина разброса коэффициента влагостойкости aR/R а кроме того повысить водоустойчивость.

Составитель О.Самохина

Редактор Г. Волкова Техред Ж. Кастелевич Корректор A. Ференц

Заказ 5155/16 . Тираж 469 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул . Проектная, 4

Углекислый барий 1-50

Двуокись циркония 5-40

Двуокись олова 21-00

Как показывают эти данные предлагаемое стекло .IIQ cToHMocTH шихты более чем в 8 раз дешевле известного.

Использование предлагаемого стекла в качестве стеклосвязки резистивных композиций с проводящей фазой. из БпО и Sb 0 позволило не ToJIb

63-30

1 0-80

R1-00

20-00

81-65

9-28

57-60