Интерферометр для контроля качества оптических поверхностей
1. ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ , содержащий последовательно расположенные монохроматический источник света, телескопическую систему и светоделитель, делящий световой поток на две ветви, микрообъектив, объектив и опорный оптический элемент , расположенные в первой ветви, плоское зеркало, голограмму, объектив , диафрагму и регистратор, расположенные во второй ветви, отличающийся тем, что, с целью повышения точности контроля, он снаб жен последовательно расположенными за микрообъективон прямоугольной призмой и сферическим зеркалом, установленным так, что центр кривизны его совпадает с задней фокальной плоскостью объектива. СП
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК
0% (И) зсю G 01 В 9/021 G 01 В 11/24
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К ASTOPCKOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И OTHPbtTMA (21) 3578745/18-28 (22) 11.04.83 (46) 23.07.84. Бюл. ¹ 27 (72) В .В.Вячин и С .К.Мамонов (533 531.715.1 (088.8) (56) 1. Коломийцев Ю.В. Интерферометры. Л, "Машиностроение", 1976, с. 52.
2. Авторское свидетельство СССР № .425043, кл. С 01 В 11/30, 1974 (прототип) . (54) (57) 1. ИНТЕРфЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ, содержащий последовательно расположенные монохроматический источник света, телескопическую систему и светоделитель, делящий световой поток на две ветви, микрообъектив, объектив и опорный оптический элемент, расположенные в первой ветви, плоское зеркало, голограмму, объектив, диафрагму и регистратор, расположенные во второй ветви о т л и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения точности контроля, он снаб жен последовательно расположенными за микрообъективом прямоугольной призмой и сферическим зеркалом, установленным так, что центр кривизны его совпадает с задней фокальной плоскостью объектива.
1104362
2. Интерферометр по п.1, о т л и- ковыпуклой линзы и мениска, обращенч а ю шийся тем, что объектив ного вогнутостью к двояковыпуклой первой ветви выполнен в виде двоя-, линзе.
Изобретение относится к измерительной технике и может быть исполь зовано, в частности при контроле качества оптических поверхностей.
Известен интерферометр Физо для контроля качества плоских поверхностей, содержащий последовательно расположенные источник монохроматическо. го света, линзу, диафрагму и светоделитель, делящий световой поток на две ветви, окуляр, объектив и клиновидную образцовую пластину (1) .
Недостатком интерферометра является низкая точность контроля.
Наиболее близким по технической 1 сущности к изобретению является интерферометр для контроля качества .оптических поверхностей, содержащий последовательно расположенные монохроматический источник света, теле- 20 скопическую систему и светоделитель, делящий световой поток на две ветви, 1 микрообъектив, объектив и опорный оптический элемент,.расположенные в первой ветви, плоское зеркало, голограмму, объектив, диафрагму и регистратор, расположенные во вто рой ветви (2).
Недостатком известного интерферометра является невысокая точность. 30 контроля из-за одноразового отражения волнового фронта от контролируемой поверхности.
На чертеже изображена оптическая схема интерферометра для контроля качества оптических поверхностей.
Интерферометр содержит монохроматический источник 1 света, телескопическую систему 2 и светоделитель
3, делящий световой поток на две ветви, микрообъектив 4, прямоугольную призму 5, объектив 6, сферическое зеркало 7, установленное так, что центр кривизны его совпадает с задней фокальной плоскостью объектива
6, опорный оптический элемент 8, плоское зеркало 9, голограмму 10, объектив 11, диафрагму 12 и регистратор 13.
Объектив 6 может быть выполнен в виде двояковыпуклой линзы 14 и мениска 15, обращенного вогнутостью к двояковыпуклой линзе 14.
Описываемый интерферометр работает следующим образом.
Предварительно производят запись голограммы 10: пучок лучей от монохроматического источника 1 света расширяется телескопической системой
2 и разделяется светоделителем 3 на два пучка. Один пучок собйрается микрообъективом 4 на поверхности призмы 5 в фокальной плоскости объектива 6, преобразуется объективом
6 в параллельный пучок, отражается от поверхности опорного оптического элемента 8 и собирается объективом
6 в центре кривизны зеркала 7. Отра
Целью изобретения является повышение точности контроля.
Поставленная цель достигается тем, что интерферометр для контроля качества оптических поверхностей, содержащий последовательно расположен- 40 ные монохроматический источник света, телескопическую систему и светоделитель, делящий световой поток на две ветви, микрообъектив, объектив и опорный оптический элемент, распо- 4 ложенные в первой ветви, плоекое зеркало, голограмму, объектив, диафрагму и регистратор, расположенные во второй ветви, снабжен последовательно расположенными за микрообъективом прямоугольной призмой и сферическим зеркалом, установленным так, что центр кривизны его совпадает с задней фокальной плоскостью объектива.
Кроме того, объектив первой ветви выполнен в виде двояковыпуклой линзы и мениска, обращенного вогнутостью к двояковыпуклой линзе.
1104362
Составитель Л.Лобзова
Редактор Н.Лазаренко Техред А. Ач Корректор А.Дзятко
Заказ 5201/28 Тираж 587 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушскаа наб., д. 4/5
Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 зившись от зеркала 7, пучок проходит свой путь в обратной последовательности и попадает на голограмму 10.
На голограмму 10 попадает, отразившись от зеркала 9, вторая часть пучка, где и интерферирует с первой.
После фотопроцесса на место опорной поверхности оптического элемента 8 устанавливают контролируемую поверхность и производят ее исследование.
При контроле поверхностей с различными коэффициентами отражения в качестве зеркала 9 используются плоские пластинки с различными покрытиями.
Повышение точности контроля в описываемом интерферометре достигается за счет двойного отражения волнового фронта от контролируемой поверхности.
Поэтому в наблюдаемой интерференци10 онной картине заложена удвоенная ошибка контролируемой поверхности.
