Устройство для контроля качества поверхности полупроводниковых подложек

 

Устройство для контроля качества поверхности полупроводниковых подложек, содержащее смонтированный на станине предметный столик, расположенные на одной оптической оси лазер, коллиматор и полупрозрачное зеркало, видикон и видеоконтрольное устройство, отличающееся тем, что, с целью повышения производительности и улучшения качества контроля, оно дополнительно снабжено механизмом разделения потоков, состоящим из штыревых фиксаторов, пневматического сопла и светочувствительных датчиков положения полупроводниковой подложки, блоком импульсов запуска, генератором развертки, ключом, видеоусилителем, первым компаратором, задатчиком уровня срабатывания первого компаратора, первым счетным устройством, первым генератором прямоугольных импульсов, счетным устройством числа строк, вторым счетным устройством, вторым компаратором, задатчиком уровня срабатывания второго компаратора, вторым генератором прямоугольных импульсов, первым блоком цифровой индикации, устройством сравнения, цифровым задатчиком, вторым блоком цифровой индикации, устройством сравнения, первым усилителем мощности, первым исполнительным устройством, вторым усилителем мощности, вторым исполнительным устройством, при этом светочувствительные датчики положения полупроводниковой подложки соединены с входами блока импульсов запуска, выход которого соединен с лазером, первым входом генератора развертки и первым входом ключа, а к выходу видикона подключен видеоусилитель, выход которого соединен с первым входом первого компаратора, второй вход которого соединен с выходом задатчика уровня срабатывания первого компаратора, выход первого компаратора соединен с вторым входом ключа, выход которого соединен с управляющим входом первого счетного устройства и управляющим входом первого генератора прямоугольных импульсов, выход которого соединен со счетным входом первого счетного устройства, выход которого соединен с третьим входом ключа, вторым входом генератора развертки и входом счетного устройства числа строк, выход которого соединен с третьим входом генератора развертки и с управляющим входом второго счетного устройства, выход генератора развертки соединен с отклоняющими системами видикона, выход видеоусилителя соединен также с первым входом второго компаратора, второй вход которого соединен с выходом задатчика уровня срабатывания второго компаратора, а к выходу второго компаратора подключен второй генератор прямоугольных импульсов, выход которого соединен со счетным входом второго счетного устройства, выход которого соединен с входом первого блока цифровой индикации и с первым входом устройства сравнения, выход цифрового задатчика соединен с входом второго блока цифровой индикации и с вторым входом устройства сравнения, первый выход устройства сравнения через первый усилитель мощности и первое исполнительное устройство соединен со штыревыми фиксаторами, а второй выход через второй усилитель мощности и второе исполнительное устройство соединен с пневматическим соплом.